【課題】 この発明は、二酸化炭素ガスを低濃度に調節した空気雰囲気における恒温恒湿装置を提供することにある。
【解決手段】 この発明の恒温恒湿装置は、所定の濃度に調整した二酸化炭素を含む空気を試験室内に供給するガス供給ライン２と、試験室１内の空気のガス濃度を検出するガス濃度センサ１７と、試験室１内の空気を外部にパージする量が変更可能な室パージダンパー１４と、室パージダンパー１４のパージ量を制御する制御装置２０と、を備え、制御装置２０は、試験室１からの空気のリーク量とガス供給ライン２からの供給ガス量に応じて室パージダンパー１４のパージ量を制御する。 （もっと読む）

【課題】 環境雰囲気下において、石英を素早く溶解し、石英チューブの密閉を確実かつ短時間で行うことを目的とする。
【解決手段】この発明の石英製試料収容容器の製造方法は、石英製の収容容器１の開口部に石英ピン２のピン部２２を挿入して、開口部の上端に石英ピン２を配置させ、この石英ピン２の上にキャップ箔４を介して導電体からなるキャップ３を被せる。このキャップ３の周囲に誘電体コイル５１を配置させ、高周波誘導加熱により、キャップ３を加熱して、石英ピン２と収容容器１の石英を溶解させ、収容容器１を密閉する。 （もっと読む）

【課題】 樹脂を破ることなく素子を封止する封止装置を提供する。
【解決手段】 有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０がガラス２０の一主面２０Ａに配置され、紫外線効果樹脂８０が有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を囲むように一主面２０Ａに塗布される。そして、周囲の圧力を大気圧よりも低い圧力に保持した状態でガラス３０をガラス２０に近づけてガラス３０を紫外線硬化樹脂８０に接触させる。その後、ガラス２０，３０間の距離を距離ｄ１から距離ｄ２へ短くしてガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力を略大気圧に設定する。そして、紫外線硬化樹脂８０を紫外線により硬化させる。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、低湿度から高湿度まで幅広いレンジでの湿度調整をシステムが複雑化することなく対応できる湿度調整装置を提供することを課題とする。
【解決手段】 この発明は、外部と気密状に区画されたグローブボックス１の本体ボックス２と、この本体ボックス２に連通可能に設けられ、内部に吸着材を備えた充填塔２３とこの吸着材を加熱するヒータ２４を有する湿度調整装置２０とを有し、本体ボックス２と充填塔２３との間を置換ガスを循環させ、吸着材への水分の吸着又は放出により本体ボックス２内の湿度を調整する。 （もっと読む）

【課題】 透明電極上にある微小な突起を平坦化し、有機ＥＬ素子の表示品位の向上が可能な透明電極を形成した基板の表面処理方法を提供する。
【解決手段】 ＩＴＯ膜２ａを表面に形成してあり表示装置を構成する基板２の表面を平坦化する処理方法は、電圧印加電極である平行電極１２，１３と接地電極である搬送台５との間に、ＩＴＯ膜２ａが形成された基板２を位置させ、平行電極１２，１３と基板２との間に処理ガスとしてＯ_２ガスを供給すると共に両電極間に電圧を電源７から印加して該処理ガスをプラズマ化し、プラズマ化処理ガス４ａをＩＴＯ膜２ａに接触させてＩＴＯ膜上に存在する微小な突起を除去して平坦化する。平坦化されたＩＴＯ膜の表面の算術平均粗さＲａは１〜１０ｎｍの範囲に設定される。この表面処理方法は、大気圧近傍の圧力下で実施されることが好ましい。 （もっと読む）