封止装置および封止方法
【課題】 樹脂を破ることなく素子を封止する封止装置を提供する。
【解決手段】 有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０がガラス２０の一主面２０Ａに配置され、紫外線効果樹脂８０が有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を囲むように一主面２０Ａに塗布される。そして、周囲の圧力を大気圧よりも低い圧力に保持した状態でガラス３０をガラス２０に近づけてガラス３０を紫外線硬化樹脂８０に接触させる。その後、ガラス２０，３０間の距離を距離ｄ１から距離ｄ２へ短くしてガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力を略大気圧に設定する。そして、紫外線硬化樹脂８０を紫外線により硬化させる。
【解決手段】 有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０がガラス２０の一主面２０Ａに配置され、紫外線効果樹脂８０が有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を囲むように一主面２０Ａに塗布される。そして、周囲の圧力を大気圧よりも低い圧力に保持した状態でガラス３０をガラス２０に近づけてガラス３０を紫外線硬化樹脂８０に接触させる。その後、ガラス２０，３０間の距離を距離ｄ１から距離ｄ２へ短くしてガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力を略大気圧に設定する。そして、紫外線硬化樹脂８０を紫外線により硬化させる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、素子を封止する封止装置および封止方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ：Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）発光素子をマトリックス状等に配置して、発光させる素子を適宜選択して文字等を構成し、これにより情報等を表示するものである。
【０００３】
この有機エレクトロルミネッセンス発光素子は、錫ドープ酸化インジウム（ＩＴＯ：Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）などの透明電極（陽電極）上にテトラフェニルジアミン（ＴＰＤ）などのホール輸送材料を蒸着等により薄膜とし、さらに、アルミキノリノール錯体（Ａｌｑ３）などの蛍光物質を発光層として積層し、さらに、マグネシウム（Ｍｇ）などの仕事関数の小さい金属電極（陰電極）を形成した基本構成を有する素子で、１０Ｖ前後の電圧で数１００〜１０００ｃｄ／ｃｍ２ときわめて高い輝度が得られることで注目されている。
【０００４】
しかし、有機エレクトロルミネッセンス発光素子は、水分に極めて弱いという問題がある。たとえば、水分の影響により、発光層と電極層の間で剥離が生じたり、構成材料が変質してしまったりして、ダークスポットが生じたり、発光層が維持できなくなってしまうという問題が生じる。
【０００５】
このような問題を解決するための一つの方法として、水分含有率が１００ｐｐｍ以下の不活性ガス雰囲気中で有機エレクトロルミネッセンス発光素子を封止する封止装置および封止方法が知られている（特許文献１）。
【０００６】
この封止装置は、水分含有量が１００ｐｐｍである窒素ガス雰囲気中において、有機エレクトロルミネッセン発光素子を基板上に配置し、その配置した有機エレクトロルミネッセンス発光素子を覆うようにシールド部材を配置し、シールド部材と基板とをカチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤で張り合わせることにより、有機エレクトロルミネッセンス発光素子を窒素ガス雰囲気中に封止するものである。
【特許文献１】特許第３２８８２４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、従来の封止装置において、紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤によってシールド部材と基板とを接着させる場合、シールド部材を紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤に接触させた状態からシールド部材をさらに基板側に押し付けて紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤を硬化させると、紫外線硬化型エポキシ樹脂の一部分が破れ、基板、シールド部材および紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤によって囲まれた領域に水分が入るという問題がある。
【０００８】
そこで、この発明は、かかる問題を解決するためになされたものであり、その目的は、樹脂を破ることなく素子を封止する封止装置を提供することである。
【０００９】
また、この発明の別の目的は、樹脂を破ることなく素子を封止する封止方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明によれば、封止装置は、素子を第１および第２の基板間に封止する封止装置であって、塗布手段と、設定手段と、硬化手段とを備える。塗布手段は、第１の基板の一主面上に配置された素子を囲むように一主面に樹脂を塗布する。設定手段は、大気圧と異なる所定の圧力を有し、かつ、不活性ガスで満たされた雰囲気内において、樹脂が塗布された一主面に向かって第２の基板を移動させ、樹脂に第２の基板を接触させるとともに、第２の基板を一主面の法線方向に移動させて第１および第２の基板間の距離を所定の距離に設定する。硬化手段は、第１および第２の基板間の距離が所定の距離に設定された状態で樹脂を硬化させる。そして、所定の距離は、第１および第２の基板と樹脂とによって囲まれた領域の圧力が略大気圧になる距離である。
【００１１】
好ましくは、封止装置は、加熱処理手段をさらに備える。加熱処理手段は、素子を真空中または不活性ガス雰囲気中で加熱処理する。そして、塗布手段は、加熱処理手段による加熱処理の後に樹脂を一主面に塗布する。
【００１２】
好ましくは、所定の圧力は、大気圧よりも低い圧力である。
【００１３】
好ましくは、設定手段は、接触手段と、移動手段とを含む。接触手段は、雰囲気内において、第２の基板を一主面に近づけて第２の基板を樹脂に接触させる。移動手段は、雰囲気内において、第１および第２の基板間の距離が所定の距離になるように第１および第２の基板を相互に近づける。
【００１４】
好ましくは、設定手段は、加圧手段をさらに含む。加圧手段は、移動手段による第１または第２の基板の移動に連動して、第１および第２の基板と樹脂とによって囲まれた領域以外の領域の圧力を略大気圧まで加圧する。
【００１５】
好ましくは、所定の圧力は、大気圧よりも高い圧力である。
【００１６】
好ましくは、設定手段は、接触手段と、移動手段とを含む。接触手段は、雰囲気内において、第２の基板を一主面に近づけて第２の基板を樹脂に接触させる。移動手段は、雰囲気内において、第１および第２の基板間の距離が所定の距離になるように第１および第２の基板を相互に遠ざける。
【００１７】
好ましくは、設定手段は、減圧手段をさらに含む。減圧手段は、移動手段による第１または第２の基板の移動に連動して、第１および第２の基板と樹脂とによって囲まれた領域以外の領域の圧力を略大気圧まで減圧する。
【００１８】
好ましくは、樹脂は、紫外線硬化樹脂である。そして、硬化手段は、紫外線硬化樹脂に紫外線を照射する紫外線ランプである。
【００１９】
