【課題】位相変調された干渉信号を検出し、干渉信号の位相を求める信号処理演算を行うことによってナノメータオーダでの分解能で表面形状測定を行うことのできる、表面形状の測定方法及び測定装置を提供する。
【解決手段】半導体レーザ光源11からのレーザ光を偏光方向が互いに直交し位相が異なる２つの光の合成光に変換してから回転多面体ミラー32に導き、レンズ33を通過した合成光を構成する２つの光を偏光ビームスプリッタ34により分離してその一方の光を参照面ミラー42、他方の光を被測定物体41の表面に照射する。参照面ミラー42からの反射光と被測定物体41の表面からの反射光を偏光ビームスプリッタ34により再び重ね合わせ、偏光板52を通過させることにより参照面ミラー42からの反射光と被測定物体41の表面からの反射光を干渉させる。 （もっと読む）

【課題】レーザ走査干渉を用いて円筒面の形状を簡単に、かつ、短時間で測定することができ、同時に円筒面の表面画像を得ることのできる、円筒面の形状計測方法を提供する。
【解決手段】テレセントリックｆθレンズ８の焦点面近傍に近接配置した参照平面９ａ及び被観察円筒面10ａからの反射光を前記テレセントリックｆθレンズ８により平行光束に変換し、結像レンズ11によって集光してテレセントリックｆθレンズ８の焦点面と共役の位置に設置したピンホール12ａを通過させ、ピンホール12ａを通過した反射光の光量を受光素子13で計測する。レーザ光源１からのレーザ光を連続点灯又はパルス点灯させるとともに、走査光を被観察円筒面10ａの母線に沿って走査させ、かつ、被観察円筒面10ａを有する被測定物10をその円筒軸10ｂを中心に回転させながら計測する。 （もっと読む）

【課題】蛍光観察を行う場合に、蛍光の経時変化を短時間で容易に測定することができる共焦点顕微鏡を提供する。
【解決手段】本発明の共焦点顕微鏡１は、蛍光観察するための共焦点顕微鏡１であって、励起光を出射するレーザー発光器２と、レーザー発光器２からのレーザー光の試料４への照射位置を所定方向に移動可能なポリゴンミラー１６と、ポリゴンミラー１６によるレーザー光の移動方向に対応した方向に沿って長手方向が配置されたスリット２８と、試料４に照射されたレーザー光の反射光をカットして蛍光を選択する蛍光フィルタ２４と、蛍光フィルタ２４によって選択されスリット２８を通った蛍光を受光する光電子増倍管６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
基盤に配された半球状の被検体表面を測定面とし、その形状を検出して標準形状と比較し判定する。
【解決手段】
レーザ光源からの走査光束を被検体５の半球状測定面に向かわせ、その測定面からの反射光を受光部に投影し高さ検出信号１０を出力する高さ測定ユニット１１０を設置する。また被検体５測定面を多層の円状光源で構成した照明部１３１で照明し、発生した光源毎の円状反射光をレンズ部１３２で検出して受光部に投影し等高線画像検出信号１９を出力する形状測定ユニット１３０を設置する。両ユニット１１０、１３０からの信号を受けて被検体５の高さと等高線の形状を基準値と比較判定すると共に、検出した等高線を１つに重ね合わせて等高線群とする制御ユニット１２０を設置する。この等高線群と判定結果を表示ユニット１４０に表示する。

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【課題】
被検体測定面の水平面に対する傾きと、回転する被検体の場合には回転中心に対する偏芯をほぼ同時に検出し測定する。
【解決手段】
レーザ光源１からの光束を回転する被検体Ｄに向かわせ、その測定面ｄ１からの反射光をテレセントリック対物レンズ７で検出して対物レンズ１０で受光部１１に投影する傾き測定用光学系１３を形成する。また被検体測定面ｄ１に予め施した指標をテレセントリック対物レンズ７で検出して対物レンズ１０で受光部１１に投影する顕微鏡用光学系１５を形成する。
両光学系１３、１５を結合し、夫々が検出した像を共通の受光部１１に投影し、表示部Ｃに表示して測定する。


