【課題】チップデバイスの高密度実装時に用いる貫通電極付き基板を効率よく製造する手段を提供する。
【解決手段】貫通電極付き基板の製造工程は、貫通電極を構成する導電体材料の微粒子を液体に懸濁させる工程；上記の導電体材料の微粒子が通過し得ず、また上記の液体のみが通過可能なフィルター層１４０を、貫通孔１０２を有する基板１０１の片面に接触させる工程；フィルター層に接していない方の上記の基板面側から上記懸濁液１３０を圧力を加えながら貫通孔内に流し込み、上記貫通孔内に導電体微粒子を堆積させる工程；上記貫通孔内に堆積した導電体微粒子を濡らしている液体を乾燥させる工程；上記導電体微粒子が堆積している貫通孔内に導電性ペーストを注入し、その後に乾燥・硬化させる工程からなる。尚、導電体微粒子として合金からなる微粒子を用い、これを合金の融点以上の温度で溶解させたのち、冷却・固化させて貫通電極を形成する方法もある。 （もっと読む）

【課題】 従来の直流電圧変換装置では、直流を一旦交流に変換した後、交流変圧器を用いて電圧を変換後、得られた交流を整流して直流に変換していた。これでは、直流を交流に変換する電子機器と、交流変圧器、更に得られた交流を直流に変換する整流装置と、得られた脈流を平滑にする温度特性と耐久性に劣る蓄電器からなる電子機器が必要で、これが直流電圧変換を困難、複雑にし、作りにくく、特性を悪くし、高価にしていた。この欠点が直流より交流を優先して使う社会としてきた。
【解決手段】 従来の直流電圧変換機器の欠点を、本発明の固定子の導線配置と、回転子の単極永久磁石化により解決し、直流機器でありながら、整流子、スリップリングなどの動接触部分がなく、回転方向に対し磁場強度が一定な構造にすることにより、大きさの一定した直流が安定して得られ、特性、価額、耐久性の面で優れ、広い電力範囲でも、高温でも使用可能な、直流電圧変換装置が得られた。 （もっと読む）

【課題】 従来の直流回転機器では、回転に伴って電流の向きを変える整流子が必要で、これが直流回転電気機器を複雑にし、作りにくく、特性を悪くし、しかも高価にしていた。
【解決手段】 従来の直流機器の欠点を、固定子の導線配置と、回転子の固定円筒磁石により、直流機器でありながら、整流子がなく、回転方向に磁場強度が一定で、構造、特性、価額、耐久性の面で優れた直流電動機及び直流発電機及び電気エネルギー貯蔵機器を得ることが出来るようになった。 （もっと読む）

【課題】 非常に立上り電圧が低く、かつ、逆方向耐圧が実用上問題のない程度に高い耐圧のダイオードを有する半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 インジウムを含有するＮ型半導体層１の表面に二次元電子ガスを発生させることが可能で、かつ、その二次元電子ガスの電子をトンネル可能な厚さで酸化インジウム層２が形成され、その酸化インジウム層２上に金属または導電性酸化膜からなる第１電極３が形成され、Ｎ型半導体層（Ｎ型半導体基板）１と電気的に接続して第２電極４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 半導体層の表面に、その半導体層よりも非常にキャリア濃度の大きい半導体層を形成する高キャリア濃度の薄膜半導体層の形成方法を提供する。
【解決手段】 半導体層１表面の自然酸化膜または２５０℃以下の低温で生成した酸化膜４を還元して形成される活性化した金属元素と結合させることにより、半導体層１よりも高キャリア濃度で、かつ、バンドギャップが前記半導体層より大きい薄膜化合物半導体層２を形成する。この上に、ＳｉＮ：Ｈからなる保護層３を設けることが薄膜を保護するために好ましい。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、分離能に優れるゲルを用いた２次元電気泳動用支持体を提供することにある。また、これを用いて２次元電気泳動装置の自動化を容易にすることにある。さらには、上記の２次元電気泳動用支持体や、あるいはまた、濃度勾配ゲルを簡便な方法で作製する手段を提供することにある。
【解決手段】ゲルで形成される２次元展開用支持体を、電気的に独立・絶縁されている複数本のストライプ状支持体で構成し、上記複数本のストライプ状支持体に交差する１次元目分離用のストライプ状ゲルを一体化して設け、これをもって２次元電気泳動用支持体を構成する。上記本発明の支持体を用いれば、１次元目の電気泳動終了後に、ただちに２次元目の電気泳動が開始でき、装置の自動化が容易になる。
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【課題】 自動化が容易な２次元電気泳動装置を提供する。
【解決手段】 １本の１次元目分離用流路と、これに交差・連通する複数本の２次元目分離用流路からなる２次元電気泳動用流路に、両性電解質を使用する広領域緩衝液と、水溶性直鎖ポリマー若しくは分岐構造を含む水溶性直鎖ポリマーのいずれか一以上と、試料とを混合した泳動液を導入して電気泳動を行う２次元電気泳動装置を提供する。
本発明の２次元電気泳動装置を用いることにより、１次元目の電気泳動終了後直ちに２次元目の電気泳動に移行することができる。従来必要であった１次元目の電気泳動後試料を含む支持体を２次元目の電気泳動用支持体上へ移し替える操作が不要であるので、電気泳動装置の自動化が容易になる。
また、電気泳動槽をマイクロチップ化することにより、さらに電気泳動の高速化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】陽極接合法や加圧接合法による基板試料用接合装置において、アライメント用のモニタシステムの簡素化と、接合ムラのない均一性の高い接合を得ることを目的としている。
【解決手段】アライメントチャンバの上部開口部にゲートバルブを設け、上記ゲートバルブの上面には「のぞき窓」が、また、接合チャンバ内には接合ヘッドが収容されており、モニタシステムの構成を簡素化できる。アライメント機構の一部に「仮止め機構」を設けることにより、２枚の基板試料の位置ズレが抑制される。また、アライメントチャンバにプラズマクリーニング機構を設け、真空又は所望のガス雰囲気中でプラズマクリーニング・アライメント・接合という工程を一貫して処理することができる。さらには、陽極接合時の接触電極を複数個に分割することにより、分割した接合領域ごとに高電圧印加のタイミングなどが独立して制御可能になり、接合の均一性が向上する。 （もっと読む）

【課題】 周辺機器も含め小型で取扱い容易な全自動２次元電気泳動法の実現を目的とする。
【解決手段】 基板上に作製した試料導入系を持たない１本の分離用微細流路およびこれと交差する複数本並列の分離用微細流路からなる全流路に試料と両性電解質を使った広領域緩衝液の混合液を導入して連続操作の2次元電気泳動を行う。電極は、毛管現象を示す間隙をもつ容器（毛細管、スペーサーを介して組み合わせた2枚の板など）と一体化して、所定の電極液を吸い上げて保持するキャピラリー型電極システムを採用した。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳ素子部品等のマイクロ構造体の粗面を滑面処理し、品質向上等を図る。
【解決手段】基板１１にドライエッチング又はサンドブラストにて貫通孔１１ａを形成する。貫通孔１１ａの内周面は数百ナノ〜数ミクロンオーダーの粗面になっている。大気圧近傍下において、有機シリコン化合物と活性化された無機酸とを互いに接触させるとともに貫通孔１１ａの内周面に接触させ、貫通孔１１ａの内周面にシリコン酸化膜１４を形成する。シリコン酸化膜１４の表面は、滑面になる。これにより、貫通孔１１ａと充填金属１６との間に隙間が出来るのを防止でき、ＭＥＭＳ素子１０の内部空間１０ａの気密性を確保できる。 （もっと読む）