好ましくは、素子は、有機エレクトロルミネッセンス表示素子である。
【００２０】
好ましくは、不活性ガスの水分含有率は、１００ｐｐｍ以下である。
【００２１】
また、この発明によれば、封止方法は、素子を第１および第２の基板間に封止する封止方法であって、第１の基板の一主面上に配置された素子を囲むように一主面に樹脂を塗布する第１のステップと、大気圧と異なる所定の圧力を有し、かつ、不活性ガスで満たされた雰囲気内において、樹脂が塗布された一主面に向かって第２の基板を移動させ、樹脂に第２の基板を接触させるとともに、第２の基板を一主面の法線方向に移動させて第１および第２の基板間の距離を所定の距離に設定する第２のステップと、第１および第２の基板間の距離が所定の距離に設定された状態で樹脂を硬化させる第３のステップとを備える。そして、所定の距離は、第１および第２の基板と樹脂とによって囲まれた領域の圧力が略大気圧になる距離である。
【００２２】
好ましくは、封止方法は、素子を真空中または不活性ガス雰囲気中で加熱処理する第４のステップをさらに備える。そして、第１から第３のステップは、第４のステップの後に実行される。
【００２３】
好ましくは、所定の圧力は、大気圧よりも低い圧力である。そして、第２のステップは、素子が配置され、かつ、樹脂が塗布された第１の基板と、第２の基板とを不活性ガス中に搬入する第１のサブステップと、搬入された第１および第２の基板の周囲を所定の圧力まで減圧する第２のサブステップと、一主面に向かって第２の基板を近づけて樹脂に第２の基板を接触させる第３のサブステップと、第１および第２の基板間の距離が所定の距離になるように第１および第２の基板を相互に近づける第４のサブステップとを含む。
【００２４】
好ましくは、第２のステップは、第４のサブステップにおける第１または第２の基板の移動に連動して、第１および第２の基板と樹脂とによって囲まれた領域以外の領域の圧力を略大気圧まで加圧する第５のサブステップをさらに含む。
【００２５】
好ましくは、所定の圧力は、大気圧よりも高い圧力である。そして、第２のステップは、素子が配置され、かつ、樹脂が塗布された第１の基板と、第２の基板とを不活性ガス中に搬入する第１のサブステップと、搬入された第１および第２の基板の周囲を所定の圧力まで加圧する第２のサブステップと、一主面に向かって第２の基板を近づけて樹脂に第２の基板を接触させる第３のサブステップと、第１および第２の基板間の距離が所定の距離になるように第１および第２の基板を相互に近づける第４のサブステップとを含む。
【００２６】
好ましくは、第２のステップは、第４のサブステップにおける第１または第２の基板の移動に連動して、第１および第２の基板と樹脂とによって囲まれた領域以外の領域の圧力を略大気圧まで減圧する第５のサブステップをさらに含む。
【００２７】
好ましくは、樹脂は、紫外線硬化樹脂である。そして、第３のステップは、紫外線を紫外線硬化樹脂に照射する。
【発明の効果】
【００２８】
この発明によれば、素子を２つの基板間に樹脂によって封止する場合、素子と第１および第２の基板とが配置された雰囲気の圧力を大気圧と異なる圧力に設定した状態で第２の基板を素子が配置された第１の基板に近づけて第２の基板を樹脂に接触させる。そして、第１および第２の基板と樹脂とによって囲まれた領域内の圧力が略大気圧になるように第１の基板と第２の基板との距離を所定の距離に設定して樹脂を硬化させる。つまり、素子が封止される領域の圧力が最終的に略大気圧になるように第１および第２の基板間の距離を設定して素子を封止する。
【００２９】
したがって、この発明によれば、第１および第２の基板と樹脂とによって囲まれた領域の内外に圧力差が殆ど発生しないので、樹脂が破れるのを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰返さない。
【００３１】
［実施の形態１］
図１は、この発明の実施の形態１による封止装置の概略図である。図１を参照して、この発明の実施の形態１による封止装置１０は、洗浄ユニット１と、受付ユニット２と、搬送ユニット３と、塗布ユニット４と、貼合ユニット５と、ガス供給装置６と、ポンプ７〜９，１１とを備える。
【００３２】
洗浄ユニット１は、矢印１２の方向から搬入されたガラスをプラズマによりクリーニングする。そして、洗浄ユニット１は、そのクリーニングしたガラスを受付ユニット２へ搬入する。また、洗浄ユニット１は、受付ユニット２から搬入されたガラスを封止装置１０外へ搬出する。
【００３３】
受付ユニット２は、洗浄ユニット１からガラスを受けると、ポンプ７によって所定の圧力まで減圧される。そして、受付ユニット２は、所定の圧力まで減圧されると、ガラスを搬送ユニット３へ搬出する。また、受付ユニット２は、搬送ユニット３からガラスを受けると、空気によって大気圧に戻される。そして、受付ユニット２は、大気圧に戻されると、ガラスを洗浄ユニット１へ搬出する。
【００３４】
搬送ユニット３は、ポンプ８によって所定の圧力まで減圧されるとともに、ガス供給装置６から窒素（Ｎ２）を受け、任意の圧力（大気圧および減圧の両方を含む。）に設定される。そして、搬送ユニット３は、受付ユニット２から搬入されたガラスを塗布ユニット４へ搬出するとともに、塗布ユニット４から搬入されたガラスを貼合ユニット５へ搬出する。さらに、搬送ユニット３は、貼合ユニット５から搬入されたガラスを受付ユニット２へ搬出する。
【００３５】
塗布ユニット４は、ポンプ９によって所定の圧力まで減圧されるとともに、ガス供給装置６から窒素（Ｎ２）を受け、任意の圧力（大気圧および減圧の両方を含む。）に設定される。そして、塗布ユニット４は、搬入されたガラスの一主面に後述する方法によって紫外線硬化樹脂を塗布し、紫外線硬化樹脂のガラスへの塗布が終了すると、ガラスを搬送ユニット３へ搬出する。
【００３６】
貼合ユニット５は、ポンプ１１によって所定の圧力まで減圧されるとともに、ガス供給装置６から窒素（Ｎ２）を受け、任意の圧力（大気圧および減圧の両方を含む。）に設定される。そして、貼合ユニット５は、後述する方法によって、有機エレクトロルミネッセンス表示素子を窒素ガス雰囲気中で２枚のガラス間に封止する。また、貼合ユニット５は、２枚のガラス間に封止した有機エレクトロルミネッセンス表示素子を搬送ユニット３へ搬出する。
【００３７】
ガス供給装置６は、水分含有量が１００ｐｐｍ以下である窒素ガスを搬送ユニット３、塗布ユニット４および貼合ユニット５に独立に供給する。ポンプ７は、受付ユニット２に連結され、受付ユニット２内を所定の圧力まで減圧する。ポンプ８は、搬送ユニット３に連結され、搬送ユニット３内を所定の圧力まで減圧する。ポンプ９は、塗布ユニット４に連結され、塗布ユニット４内を所定の圧力まで減圧する。ポンプ１１は、貼合ユニット５に連結され、貼合ユニット５内を所定の圧力まで減圧する。
【００３８】
図２は、図１に示す塗布ユニット４の構成を示す概略図である。図２を参照して、塗布ユニット４は、チャンバ４１と、ベアリング４２と、支持部材４２Ａ，４２Ｂと、台座部材４３Ａ，４３Ｂと、筒部材４４Ａ，４４Ｂと、レール部材４５Ａ，４５Ｂと、支持台４６Ａ，４６Ｂと、駆動部４４，４７Ａ，４７Ｂと、ペン部材４３と、アーム部材４５と、機構部４６と、制御部４７と、チューブ４８と、タンク４９とを含む。
【００３９】
支持部材４２Ａ，４２Ｂは、それぞれ、台座部材４３Ａ，４３Ｂをチャンバ４１に支持する。台座部材４３Ａ，４３Ｂは、それぞれ、支持部材４２Ａ，４２Ｂによってチャンバ４１の底面４１Ａの近くに支持される。筒部材４４Ａ，４４Ｂは、それぞれ、台座部材４３Ａ，４３Ｂに固定される。
【００４０】
レール部材４５Ａ，４５Ｂは、略Ｈ字形状の断面形状を有し、一部分がそれぞれ筒部材４４Ａ，４４Ｂと嵌合する。そしてベアリング４２は、レール部材４５Ａ，４５Ｂと筒部材４４Ａ，４４Ｂとの間に配置される。これにより、レール部材４５Ａ，４５Ｂは、それぞれ、駆動部４７Ａ，４７Ｂによって紙面に垂直な方向に移動可能である。
