【課題】作業領域の必要な部分のみを所定の低露点領域にすることができるのみならず、その内部での作業の自由度を高めることができると共に、製造ラインの入れ替え性にも優れたドライチャンバを提供する。
【解決手段】開口部２０ａが設けられたケーシング２０と、ドライエア供給配管系１４と、ドライエア回収配管系１６と、前記開口部２０ａの上部側を開閉する上部フラップ３４と、前記開口部２０ａの下部側を開閉する下部フラップ３８とで構成されると共に、前記上部フラップ３４が、前面板３４ａと、該前面板３４ａの背面側にて間隔を置いて配設された後面板３４ｂとで構成され、前記前面板３４ａと前記後面板３４ｂとの間に形成される通気層３４ｃに供給されたドライエアｄが下端面に設けられたドライエア吹出口３４ｅからエアカーテンとなって流下することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】乾燥ムラを無くすことができると共に、乾燥のサイクルタイムを著しく短縮することが可能な真空乾燥機を提供する。
【解決手段】本発明の真空乾燥機１０は、乾燥対象を密閉可能に収納する乾燥室Ｒを有すると共に、乾燥室Ｒを形成する内壁２４とこれを囲繞する外壁２６及びその間に設けられた壁内空間２８を有する二重構造のチャンバー１２と、乾燥対象の収納後、乾燥室Ｒを減圧する減圧手段１６と、減圧後、乾燥室Ｒを加熱する加熱手段１４と、乾燥室Ｒを降温させる際に、チャンバー１２の壁内空間２８に冷気を送給する冷気送給手段１８と、乾燥室Ｒを減圧させた後であって乾燥室Ｒを昇温させる際に、乾燥室Ｒに加熱した不活性ガス或いは乾燥空気を送給し、乾燥対象の乾燥終了後に乾燥室Ｒを降温させる際に、乾燥室Ｒに常温以下の不活性ガス或いは乾燥空気を送給する乾燥用ガス送給手段２０とを具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フィードバック制御において、被加工物からの反射レーザー光を完全に遮断して正確なフィードバック制御が行なえるレーザー出射ユニットを開発することをその主たる課題とする。
【解決手段】レーザー発生装置６から光軸ＣＬに沿って入光したレーザー光４を、光学系５を介して被加工物Ｗの溶接点Ｐ２に集光するレーザー出射ユニットＡにおいて、入光面５０ａ又は出光面５０ｂの少なくともいずれか一方が光軸ＣＬに対して傾斜するように形成され、入光面５０ａ側からのレーザー光４の透過を許容するが、被加工物Ｗからの反射レーザー光４ａを反射するレーザー反射層５１が出光面５０ｂに形成された誘電体多層膜ミラー５０が光学系５に組み込まれていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、大型液晶テレビのような表示装置用の大型冷陰極管用の電極を開発することにある。
【解決手段】 カップ状の本体(10)と、本体底部(11)から一体的に延出された給電部(14)とで構成されており、主材がタングステンで、バインダがニッケルの焼結体で、その線膨張率が、０．０４５×１０^-4×Ｋ^-1〜０．０５５×１０^-4×Ｋ^-1であることを特徴とするもので、その線膨張率が安価な例えばコバールガラスとほぼ等しいため、Ｗを主材とするにも拘わらずコバールガラスのような安価な素材を使用することができる且つ大型の長寿命冷陰極管を大量生産することができる。 （もっと読む）

【課題】 電極箔の巻取直前において異物の巻き込みを防止できる巻取装置を提供する。
【解決機構】 電極箔14a,14bの搬送経路上には、ブラッシング装置30、撮像装置32および判定装置34がそれぞれ設けられている。ブラッシング装置30は、互いに回転方向の異なる一対のローラ30a,30bを有し、各ローラ30a,30bの外周面には、その全面に亘ってブラシ36が植毛されている。
各電極箔14a,14bの表面に付着した異物は、ブラッシング装置30によってブラッシングされ、その表面から除去されるので、電極箔14a,14bの巻取時において異物の巻き込みを防止することができる。 （もっと読む）