【課題】時間効率、材料効率、パターニング精細度の全てが良好な太陽電池の製造方法と、その製造方法を用いて製造された太陽電池を提供する。
【解決手段】太陽電池の製造方法は、基板上に透明電極膜を形成し（Ｓ１２）、透明電極膜上にホール輸送層を形成し（Ｓ１３）、ホール輸送層上に活性層を形成し（Ｓ１４）、活性層上に電子輸送層を形成し（Ｓ１５）、電子輸送層上に電極層を形成する工程（Ｓ１６）を有しており、透明電極膜、ホール輸送層、活性層、および電子輸送層の少なくとも１層以上は、超音波振動によってミスト化された原料を堆積することによって薄膜形成される。 （もっと読む）

【課題】基板表面に生成される膜の厚さを均一にし、製作コストを抑えることができるようにする。
【解決手段】ミストが筐体２内に供給されると、一部のミストは一方の湾曲面２ａに沿って滑らかに流下して原料ガス排出口５の直上領域に到達し、一部のミストは他方の湾曲面２ａに沿って滑らかに流下して原料ガス排出口５の直上領域に到達する。そして、両者は、原料ガス排出口５の直上領域において互いに衝突して混合する。これにより、原料ガス排出口５の直上領域において、原料ガス排出口５の長手方向にわたってミストの濃度が均一になる。その後、原料ガス排出口５の長手方向にわたって濃度が均一なミストが、原料ガス排出口５から噴出する。 （もっと読む）

【課題】生成されるミストの粒径を小さくし、粒径の大きさを均一にするとともに、霧化能力を向上させることができる成膜用霧化装置を提供することを課題とする。
【解決手段】霧化用液体５を収容する容器９と、当該容器９および中間溶液６を収容し、当該中間溶液６に少なくとも容器９の底面部を浸漬させる溶液槽１１と、当該溶液槽１１に配置され、霧化用液体５に対して超音波を照射する超音波振動子部４と、当該超音波振動子部４の駆動を制御する制御装置３とを備える。超音波振動子部４は厚み方向の両面に電極部を有し、一方の電極部は互いに絶縁された複数の電極４０ａ〜４０ｈにより構成され、他方の電極部は共通の電極４０ｉにより構成されており、制御装置３は当該複数の電極４０ａ〜４０ｈのうち電圧が印加される電極４０ａ〜４０ｈを切り換える。 （もっと読む）