【００４１】
支持台４６Ａ，４６Ｂは、それぞれ、レール部材４５Ａ，４５Ｂに固定される。そして、支持台４６Ａ，４６Ｂは、ガラス２０を支持する。駆動部４７Ａ，４７Ｂは、それぞれ、支持台４６Ａ，４６Ｂをそれぞれ紙面に垂直な方向へ移動させる。ペン部材４３は、紫外線硬化樹脂をガラス２０の一主面２０Ａに塗布する。駆動部４４は、アーム部材４５の先端に固定され、ペン部材４３による紫外線硬化樹脂の塗布を駆動する。
【００４２】
アーム部材４５は、一方端が機構部４６に取り付けられる。機構部４６は、制御部４７からの制御に従ってアーム部材４５をｘ軸方向、ｙ軸方向（紙面に垂直な方向）およびｚ軸方向へ移動させる。
【００４３】
制御部４７は、アーム部材４５がｘ軸方向、ｙ軸方向（紙面に垂直な方向）およびｚ軸方向へ移動するように機構部４６を制御する。チューブ４８は、一方端が駆動部４４を介してペン部材４３に連結され、他方端がタンク４９に連結される。タンク４９は、紫外線硬化樹脂を溜め、紫外線硬化樹脂をチューブ４８を介してペン部材４３に供給する。
【００４４】
図３は、図１に示す貼合ユニット５の構成を示す概略図である。図３を参照して、貼合ユニット５は、チャンバ５１と、ベアリング５２と、アーム部材５２Ａ，５２Ｂ，５４と、台座部材５３Ａ，５３Ｂと、筒部材５４Ａ，５４Ｂと、レール部材５５Ａ，５５Ｂと、支持台５６Ａ，５６Ｂと、駆動部５６，５７Ａ，５７Ｂ，５８と、チャック部５３と、伸縮部材５５，５９Ａ，５９Ｂと、固定部材５７と、顕微鏡５８Ａ，５８Ｂと、窓５９と、ランプユニット６０とを含む。
【００４５】
アーム部材５２Ａ，５２Ｂは、チャンバ５１を介してそれぞれ伸縮部材５９Ａ，５９Ｂに連結される。ベアリング５２、台座部材５３Ａ，５３Ｂ、筒部材５４Ａ，５４Ｂ、レール部材５５Ａ，５５Ｂ、支持台５６Ａ，５６Ｂおよび駆動部５７Ａ，５７Ｂは、それぞれ、塗布ユニット４のベアリング４２、台座部材４３Ａ，４３Ｂ、筒部材４４Ａ，４４Ｂ、レール部材４５Ａ，４５Ｂ、支持台４６Ａ，４６Ｂおよび駆動部４７Ａ，４７Ｂと同じである。
【００４６】
したがって、貼合ユニット５においても、レール部材５５Ａ，５５Ｂおよび支持台５６Ａ，５６Ｂは、紙面に垂直な方向へ移動可能である。
【００４７】
チャック部５３は、アーム部材５４の先端に固定され、ガラス３０を真空チャックによって保持する。アーム部材５４は、その一方端にチャック部５３が固定され、他方端がチャンバ５１を介して伸縮部５５に連結される。
【００４８】
伸縮部５５は、アーム部材５４に連結され、駆動部５６によってｚ軸方向へ伸縮される。駆動部５６は、伸縮部５５を駆動する。顕微鏡５８Ａ，５８Ｂは、チャンバ５１の上側に取り付けられ、窓（図示せず）を介してガラス２０，３０のアライメントマークを観察してガラス２０，３０の位置決めを行なう。
【００４９】
伸縮部５９Ａ，５９Ｂは、それぞれ、アーム部材５２Ａ，５２Ｂに連結され、駆動部５８によってｚ軸方向へ伸縮される。固定部材５７は、伸縮部５９Ａ，５９Ｂと連結される。駆動部５８は、固定部材５７に取り付けられ、伸縮部５９Ａ，５９Ｂを駆動する。
【００５０】
窓５９は、石英ガラスからなり、チャンバ５１の底部５１Ａに取り付けられる。そして、窓５９は、ランプユニット６０から出射された紫外線ＵＶを透過する。ランプユニット６０は、窓５９に対向して配置される。そして、ランプユニット６０は、紫外線ランプ６１を含み、紫外線ＵＶを窓５９を介してガラス２０，３０に照射する。
【００５１】
図４は、図１に示す封止装置１０が封止の対象とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子の断面構造図である。図４を参照して、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０は、基板７１と、陽電極７２と、正孔注入輸送層７３と、発光層７４と、電子注入輸送層７５と、陰電極７６とを含む。
【００５２】
陽電極７２は、基板１上に形成され、正孔注入輸送層７３は、陽電極７２上に形成され、発光層７４は、正孔注入輸送層７３上に形成され、電子注入輸送層７５は、発光層７４上に形成され、陰電極７６は、電子注入輸送層７５上に形成される。
【００５３】
このように、陽電極７２、正孔注入輸送層７３、発光層７４、電子注入輸送層７５、および陰電極７６は、基板７１上に順次積層される。
【００５４】
図５は、紫外線硬化樹脂の塗布方法を説明するための図である。図２および図５を参照して、複数の有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０が配置されたガラス２０が塗布ユニット４へ搬入されると、制御部４７は、ペン部材４３を有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ａの位置へ移動させるように機構部４６を制御し、機構部４６は、制御部４７からの制御に従ってアーム部材４５をｘ軸方向、ｙ軸方向およびｚ軸方向へ移動させ、ペン部材４３を有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ａの真上へ移動させる。
【００５５】
そして、制御部４７は、ペン部材４３がガラス２０の一主面２０Ａから所定の高さで有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ａの周囲を一周するように機構部４６を制御し、機構部４６は、ガラス２０の一主面２０Ａから所定の高さでペン部材４３が有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ａの周囲を一周するようにアーム部材４５を移動させる。また、駆動部４４は、チューブ４８を介してタンク４９からペン部材４３に供給された紫外線硬化樹脂をペン部材４３の先端から押し出し、紫外線硬化樹脂８０をガラス２０の一主面２０Ａの有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ａの周囲に塗布する。なお、紫外線硬化樹脂８０は、好ましくは、カチオン硬化型の紫外線硬化樹脂からなる。
【００５６】
その後、制御部４７は、ペン部材４３をガラス２０の一主面２０Ａから所定の高さで有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ｂの横へ移動させ、その後、ペン部材４３がガラス２０の一主面２０Ａから所定の高さで有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ｂの周囲を一周するように機構部４６を制御し、機構部４６は、ペン部材４３をガラス２０の一主面２０Ａから所定の高さで有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ｂの横へ移動させ、その後、ガラス２０の一主面２０Ａから所定の高さでペン部材４３が有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ａの周囲を一周するようにアーム部材４５を移動させる。また、駆動部４４は、紫外線硬化樹脂をペン部材４３の先端から押し出し、紫外線硬化樹脂８０をガラス２０の一主面２０Ａの有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ｂの周囲に塗布する（図５の（ａ）参照）。この場合、紫外線硬化樹脂８０の高さは、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０の全体の厚さよりも高い。
【００５７】
上述した動作を繰返すことにより、塗布ユニット４は、ガラス２０の一主面２０Ａに配置された複数の有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０の周囲に紫外線硬化樹脂８０を塗布する（図５の（ｂ）参照）。
