【課題】ワイヤ放電加工装置において加工速度を向上させると共に長時間の加工を安定して行う。
【解決手段】間隔をおいて配設された各ガイドローラ２４Ａ₁〜２４Ｆ₁に間隔をあけて複数回巻き掛けられて複数条となり、複数の切断ワイヤ部分２６１を構成するワイヤ１５１と、ワイヤ１５１の各条に接し、ワイヤ１５１の送り方向と同じ方向に向かって回転して共通の放電加工電力をワイヤ１５１の各条に給電する回転電極２００Ａ₁，２００Ｂ₁と、を含む第１の加工ユニット１０１と、同様の構成の第２の加工ユニット１０２とが左右に並べて配置され、各加工ユニット１０１，１０２の各ワイヤ１５１，１５２を巻き掛け方向に送りながら各加工ユニット１０１，１０２の各切断ワイヤ部分２６１，２６２とインゴット２８との間で放電を行ってインゴット２８を切断する。 （もっと読む）

【課題】ワイヤ放電加工装置の加工速度を向上させると共に長時間の加工を安定して行う。
【解決手段】間隔をおいて配設された各ガイドローラ２４Ａ〜２４Ｈに間隔をあけて複数回巻き掛けられて複数条となり、第１の上側、下側切断ワイヤ部分２６１Ａ，２６１Ｂを構成するワイヤ１５１と、その各条に接し、その送り方向と同じ方向に向かって回転して共通の放電加工電力をワイヤ１５１の各条に給電する回転電極２００Ａ₁〜２００Ｃ₁と、を含む第１の加工ユニット１０１と、同様の構成の第２の加工ユニット１０２とが左右に並べて配置され、各加工ユニット１０１，１０２の各ワイヤ１５１，１５２を巻き掛け方向に送りながら各加工ユニット１０１，１０２の各上側、下側切断ワイヤ部分２６１Ａ〜２６２Ｂと各インゴット２８Ａ，２８Ｂとの間で放電を行って各インゴット２８Ａ，２８Ｂを切断する。 （もっと読む）

【課題】マルチワイヤ放電加工装置において加工速度の低下を抑制するとともに長時間の加工を安定して行う。
【解決手段】間隔をおいて配設された複数のガイドローラ２４Ａ〜２４Ｆを含むガイドローラ組と、各ガイドローラ２４Ａ〜２４Ｆの長手方向に間隔をあけてガイドローラ組に複数回巻き掛けられて複数条となり、ガイドローラ組のうちの一対の隣り合うガイドローラ２４Ｂ，２４Ｃ間で互いに離間した複数の切断ワイヤ部分２６を構成するワイヤ１５と、ワイヤ１５の各条に接して共通の放電加工電力を給電する回転電極２００Ａ，２００Ｂと、を備え、ワイヤ１５を矢印Ｒの方向に送りながら各切断ワイヤ部分２６とインゴット２８との間で放電を行ってインゴット２８を切断加工するマルチワイヤ放電加工装置１００であって、回転電極２００Ａ，２００Ｂはワイヤ１５の送り方向と同じ方向に向かって回転する。 （もっと読む）

【課題】マルチワイヤ放電加工装置において簡便な構成によって加工速度を向上させる。
【解決手段】間隔をおいて配設された複数のガイドローラ２４Ａ〜２４Ｆを含むガイドローラ組と、各ガイドローラ２４Ａ〜２４Ｆの長手方向に間隔をあけてガイドローラ組に複数回巻き掛けられて複数条となり、ガイドローラ組のうちの一対の隣り合うガイドローラ２４Ｂ，２４Ｃ間で互いに離間した複数の切断ワイヤ部分２６を構成するワイヤ１５と、ワイヤ１５の各条に接し、ワイヤ１５の送り方向と同じ方向に向かって回転して共通の放電加工電力を給電する回転電極２００Ａ，２００Ｂと、放電加工電力を供給する共通の加工用の電源２９とを備え、ワイヤ１５を矢印Ｒの方向に送りながら各切断ワイヤ部分２６とインゴット２８との間で放電を行ってインゴット２８を切断加工する。 （もっと読む）

