【課題】 検出対象であるマークのエッジを正確に検出することが可能なマーク検出方法を提供する。
【解決手段】 Ｙ方向に延びる直線状のマークを含む二次元画像を、Ｘ方向に微分した後、Ｙ方向に射影加算する工程と、射影加算時におけるＹ方向に存在するエッジの数をＸ方向の領域毎に検出するエッジ数検出工程と、エッジ数検出工程で検出したＸ方向の領域毎のエッジの数が設定値以下のときに射影加算後のＸ方向の領域毎の加算値を減少させる加算値補正工程と、加算値補正工程により補正した射影加算後のＸ方向の領域毎の加算値に基づいて直線状のマークのエッジを検出するエッジ検出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 スクライブライン等の直線を高精度に検出することが可能な直線検出方法および基板の位置決め方法を提供する。
【解決手段】 スクライブラインのＸ方向のエッジの位置を検出する工程と、検出エリアをＹ方向の端縁が互いに重なる状態でＹ方向に列設された複数の選択領域に分割する工程と、各選択領域についてエッジのＸ方向の位置をＹ方向に射影加算することによりエッジのＸ方向の重心位置を検出する工程と、各重心位置をラベリングするラベリング工程と、ラベリングされた各エッジのＸ方向の重心位置と各選択領域のＹ方向の重心位置とにより決定される各エッジの座標位置に対して最小二乗法を適用することによりこれらの座標位置を通る各エッジの直線方程式を求める工程と、方程式に基づいてスクライブラインの傾きを検出する工程と、基板を位置決めする工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 検出エリア内にアライメントマークの一部のみしか配置されていない場合においても、その位置を正確に認識することが可能なアライメントマークの位置検出方法を提供する。
【解決手段】 アライメントマークの形状を形状情報として記憶する記憶工程と、検出エリアを直線部分の方向と直交する方向に微分するとともに直線部分の方向に射影加算することによりアライメントマークの直線部分の両端の位置を検出する両端検出工程と、アライメントマークの直線部分の両端の間の領域を端縁検出領域として設定し、この端縁検出領域を微分および射影加算することによりアライメントマークの先端の位置を検出する先端検出工程と、アライメントマークの先端の位置とアライメントマークの形状情報とに基づいてアライメントマークの位置を認定する位置認定工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】第１、第２アライメントマークを正確に認識することが可能な基板の位置決め方法を提供する。
【解決手段】Ｘ方向およびＹ方向に微分および射影加算を行うことにより第１アライメントマークを検出して第１アライメントマークの位置情報を取得する第１アライメントマーク位置情報取得工程（Ｓ１３）と、第１アライメントマークが占める領域を除く領域に対して、Ｘ方向およびＹ方向に微分および射影加算を行うことにより第２アライメントマークを検出して第２アライメントマークの位置情報を取得する第２アライメントマーク位置情報取得工程（Ｓ１６）と、第１アライメントマークの位置情報と第２アライメントマークの位置情報とに基づいて、基板とマスクとを相対的に移動させる位置決め工程Ｓ１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 微細構造体を形成するときの構造部の傾斜面の方向や角度を任意に制御することが可能な露光方法、露光装置、微細構造体の製造方法およびこれにより製造された微細構造体を提供することを目的とする。
【解決手段】 フォトマスクＭとワークＷとを互いに平行に近接配置した状態で、光源２から出射した光の光軸とワークＷの表面の法線とが交差する方向に一体的に移動させて露光を行う。このときには、ワークＷが光源２から出射した光の入射側とは逆側に配置されるように、フォトマスクＭに対してワークＷをワークＷの表面に沿って移動させる。 （もっと読む）

【課題】 樹脂を破ることなく素子を封止する封止装置を提供する。
【解決手段】 有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０がガラス２０の一主面２０Ａに配置され、紫外線効果樹脂８０が有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を囲むように一主面２０Ａに塗布される。そして、周囲の圧力を大気圧よりも低い圧力に保持した状態でガラス３０をガラス２０に近づけてガラス３０を紫外線硬化樹脂８０に接触させる。その後、ガラス２０，３０間の距離を距離ｄ１から距離ｄ２へ短くしてガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力を略大気圧に設定する。そして、紫外線硬化樹脂８０を紫外線により硬化させる。 （もっと読む）

【課題】 簡易な構成でありながら、透明パターンを確実に検出することが可能なパターン照明装置および基板の位置決め装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 一対のＬＥＤ３ａの光軸は、ガラス基板１１の表面と平行な平面においては、第１の方向と平行な方向を向く。これら一対のＬＥＤ３ａの光軸は、ＣＣＤ１３カメラの光軸を含む平面においては、そこから出射された光が直接ＣＣＤカメラ１３に入射しない角度θだけ光軸に対して傾斜した方向を向く。また、一対のＬＥＤ３ｂの光軸は、ガラス基板１１の表面と平行な平面においては、第１の方向とは直交する第２の方向を向く。また、一対のＬＥＤ３ｂの光軸は、ＣＣＤ１３カメラの光軸を含む平面においては、そこから出射された光が直接ＣＣＤカメラ１３に入射しない角度θだけ光軸に対して傾斜した方向を向く。 （もっと読む）

【課題】 ディクリネーション角を簡易かつ有効に測定することが可能なディクリネーション角の測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 その基準面に対してその光軸が法線方向を向くカメラ３１を使用してサンプル点５３を撮影し、カメラ３１により撮影した画像におけるサンプル点６３の、光軸５０に相当する標線の交点６１からの距離Ｄと、サンプル点５３から出射された光の光軸５０に対する角度θとの関係を測定する測定行程と、カメラ３１をその基準面が照射面に当接する状態で照射面上に載置してレンズを撮影する撮影工程と、カメラ３１により撮影したレンズの中心と標線の交点６１からの距離から、照射面に照射された光の照射面に対するディクリネーション角を演算する演算工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】 簡易な作業により非球面コリメートミラーを理想的な放物面に加工することが可能な非球面コリメートミラーおよび非球面コリメートミラーの調整方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 非球面コリメートミラー１は、ベース部材１１と、可撓性を有するミラー部材１２と、点対称に配置された１３個の支持部材１３とを備える。ベース部材１１とミラー部材１２とは、支持部材１３により連結されている。ここで、ミラー部材１２は、そこに応力を付与しない状態においては球面形状を有する、通常の球面ミラーが使用される。この非球面コリメートミラー１においては、点対称に配置された１３個の支持部材１３の各々について、ベース部材１１に固定された第１固定部とミラー部材１２の裏面に固定された第２固定部との間隔を変更することにより、ミラー部材１２の形状を任意に変更することが可能となる。 （もっと読む）