【００５８】
図６は、図２に示す貼合ユニット５における貼り合わせの基本原理を説明するための概略図である。図６を参照して、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０がガラス２０の一主面２０Ａに配置され、紫外線硬化樹脂８０が有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を囲むようにガラス２０の一主面２０Ａに塗布されている。
【００５９】
有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０が配置され、かつ、紫外線硬化樹脂８０が塗布されたガラス２０が貼合ユニット５へ搬入されると、貼合ユニット５のチャンバ５１内をポンプ１１によって排気し、チャンバ５１内の圧力を大気圧よりも低い−１００ｋＰａＧ以内まで減圧する。なお、この発明においては、圧力の単位として大気圧を”０”としたゲージ圧を使用し、圧力の単位を［ＰａＧ］と表記する。
【００６０】
そして、ガラス３０を紫外線硬化樹脂８０に接触させる。この場合、２枚のガラス２０，３０間の間隔ｄ１は、紫外線硬化樹脂８０の高さＨ１に等しく、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧの圧力は、大気圧よりも低い−１００ｋＰａＧ以内である（図６の（ａ）参照）。
【００６１】
その後、領域ＲＥＧ内の圧力が略大気圧になるように、２枚のガラス２０，３０間の間隔ｄ１を間隔ｄ２まで狭くする（図６の（ｂ）参照）。間隔ｄ１を間隔ｄ２まで狭くすることによって、領域ＲＥＧの体積が小さくなるため、領域ＲＥＧ内の圧力は高くなる。そして、この状態で紫外線硬化樹脂８０を硬化させて有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する。
【００６２】
このように、貼合ユニット５は、チャンバ５１内を大気圧よりも低い減圧状態に保持したまま、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を囲み、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力が略大気圧になるように２枚のガラス２０，３０間の間隔を狭くして有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を窒素ガス雰囲気中で封止する。
【００６３】
したがって、間隔ｄ２は、領域ＲＥＧ内の圧力を略大気圧にするための間隔である。
【００６４】
図７および図８は、それぞれ、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を２枚のガラス２０，３０で封止する動作を説明するための第１および第２の工程図である。図７を参照して、ガラス３０が窒素ガスで満たされたチャンバ５１内へ搬入され、顕微鏡５８Ａ，５８Ｂ（図３参照）によってアライメントマークが観察されて位置合わせが終了すると、チャック部５３は、ガラス３０を吸引する。そして、駆動部５６は、伸縮部５５を収縮してアーム部材５４を上方向（ｚ軸の正方向）へ移動させる。その結果、ガラス３０は、上方向（ｚ軸の正方向）へ持ち上げられる。
【００６５】
その後、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０が配置され、かつ、紫外線硬化樹脂８０が塗布されたガラス２０が窒素ガスで満たされたチャンバ５１内へ搬入され、顕微鏡５８Ａ，５８Ｂ（図３参照）によってアライメントマークが観察されて位置合わせが完了する（図７の（ａ）参照）。
【００６６】
そうすると、ポンプ１１は、貼合ユニット５のチャンバ５１内を排気し、チャンバ５１内の圧力を大気圧よりも低い圧力まで減圧する。そして、駆動部５６は、伸縮部５５（図３参照）を伸ばし、アーム部材５４をチャンバ５１の底部５１Ａの方向（ｚ軸の負方向）へ移動させ、ガラス３０をガラス２０に塗布された紫外線硬化樹脂８０に接触させる（図７の（ｂ）参照）。この状態において、２枚のガラス２０，３０間の間隔は、間隔ｄ１である。
【００６７】
その後、２枚のガラス２０，３０間の間隔を間隔ｄ１から間隔ｄ２まで狭くする。この場合、２枚のガラス２０，３０間の間隔を狭くする方法として２つの方向がある。１つ目の方法は、図７の（ｂ）に示す状態からアーム部材５４をチャンバ５１の底部５１Ａの方向へさらに移動させ、ガラス３０をガラス２０の一主面２０Ａにさらに近づける方法である。２つ目の方法は、図７の（ｂ）に示す状態からアーム部材５２Ａ，５２Ｂを上方向（ｚ軸の正方向）へ移動させ、ガラス３０をガラス２０の一主面２０Ａにさらに近づける方法である。
【００６８】
すなわち、２枚のガラス２０，３０間の間隔を間隔ｄ１から間隔ｄ２まで狭くする方法は、２つのガラス２０，３０のいずれか一方を移動させて２枚のガラス２０，３０間の間隔を間隔ｄ１から間隔ｄ２まで狭くする方法であればよい。
【００６９】
なお、２つ目の方法でガラス３０をガラス２０の一主面２０Ａに近づける場合、駆動部５８は、伸縮部５９Ａ，５９Ｂを収縮してアーム部材５２Ａ，５２Ｂを上方向（ｚ軸の正方向）へ移動させる。
【００７０】
ガラス３０が紫外線硬化樹脂８０に接触すると、上述した２つの方法のいずれかの方法によって２枚のガラス２０，３０間の間隔を間隔ｄ１から間隔ｄ２まで狭くする（図８の（ｃ）参照）。そして、ガス供給装置６は、２枚のガラス２０，３０間の間隔が狭くなり始めたら、窒素ガスをチャンバ５１内へ供給し始める。
【００７１】
これは、次の理由による。２枚のガラス２０，３０間の間隔が狭くなると、上述したように、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力は大気圧まで高くなるが、領域ＲＥＧ以外のチャンバ５１内の圧力を減圧状態に保持すると、領域ＲＥＧ内の圧力の方が高くなり、領域ＲＥＧ内から領域ＲＥＧ外の方向へ圧力が印加され、紫外線硬化樹脂８０が破れる虞があるからである。
【００７２】
２枚のガラス２０，３０間の間隔が間隔ｄ２になると、ランプユニット６０の紫外線ランプ６１が点灯され、紫外線ランプ６１は、窓５９を介して紫外線ＵＶを紫外線硬化樹脂８０に照射し、紫外線硬化樹脂８０を硬化させる（図８の（ｄ）参照）。そして、紫外線硬化樹脂８０が硬化すると、一連の動作は終了する。
【００７３】
図９は、２枚のガラス２０，３０間の距離および領域ＲＥＧ内の圧力のタイミングチャートである。図９において、曲線ｋ１は、２枚のガラス２０，３０間の距離のタイミングチャートを示し、曲線ｋ２は、紫外線硬化樹脂８０および２枚のガラス２０，３０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力のタイミングチャートを示す。
【００７４】
２枚のガラス２０，３０間の距離は、タイミングｔ１まで間隔ｄ１に保持され、タイミングｔ１からタイミングｔ２までの間、徐々に減少し、タイミングｔ２以降、間隔ｄ２に保持される。
【００７５】
一方、領域ＲＥＧ内の圧力は、タイミングｔ１まで圧力Ｐ１（大気圧よりも低い減圧状態）に保持され、タイミングｔ１からタイミングｔ２までの間、徐々に増加し、タイミングｔ２以降、圧力Ｐ２（＝略大気圧）に保持される。そして、ガス供給装置６は、タイミングｔ１からタイミングｔ２までの間、窒素ガスを貼合ユニット５のチャンバ５１へ供給する。
【００７６】
このように、領域ＲＥＧ内の圧力は、２枚のガラス２０，３０間の距離が短くなることに連動して徐々に高くなる。
【００７７】
なお、図９においては、２枚のガラス２０，３０間の距離および領域ＲＥＧ内の圧力は、直線状に変化するように示されているが、この発明においては、これに限らず、２枚のガラス２０，３０間の距離および領域ＲＥＧ内の圧力は、曲線的に変化するようにしてもよい。