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【課題】
レーザ光源からの光束で物体表面を走査し、その反射光で物体表面形状を観察する装置で、倍率の変換と広範囲の走査を高品質で行う。
【解決手段】
レーザ光源１からの光束を光偏向器４、ｆθレンズ７を経て一旦、一次結像面１４に結像する。その光束を交換光学系２２を介して物体８に向かわせて走査していく。走査した反射光は往路に戻して受光部に１１に送られ、制御部１２から表示部１３に伝えられて表示される。この表示された画像を観察する。前記の交換光学系２２は中継レンズ２０と結像レンズ２１が鏡筒２３に収容された両側テレセントリックレンズとして構成される。そしてこの鏡筒２３を倍率ごとに準備し、交換自在として必要倍率の鏡筒２３をセットする。


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【課題】
光学系ユニットに設置した被検体の第１測定面と第２測定面間のレーリーリミット以下の傾き角θを検出し測定する。
【解決手段】
レーザ光源１からの光束を投光用コリメータレンズ３で平行光束とし、２つの被検体４、７に向かわせる。両被検体４、７の測定面５、８で反射した光束を往路に戻し、コリメータレンズ３から一次結像面６にスポットとして集光する。この集光位置は、被検体計測面５、８間に生じているレーリーリミット以下の傾き角θに応じた角θＡで決められる位置ｐ１、ｐ２となる。これを任意倍率の受光用レンズ１０でＣＣＤなどの受光部６に結像することなく投影する。この投影されるとき２つのスポットにθＢの角度を持たせてスポットの重なり部分に干渉縞を発生させる。この干渉縞本数を計数することで被検体計測面５、８間の傾き角θを求める。


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【課題】
光学機器で使用される平行光束の平行度を測定し、平行光束の精度を向上する。
【解決手段】
光学ユニット１を被検体とし、この光学ユニットからの光を複数のピンホール６を持つピンホール板５経由で受光部７に投影する。その像をピンホール画像として制御ユニット８から表示部９に伝え表示する。この時、被検体からピンホール数に応じて分割抽出され、受光部７に向かった光束がみな平行な光束であれば表示部の決められた１つの表示原点に重畳してピンホール画像が表示される。平行性に不具合がある光束は表示原点から外れて表示される。この表示される表示原点とピンホール画像を画面で確認し、測定しながら光学ユニット１とピンホール板５の位置関係を調整し最適位置を求める。



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【課題】多検体における生体成分又はその機能の測定を同時に短時間に行うことを可能とする生体成分又はその機能の測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】生体成分又はその機能の測定方法は、複数の試料保持部に保持された、蛍光物質又は発光物質を利用した分子プローブと検体とを含む試料混合物から発された光を、透過光の波長域が可変である波長可変液晶分光フィルタを通過させた後に、検出器により撮像することで同時に検出し、検出器により各試料保持部に対応して検出された光の強度に基づいて、各試料保持部に保持された試料混合物中の検体における分子プローブが対象とする生体成分又はその機能を測定する構成とする。 （もっと読む）

【課題】
光学系中に設置した被検体測定面の高さ方向の差を検出し測定する。
【解決手段】
レーザ光源１からの光をコリメータレンズ２で平行光束としポリゴンミラー３に向かわせる。ポリゴンミラー３で反射した光束をｆθレンズ４で被検体５の測定面６に集光すると共に、ポリゴンミラー３反射面を入射瞳として光センサ７に集光し、集光位置の変化で被検体測定面の高さ方向の差を検出する。被検体５と光センサ７間には被検体５測定面６の走査方向が稜線方向となるようにしたシリンドリカルレンズ８を設置し、被検体５測定面６の走査方向と直角方向が受光面長手方向となるようにして設置した前記光センサ７に光束を向かわせ集光する。光センサ７の検出結果は制御部９を経て表示部１０に表示する。


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