【課題】マルチワイヤ放電加工装置において、切断ワイヤ部分の共振を抑制し、効率よく炭化ケイ素の薄板を切り出す。
【解決手段】放電加工中に放電発生が停止した際に、高周波パルス電力の通電再開からの放電が検知されていた時間と放電が検知されない時間の合計時間である積算時間ＳＴが切断ワイヤ部分の振動の周期を固有周期ｔ_sより第一の離調時間Δｔ_s1だけ短くなった際に通電を停止し、その後一時停止時間Δｔ_pだけ通電停止を継続し、高周波パルス電力の通電再開からの経過時間が切断ワイヤ部分の振動の周期を固有周期ｔ_sより第二の離調時間Δｔ_s2だけ長くなった際に高周波パルス電力の通電を再開する。 （もっと読む）

【課題】内部で発生する雑音（ノイズ）は極力抑え、修理のために針交換が可能であり、半導体デバイスのパッドに付く傷跡はできるだけ小さく、また方向を制御することが可能なプローブカードを提供する。
【解決手段】電源針配線と信号針配線とを互いにほぼ直交させ、針支持板の針を通すマイクロホール周りに座刳りを施し、針を通した状態で樹脂を用いて固定する。また、下面板・上面板ずらしと上面板・針支持板ずらしの２種類のずらしを導入することにより、針のたわみ方向を制御でき、半導体デバイスパッド上での針の滑りを制御することで傷跡を小さくできる。 （もっと読む）

【課題】マルチワイヤ放電加工装置でワークから複数の薄板を効率よく切り出す。
【解決手段】間隔をおいて配設された複数のガイドローラ２４Ａ〜２４Ｄの長手方向に間隔をあけて複数回巻き掛けられ、ガイドローラ２４Ａと２４Ｄの間で該ガイドローラ２４Ａ，２４Ｄの長手方向に所定の離間ピッチＰで配置された複数の切断ワイヤ部分２６を構成するワイヤ１５と、切断ワイヤ部分２６に向かってワーク２８を送る送り機構２７と、を備え、ワーク送り方向先端側からワーク送り方向と反対側に向かってワーク２８に押し付けられるワーク押さえ５０を備える。 （もっと読む）

【課題】マルチワイヤ放電加工装置において、電極の磨耗を抑制する。
【解決手段】間隔をおいて配設された複数のガイドローラ２４Ａ〜２４Ｆを含むガイドローラ組と、各ガイドローラ２４Ａ〜２４Ｆの長手方向に間隔をあけてガイドローラ組に複数回巻き掛けられ、一対の隣接するガイドローラ２４Ｂ，２４Ｃ間で互いに離間した複数の切断ワイヤ部分２６ａから２６ｈを構成するワイヤ１５と、複数の切断ワイヤ部分２６ａ〜２６ｈに給電する複数の電子２０９ａ，２１５ａ，２０９ｂ，２１５ｂを含む給電ブロック２００と、を備え、各切断ワイヤ部分２６ａ〜２６ｈとワーク２８との間で放電を行ってワーク２８を加工するマルチワイヤ放電加工装置１００であって、給電子２０９ａ，２１５ａ，２０９ｂ，２１５ｂは回転自在に取り付けられワイヤ１５が巻きかけられる導電体の円筒とする。 （もっと読む）

【課題】ワイヤ放電加工装置の放電を安定させる。
【解決手段】ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂに間隔をあけて複数回巻き掛けられ、各ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ間で互いに離間した複数の切断ワイヤ部分２６ａ〜２６ｆを構成するワイヤ１５と、２本おきに配置された２本の切断ワイヤ部分２６を含む３つの切断ワイヤ部分組２６１〜２６３と、各切断ワイヤ部分組２６１〜２６３の各切断ワイヤ部分２６に給電する複数の導電ブロック４１Ａ〜４３Ａを含む給電ブロック４１〜４３と、パルス電力を供給するパルス電源２９と、を備え、各切断ワイヤ部分２６とワーク２８との間で放電を行ってワーク２８を加工するワイヤ放電加工装置であって、各給電ブロック４１〜４３は、それぞれ異なる切断ワイヤ部分組２６１〜２６３に給電し、パルス電源２９は、印加時間をずらして各給電ブロック４１〜４３にパルス電力を供給する。 （もっと読む）

【課題】スプリングピンの交換を容易としたプローブカードを提供する。
【解決手段】延伸方向に弾性を与える弾性領域４４ａを有する筒形状の導電性金属部材を含んでなる胴部４４と、胴部４４の端部に配置された導電性を有する第１プランジャ４０とを備え、第１プランジャ４０の一部は胴部４４の筒内に挿入されてなる。 （もっと読む）