【００７８】
図１０は、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する封止方法を説明するための実施の形態１におけるフローチャートである。
【００７９】
一連の動作が開始されると、塗布ユニット４は、上述した動作によって、ガラス２０（第１のガラス）の一主面２０Ａに配置された有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０（ＥＬ素子）を囲むように窒素ガス雰囲気中で一主面２０Ａに紫外線硬化樹脂８０を塗布する（ステップＳ１０）。
【００８０】
そして、搬送ユニット３は、受付ユニット２から受けたガラス３０（第２のガラス）を貼合ユニット５へ搬出する。また、塗布ユニット４は、紫外線硬化樹脂８０の塗布が終了すると、ガラス２０を搬送ユニット３へ搬出し、搬送ユニット３は、塗布ユニット４からガラス２０を受け、その受けたガラス２０を貼合ユニット５へ搬出する（ステップＳ１２）。
【００８１】
なお、搬送ユニット３は、窒素ガス雰囲気中でガラス２０，３０の搬入／搬出を行なう。また、ガラス２０は、ガラス３０が搬送ユニット３から貼合ユニット５へ搬出された後に搬送ユニット３から貼合ユニット５へ搬出されるが、ガラス３０は、チャック部５３によって吸引され、支持台５６Ａ，５６Ｂの高さよりも上方向へ退避しているので、搬送ユニット３は、ガラス２０を貼合ユニット５へ搬出することができる。
【００８２】
ガラス２０，３０が貼合ユニット５へ搬入されると、ポンプ１１は、貼合ユニット５のチャンバ５１内を排気し、チャンバ５１内の圧力を所定の圧力まで減圧する（ステップＳ１４）。
【００８３】
その後、上述した動作によって、ガラス３０（第２のガラス）をガラス２０（第１のガラス）の一主面２０Ａに向かって近づけ、ガラス３０（第２のガラス）を紫外線硬化樹脂８０に接触させる（ステップＳ１６）。
【００８４】
そして、上述した動作によって、ガラス３０（第２のガラス）をガラス２０（第１のガラス）の一主面２０Ａにさらに近づけ、ガラス３０（第２のガラス）とガラス２０（第１のガラス）との間の距離を所定の距離（＝間隔ｄ２）に設定するとともに（ステップＳ１８）、ガス供給装置６は、ガラス３０（第２のガラス）の移動に連動して、チャンバ５１内へ窒素ガスを供給し、ガラス２０（第１のガラス）およびガラス３０（第２のガラス）と紫外線硬化樹脂８０とによって囲まれた領域ＲＥＧ以外の領域の圧力を大気圧まで徐々に加圧する（ステップＳ２０）。
【００８５】
そうすると、ランプユニット６０は、紫外線ランプ６１によって紫外線ＵＶを照射して紫外線硬化樹脂８０を硬化させる（ステップＳ２２）。これによって、一連の動作は終了する。
【００８６】
有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する場合、２枚のガラス２０，３０間の間隔を最初に間隔ｄ１に保持し、その後、間隔ｄ２まで狭くするのは、２枚のガラス２０，３０が紫外線硬化樹脂８０によって強固に接着されるようにするためである。そして、２枚のガラス２０，３０間の間隔が狭くなると、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の体積が減少し、領域ＲＥＧ内の圧力が高くなるので、領域ＲＥＧ内を最初、減圧状態に保持し、２枚のガラス２０，３０間の間隔を狭くした状態で略大気圧になるように２枚のガラス２０，３０間の間隔を設定するとともに、領域ＲＥＧ外の圧力も略大気圧に設定する。
【００８７】
したがって、領域ＲＥＧ内から領域ＲＥＧ外へ圧力が印加されず、紫外線硬化樹脂８０が破れることがない。
【００８８】
図１１は、実施の形態１による封止装置の他の概略図である。実施の形態１による封止装置は、図１１に示す封止装置１００であってもよい。図１１を参照して、封止装置１００は、図１に示す封止装置１０に加熱ユニット１１０およびポンプ１１１を追加したものであり、その他は、封止装置１０と同じである。
【００８９】
加熱ユニット１１０は、搬送ユニット３から搬入された部品（＝有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０）を加熱処理し、加熱処理が終了すると、部品（＝有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０）を搬送ユニット３へ搬出する。この場合、加熱処理の条件は、８０℃以上、部品の耐熱温度以下の温度範囲で、１５分以上である。
【００９０】
加熱ユニット１１０は、加熱処理を真空中または窒素ガス雰囲気中で行なう。真空中で加熱処理が行なわれる場合、ポンプ１１１は、加熱ユニット１１０内を排気する。また、窒素ガス雰囲気中で加熱処理が行なわれる場合、ガス供給装置６は、窒素ガスを加熱ユニット１１０へ供給する。なお、加熱ユニット１１０は、抵抗加熱またはランプ加熱によって加熱処理を行なう。
【００９１】
このように、封止装置１００は、部品（＝有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０）を真空中または窒素ガス雰囲気中で加熱処理して、部品（＝有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０）に含まれる水分を除去した後に、上述した動作によって有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する封止装置である。
【００９２】
したがって、封止装置１００を用いた場合の封止方法は、図１０に示すフローチャートのステップＳ１０の前に、部品（＝有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０）を加熱ユニット１１０によって加熱処理するステップを追加したフローチャートに従って実行される。
【００９３】
封止装置１００を用いた場合、水分含有量をさらに低減して有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を不活性ガス（窒素ガス）雰囲気中へ封止できる。
【００９４】
［実施の形態２］
図１２は、実施の形態２による封止装置の概略図である。図１２を参照して、実施の形態２による封止装置１０Ａは、図１に示す封止装置１０の貼合ユニット５を貼合ユニット５Ａに代えたものであり、その他は、封止装置１０と同じである。
【００９５】
貼合ユニット５Ａは、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０が配置され、かつ、紫外線硬化樹脂８０が塗布されたガラス２０と、ガラス３０とを大気圧よりも高い加圧状態で接触させ、その後、２枚のガラス２０，３０間の間隔を広くして２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力を略大気圧に設定して紫外線硬化樹脂８０を硬化させ、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する。
【００９６】
図１３は、図１２に示す貼合ユニット５Ａの構成を示す概略図である。図１３を参照して、貼合ユニット５Ａは、図３に示す貼合ユニット５と同じ構成からなる。ただし、貼合ユニット５Ａにおいては、駆動部５６は、ガラス２０の一主面２０Ａに塗布された紫外線硬化樹脂８０にガラス３０を接触させた後、アーム部材５４が上方向（ｚ軸の正方向）へ移動するように伸縮部材５５を収縮させる。また、駆動部５８は、ガラス２０の一主面２０Ａに塗布された紫外線硬化樹脂８０にガラス３０を接触させた後、アーム部材５２Ａ，５２Ｂがチャンバ５１の底部５１Ａの方向へ移動するように伸縮部材５９Ａ，５９Ｂを延伸させる。
