【課題】基板加熱装置において加熱処理される基板の温度分布を均一化する。
【解決手段】基板処理装置１を構成する下部カバー２及び上部カバー３のうち、少なくとも下部カバー２の壁部２ｂに加熱手段１２を設ける。 （もっと読む）

【課題】 熱源体の経路や熱源体の端子の配置の自由度が高く、その結果、温度分布を十分に最適化することができるとともに端子の取り合い位置を自由に設計できるサーモプレートを提供する。
【解決手段】 伝熱体としてのプレート２と、線状または管状に形成され、プレート２の板面に形成された溝部２ａ〜２ｅ内に、溝部２ａ〜２ｅの底部に沿って組み込まれた、それぞれ発熱または冷却可能な複数の熱源体４ａ〜４ｅとを備え、複数の熱源体４ａ〜４ｅのうちの少なくとも一組は、互いに交差するよう配設され、当該交差する熱源体４ａ〜４ｄと熱源体４ｅとがそれぞれ組み込まれる各溝部２ａ〜２ｄと溝部２ｅとは、互いに異なる深さに形成されている。 （もっと読む）

【課題】 発熱線の抵抗値のバラツキを抑えることができ、発熱線の変形を少なく、製作が容易な端子棒と発熱線との接続構造を提供すること。
【解決手段】 発熱線１３はコイル状部１３ａと、該コイル状部１３ａの間の螺旋状部１３ｂとを有し、前記端子棒１５は前記コイル状部１３ａに挿通して前記コイル状部１３ａを接続する接続部１５ａと、螺旋状部１３ｂに間隔をもって挿通するよう前記接続部１５ａから先細り形状に延びている挿通部１５ｂとを有し、前記接続部１５ａの外周面１５ｃと前記挿通部１５ｂの前記接続部１５ａ側の外周面１５ｅとが段差面１５ｆを介して連接されている。 （もっと読む）

【課題】 年間を通じて常に発熱体の断線の有無を確認することができる、使用者にとって使いやすく、かつ、小型で安価な水道管凍結防止装置を提供する。
【解決手段】 水道管を加温する発熱体２、サーモスイッチ３、電源プラグ４、発光ダイオード１２、１５及び切替スイッチＳＷ１から構成される簡易な回路において、切替スイッチＳＷ１を切り替えることにより、サーモスイッチ３のオンオフにかかわりなく、発光ダイオードＬ１は発熱体２の通電の有無を、発光ダイオードＬ２は発熱体２の断線の有無を、それぞれ表示することができるため、使用者は発熱体２の断線の有無を容易に確認することができる。 （もっと読む）

【課題】 電気ヒーター及び容器にダメージを負うことなく安全に使用でき、熱源として使用ができ無くなることを防ぐこと。
【解決手段】 容器内の液温を感知のため感温素子１９を内蔵した電気ヒーター１１と、前記感温素子１１から得る信号によって得られる温度上昇速度によって前記電気ヒーター１１の通電動作を制御する制御部２１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 電気ヒータから発生する電気ノイズを抑制すること。
【解決手段】 金属製の外郭部材１１ａ内に電気絶縁物１１ｂを介して発熱体１１ｃが設けられている電気ヒータ１１と、該電気ヒータ１１を一体に固定したプレート１３とを含み、前記外郭部材１１ａの外周面と前記プレート１３に形成したヒータ保持溝１３ｂの内壁面との間に絶縁性の抑制体１５が介在されている。 （もっと読む）

【課題】 筒状支持体内の温度勾配を小さくしつつシール部材を保護すること。
【解決手段】 被処理基板１を搭載する板状基体３と、前記板状基体３を支持した筒状支持体４とを含み、該筒状支持体４はシール部材５を介して真空処理室６の壁部６ａに固定されており、前記筒状支持体４の内壁面４ａに接するように前記筒状支持体４に挿入されておりかつ冷却ガスＧ１の流路９ａを形成した構造体１０を有している。 （もっと読む）

【課題】 良好な真空引き圧力を得ること。
【解決手段】 トッププレート１の表面とは反対側の裏面に設けたサブプレート３と、前記トッププレート１の前記表面には格子状に形成した真空引き用溝１ｅと、該真空引き用溝１ｅに連通した真空引き用穴１ａとを有し、前記真空引き用溝１ｅの幅寸法の面積の総和を前記表面で接触する前記被加熱物３１の接触面積の６％以上とし、前記真空引き用穴１ａの面積の総和を前記真空引き用溝１ｅの幅寸法の面積の総和の０．１％以上とし、前記真空引き用穴部に裏面より形成した有底の補助穴１ｃを設けた。 （もっと読む）

【課題】配管温度センサを接続しないで使用する場合、接続した配管温度センサの故障を識別可能にした凍結防止装置を提供する。
【手段】ヒータ３ａからなり、給水管、給湯管などの配管に巻き付けて凍結を防止する凍結防止帯３（図１）、配管の温度を検出する配管温度センサ５、外気温度センサ１３、および少なくとも配管温度センサ５を着脱自在に接続することができ、且つヒータ３ａを通電制御するコントローラ４は、配管温度センサ５を接続したか否かの検出と、一旦接続した前記配管温度センサが故障したか否かを検出し、故障が検出されると通報するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】複数の対象の配管を凍結防止する装置において、使用する配管温度センサ数を意図的に減らしても支障なく凍結防止動作ができる凍結防止装置を提供する。
【手段】給水・給湯などの配管（図示せず）の凍結を防止するコントローラ２、１個以上の凍結防止帯６（図は６ａ、６ｂ、６ｃの３個）、着脱自在且つ１個以上の配管温度センサ（図は３個付けられるが図は１個のみ）５および外気温度センサ１４からなり、コントローラ２は、各温度センサ（図は１のみ接続）の取付け確認と作動が正常か否かの検査とを自動的に行い（図５）、且つ発熱体１，２，３の通電制御に、どの温度センサの温度信号を用いるかの割り付けを予め定め（図７）、また配管温度センサが未接続か異常かが検出されると、予め定めた手順（図８）によって選定した代替えセンサにより通電制御し（図７）、全ての温度センサ未接続か故障すると一定通電率で通電制御する。 （もっと読む）