【００９７】
つまり、貼合ユニット５Ａは、ガラス３０を紫外線硬化樹脂８０に接触させた後、ガラス２０，３０のいずれか一方をｚ軸方向に移動させて、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力が略大気圧になるように２枚のガラス２０，３０間の距離を所定の距離に設定する。
【００９８】
図１４は、図１３に示す貼合ユニット５Ａにおける貼り合わせの基本原理を説明するための概略図である。図１４を参照して、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０がガラス２０の一主面２０Ａに配置され、紫外線硬化樹脂８０が有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を囲むようにガラス２０の一主面２０Ａに塗布されている。
【００９９】
有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０が配置され、かつ、紫外線硬化樹脂８０が塗布されたガラス２０が貼合ユニット５Ａへ搬入されると、ガス供給装置６は、貼合ユニット５Ａのチャンバ５１内へ窒素ガスを供給し、チャンバ５１内の圧力を大気圧よりも高い１００ｋＰａＧ以内まで加圧する。
【０１００】
そして、ガラス３０を紫外線硬化樹脂８０に接触させる。この場合、２枚のガラス２０，３０間の間隔ｄ１は、紫外線硬化樹脂８０の高さＨ１に等しく、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧの圧力は、大気圧よりも高い１００ｋＰａＧ以内である（図１４の（ａ）参照）。
【０１０１】
その後、領域ＲＥＧ内の圧力が略大気圧になるように、２枚のガラス２０，３０間の間隔ｄ１を間隔ｄ３まで広くする（図１４の（ｂ）参照）。間隔ｄ１を間隔ｄ３まで広くすることによって、領域ＲＥＧの体積が大きくなるため、領域ＲＥＧ内の圧力は低くなる。そして、この状態で紫外線硬化樹脂８０を硬化させて有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する。
【０１０２】
このように、貼合ユニット５Ａは、チャンバ５１内を大気圧よりも高い加圧状態に保持したまま、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を囲み、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力が略大気圧になるように２枚のガラス２０，３０間の間隔を広くして有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を窒素ガス雰囲気中で封止する。
【０１０３】
したがって、間隔ｄ３は、領域ＲＥＧ内の圧力を略大気圧にするための所定の間隔である。
【０１０４】
図１５は、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を２枚のガラス２０，３０で封止する動作を説明するための一部の工程図である。なお、図１５に示す工程図は、図８に示す工程図に対応するものである。
【０１０５】
図１５を参照して、ガラス２０，３０が貼合ユニット５Ａへ搬入され、ガラス３０がガラス２０に塗布された紫外線硬化樹脂８０に接触するまでの工程は、図７に示す工程と同じである。
【０１０６】
ガラス３０がガラス２０に塗布された紫外線硬化樹脂８０に接触した状態において、２枚のガラス２０，３０間の間隔は、間隔ｄ１である。その後、２枚のガラス２０，３０間の間隔を間隔ｄ１から間隔ｄ３まで広くする。この場合、２枚のガラス２０，３０間の間隔を広くする方法として２つの方向がある。１つ目の方法は、図７の（ｂ）に示す状態からアーム部材５４を上方向（ｚ軸の正方向）へ移動させ、ガラス３０をガラス２０の一主面２０Ａから遠ざける方法である。２つ目の方法は、図７の（ｂ）に示す状態からアーム部材５２Ａ，５２Ｂをチャンバ５１の底部５１Ａの方向へ移動させ、ガラス２０をガラス３０から遠ざける方法である。
【０１０７】
すなわち、２枚のガラス２０，３０間の間隔を間隔ｄ１から間隔ｄ３まで広くする方法は、２つのガラス２０，３０のいずれか一方を移動させて２枚のガラス２０，３０間の間隔を間隔ｄ１から間隔ｄ３まで広くする方法であればよい。
【０１０８】
なお、２つ目の方法でガラス２０をガラス３０から遠ざける場合、駆動部５８は、伸縮部５９Ａ，５９Ｂを延伸してアーム部材５２Ａ，５２Ｂをチャンバ５１の底部５１Ａの方向へ移動させる。
【０１０９】
ガラス３０が紫外線硬化樹脂８０に接触すると、上述した２つの方法のいずれかの方法によって２枚のガラス２０，３０間の間隔を間隔ｄ１から間隔ｄ３まで広くする（図１５の（ｃ−１）参照）。そして、ポンプ１１は、２枚のガラス２０，３０間の間隔が広くなり始めたら、チャンバ５１内を排気し始める。
【０１１０】
これは、次の理由による。２枚のガラス２０，３０間の間隔が広くなると、上述したように、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧの圧力は大気圧まで低くなるが、領域ＲＥＧ以外のチャンバ５１内の圧力を加圧状態に保持すると、領域ＲＥＧ外の圧力の方が高くなり、領域ＲＥＧ外から領域ＲＥＧ内の方向へ圧力が印加され、紫外線硬化樹脂８０が破れる虞があるからである。
【０１１１】
２枚のガラス２０，３０間の間隔が間隔ｄ３になると、ランプユニット６０の紫外線ランプ６１が点灯され、紫外線ランプ６１は、窓５９を介して紫外線ＵＶを紫外線硬化樹脂８０に照射し、紫外線硬化樹脂８０を硬化させる（図１５の（ｄ−１）参照）。そして、紫外線硬化樹脂８０が硬化すると、一連の動作は終了する。
【０１１２】
図１６は、２枚のガラス２０，３０間の距離および領域ＲＥＧ内の圧力の実施の形態２におけるタイミングチャートである。図１６において、曲線ｋ３は、２枚のガラス２０，３０間の距離のタイミングチャートを示し、曲線ｋ４は、紫外線硬化樹脂８０および２枚のガラス２０，３０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力のタイミングチャートを示す。
【０１１３】
２枚のガラス２０，３０間の距離は、タイミングｔ３まで間隔ｄ１に保持され、タイミングｔ３からタイミングｔ４までの間、徐々に長くなり、タイミングｔ４以降、間隔ｄ３に保持される。
【０１１４】
一方、領域ＲＥＧ内の圧力は、タイミングｔ３まで圧力Ｐ３（大気圧よりも高い加圧状態）に保持され、タイミングｔ３からタイミングｔ４までの間、徐々に減少し、タイミングｔ４以降、圧力Ｐ１（＝略大気圧）に保持される。そして、ポンプ１１は、タイミングｔ３からタイミングｔ４までの間、貼合ユニット５Ａのチャンバ５１から窒素ガスを排気する。
【０１１５】
このように、領域ＲＥＧ内の圧力は、２枚のガラス２０，３０間の距離が長くなることに連動して徐々に低くなる。
【０１１６】
なお、図１６においては、２枚のガラス２０，３０間の距離および領域ＲＥＧ内の圧力は、直線状に変化するように示されているが、この発明においては、これに限らず、２枚のガラス２０，３０間の距離および領域ＲＥＧ内の圧力は、曲線的に変化するようにしてもよい。
【０１１７】
図１７は、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する封止方法を説明するための実施の形態２におけるフローチャートである。図１７に示すフローチャートは、図１０に示すフローチャートのステップＳ１４，Ｓ１８，Ｓ２０をそれぞれステップＳ１４Ａ，Ｓ１８Ａ，Ｓ２０Ａに代えたものであり、その他は、図１０に示すフローチャートと同じである。
【０１１８】
上述したステップＳ１２の後、ガス供給装置６は、貼合ユニット５Ａのチャンバ５１内へ窒素ガスを供給し、チャンバ５１内の圧力を所定の圧力まで加圧する（ステップＳ１４Ａ）。
【０１１９】
その後、上述したステップＳ１６が実行され、ステップＳ１６の後、ガラス３０（第２のガラス）をガラス２０（第１のガラス）の一主面２０Ａから遠ざけ、ガラス３０（第２のガラス）とガラス２０（第１のガラス）との間の距離を所定の距離（＝間隔ｄ３）に設定するとともに（ステップＳ１８Ａ）、ポンプ１１は、ガラス３０（第２のガラス）の移動に連動して、チャンバ５１内を排気し、ガラス２０（第１のガラス）およびガラス３０（第２のガラス）と紫外線硬化樹脂８０とによって囲まれた領域ＲＥＧ外の圧力を大気圧まで徐々に減圧する（ステップＳ２０Ａ）。
【０１２０】
そして、上述したステップＳ２２が実行され、紫外線硬化樹脂８０が硬化される。これによって、一連の動作は終了する。
【０１２１】
実施の形態２においては、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する場合、２枚のガラス２０，３０間の間隔を最初に間隔ｄ１に保持し、その後、間隔を間隔ｄ３まで広くするのは、２枚のガラス２０，３０が紫外線硬化樹脂８０に接着していることを確認するようにするためである。そして、２枚のガラス２０，３０間の間隔が広くなると、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の体積が増加し、領域ＲＥＧ内の圧力が低くなるので、領域ＲＥＧ内を最初、加圧状態に保持し、２枚のガラス２０，３０間の間隔を広くした状態で略大気圧になるように２枚のガラス２０，３０間の間隔を設定するとともに、領域ＲＥＧ外の圧力も略大気圧に設定する。
【０１２２】
したがって、領域ＲＥＧ外から領域ＲＥＧ内へ圧力が印加されず、紫外線硬化樹脂８０が破れることがない。
【０１２３】
なお、実施の形態２による封止装置は、図１２に示す封止装置１０Ａに図１１に示す加熱ユニット１１０およびポンプ１１１を追加したものであってもよい。これによって、水分含有量をさらに低減して有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を不活性ガス（窒素ガス）雰囲気中で封止できる。
【０１２４】
図１２に示す封止装置１０Ａに図１１に示す加熱ユニット１１０およびポンプ１１１を追加した封止装置における封止方法は、図１７に示すフローチャートのステップＳ１０の前に、部品（＝有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０）を加熱ユニット１１０によって加熱処理するステップを追加したフローチャートに従って実行される。
【０１２５】
その他は、実施の形態１と同じである。
【０１２６】
なお、上記においては、ガラス２０，３０および有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を大気圧よりも低い圧力または大気圧よりも高い圧力の雰囲気中に配置してガラス３０を有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０が配置され、かつ、紫外線硬化樹脂８０が塗布されたガラス２０に近づけて紫外線硬化樹脂８０に接触させ、その後、ガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力が略大気圧になるように２つのガラス２０，３０間の距離を調整した後に紫外線硬化樹脂８０を硬化させて有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止すると説明したが、この発明は、一般的には、ガラス２０，３０および有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を大気圧と異なる圧力の雰囲気中に配置してガラス３０を有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０が配置され、かつ、紫外線硬化樹脂８０が塗布されたガラス２０に近づけて紫外線硬化樹脂８０に接触させ、その後、ガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力が略大気圧になるように２つのガラス２０，３０間の距離を調整した後に紫外線硬化樹脂８０を硬化させて有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する封止装置または封止方法であればよい。
【０１２７】
また、上記においては、不活性ガスとして水分含有量が１００ｐｐｍ以下の窒素ガスを用いると説明したが、この発明においては、これに限らず、水分含有量が１００ｐｐｍ以下のアルゴン（Ａｒ）ガス等の不活性ガスが用いられればよい。
【０１２８】
さらに、この発明においては、不活性ガス中の水分含有量は、１００ｐｐｍ以下に限らず、１０００ｐｐｍ以下であればよい。
【０１２９】
さらに、上記においては、封止装置１０，１０Ａ，１００は、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止すると説明したが、この発明においては、これに限らず、封止装置１０，１０Ａ，１００は、液晶表示素子等の有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０以外の表示素子を封止するようにしてもよい。
【０１３０】
この発明においては、塗布ユニット４は、「塗布手段」を構成する。また、アーム部材５２Ａ，５２Ｂ，５４、チャック部５３、台座部材５３Ａ，５３Ｂ、筒部材５４Ａ，５４Ｂ、レール部材５５Ａ，５５Ｂ、伸縮部５５，５９Ａ，５９Ｂ、支持台５６Ａ，５６Ｂ、および駆動部５６，５８は、「設定手段」を構成する。
【０１３１】
さらに、紫外線ランプ６１は、「硬化手段」を構成し、加熱ユニット１１０は、「加熱処理手段」を構成する。
【０１３２】
さらに、チャック部５３、アーム部材５４、伸縮部５４および駆動部５６は、「接触手段」を構成する。
【０１３３】
さらに、チャック部５３、アーム部材５４、伸縮部５４および駆動部５６、またはアーム部材５２Ａ，５２Ｂ、台座部材５３Ａ，５３Ｂ、筒部材５４Ａ，５４Ｂ、レール部材５５Ａ，５５Ｂ、伸縮部５９Ａ，５９Ｂ、支持台５６Ａ，５６Ｂおよび駆動部５８は、「移動手段」を構成する。
【０１３４】
さらに、ポンプ１１は、「減圧手段」を構成し、ガス供給装置６は、「加圧手段」を構成する。
【０１３５】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【０１３６】
この発明は、樹脂を破ることなく素子を封止する封止装置に適用される。また、この発明は、樹脂を破ることなく素子を封止する封止方法に適用される。
【図面の簡単な説明】
【０１３７】
【図１】この発明の実施の形態１による封止装置の概略図である。
【図２】図１に示す塗布ユニットの構成を示す概略図である。
【図３】図１に示す貼合ユニットの構成を示す概略図である。
【図４】図１に示す封止装置が封止の対象とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子の断面構造図である。
【図５】紫外線硬化樹脂の塗布方法を説明するための図である。
【図６】図２に示す貼合ユニットにおける貼り合わせの基本原理を説明するための概略図である。
【図７】有機エレクトロルミネッセンス表示素子を２枚のガラスで封止する動作を説明するための第１の工程図である。
【図８】有機エレクトロルミネッセンス表示素子を２枚のガラスで封止する動作を説明するための第２の工程図である。
【図９】２枚のガラス間の距離および領域内の圧力のタイミングチャートである。
【図１０】有機エレクトロルミネッセンス表示素子を封止する封止方法を説明するための実施の形態１におけるフローチャートである。
【図１１】実施の形態１による封止装置の他の概略図である。
【図１２】実施の形態２による封止装置の概略図である。
【図１３】図１２に示す貼合ユニットの構成を示す概略図である。
【図１４】図１３に示す貼合ユニットにおける貼り合わせの基本原理を説明するための概略図である。
【図１５】有機エレクトロルミネッセンス表示素子を２枚のガラスで封止する動作を説明するための一部の工程図である。
【図１６】２枚のガラス間の距離および領域内の圧力の実施の形態２におけるタイミングチャートである。
【図１７】有機エレクトロルミネッセンス表示素子を封止する封止方法を説明するための実施の形態２におけるフローチャートである。
【符号の説明】
【０１３８】
１ 洗浄ユニット、２ 受付ユニット、３ 搬送ユニット、４ 塗布ユニット、５，５Ａ 貼合ユニット、６ ガス供給装置、７〜９，１１，１１１ ポンプ、１０，１０Ａ，１００ 封止装置、１２ 矢印、２０，３０ ガラス、２０Ａ 一主面、４１，５１ チャンバ、４１Ａ，５１Ａ 底部、４２，５２ ベアリング、４２Ａ，４２Ｂ 支持部材、４３ ペン部材、４３Ａ，４３Ｂ，５３Ａ，５３Ｂ 台座部材、４４，４７Ａ，４７Ｂ，５６，５７Ａ，５７Ｂ，５８ 駆動部、４４Ａ，４４Ｂ，５４Ａ，５４Ｂ 筒部材、４５，５２Ａ，５２Ｂ アーム部材、５４Ａ，４５Ｂ，５５Ａ，５５Ｂ レール部材、４６ 機構部、４６Ａ，４６Ｂ，５６Ａ，５６Ｂ 支持台、４７ 制御部、４８ チューブ、４９ タンク、５３ チャック部、５５，５９Ａ，５９Ｂ 伸縮部材、５７ 固定部材、５８Ａ，５８Ｂ 顕微鏡、５９ 窓、６０ ランプユニット、６１ 紫外線ランプ、７０，７０Ａ，７０Ｂ 有機エレクトロルミネッセンス表示素子、７１ 基板、７２ 陽電極、７３ 正孔注入輸送層、７４ 発光層、７５ 電子注入輸送層、７６ 陰電極、８０ 紫外線硬化樹脂、１１０ 加熱ユニット。
【技術分野】
【０００１】
この発明は、素子を封止する封止装置および封止方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
有機エレクトロルミネッセンス表示装置は、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ：Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）発光素子をマトリックス状等に配置して、発光させる素子を適宜選択して文字等を構成し、これにより情報等を表示するものである。
【０００３】
この有機エレクトロルミネッセンス発光素子は、錫ドープ酸化インジウム（ＩＴＯ：Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）などの透明電極（陽電極）上にテトラフェニルジアミン（ＴＰＤ）などのホール輸送材料を蒸着等により薄膜とし、さらに、アルミキノリノール錯体（Ａｌｑ３）などの蛍光物質を発光層として積層し、さらに、マグネシウム（Ｍｇ）などの仕事関数の小さい金属電極（陰電極）を形成した基本構成を有する素子で、１０Ｖ前後の電圧で数１００〜１０００ｃｄ／ｃｍ２ときわめて高い輝度が得られることで注目されている。
【０００４】
しかし、有機エレクトロルミネッセンス発光素子は、水分に極めて弱いという問題がある。たとえば、水分の影響により、発光層と電極層の間で剥離が生じたり、構成材料が変質してしまったりして、ダークスポットが生じたり、発光層が維持できなくなってしまうという問題が生じる。
【０００５】
このような問題を解決するための一つの方法として、水分含有率が１００ｐｐｍ以下の不活性ガス雰囲気中で有機エレクトロルミネッセンス発光素子を封止する封止装置および封止方法が知られている（特許文献１）。
【０００６】
この封止装置は、水分含有量が１００ｐｐｍである窒素ガス雰囲気中において、有機エレクトロルミネッセン発光素子を基板上に配置し、その配置した有機エレクトロルミネッセンス発光素子を覆うようにシールド部材を配置し、シールド部材と基板とをカチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤で張り合わせることにより、有機エレクトロルミネッセンス発光素子を窒素ガス雰囲気中に封止するものである。
【特許文献１】特許第３２８８２４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、従来の封止装置において、紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤によってシールド部材と基板とを接着させる場合、シールド部材を紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤に接触させた状態からシールド部材をさらに基板側に押し付けて紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤を硬化させると、紫外線硬化型エポキシ樹脂の一部分が破れ、基板、シールド部材および紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤によって囲まれた領域に水分が入るという問題がある。
【０００８】
そこで、この発明は、かかる問題を解決するためになされたものであり、その目的は、樹脂を破ることなく素子を封止する封止装置を提供することである。
【０００９】
また、この発明の別の目的は、樹脂を破ることなく素子を封止する封止方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この発明によれば、封止装置は、素子を第１および第２の基板間に封止する封止装置であって、塗布手段と、設定手段と、硬化手段とを備える。塗布手段は、第１の基板の一主面上に配置された素子を囲むように一主面に樹脂を塗布する。設定手段は、大気圧と異なる所定の圧力を有し、かつ、不活性ガスで満たされた雰囲気内において、樹脂が塗布された一主面に向かって第２の基板を移動させ、樹脂に第２の基板を接触させるとともに、第２の基板を一主面の法線方向に移動させて第１および第２の基板間の距離を所定の距離に設定する。硬化手段は、第１および第２の基板間の距離が所定の距離に設定された状態で樹脂を硬化させる。そして、所定の距離は、第１および第２の基板と樹脂とによって囲まれた領域の圧力が略大気圧になる距離である。
【００１１】
好ましくは、封止装置は、加熱処理手段をさらに備える。加熱処理手段は、素子を真空中または不活性ガス雰囲気中で加熱処理する。そして、塗布手段は、加熱処理手段による加熱処理の後に樹脂を一主面に塗布する。
【００１２】
好ましくは、所定の圧力は、大気圧よりも低い圧力である。
【００１３】
好ましくは、設定手段は、接触手段と、移動手段とを含む。接触手段は、雰囲気内において、第２の基板を一主面に近づけて第２の基板を樹脂に接触させる。移動手段は、雰囲気内において、第１および第２の基板間の距離が所定の距離になるように第１および第２の基板を相互に近づける。
【００１４】
好ましくは、設定手段は、加圧手段をさらに含む。加圧手段は、移動手段による第１または第２の基板の移動に連動して、第１および第２の基板と樹脂とによって囲まれた領域以外の領域の圧力を略大気圧まで加圧する。
【００１５】
好ましくは、所定の圧力は、大気圧よりも高い圧力である。
【００１６】
好ましくは、設定手段は、接触手段と、移動手段とを含む。接触手段は、雰囲気内において、第２の基板を一主面に近づけて第２の基板を樹脂に接触させる。移動手段は、雰囲気内において、第１および第２の基板間の距離が所定の距離になるように第１および第２の基板を相互に遠ざける。
【００１７】
好ましくは、設定手段は、減圧手段をさらに含む。減圧手段は、移動手段による第１または第２の基板の移動に連動して、第１および第２の基板と樹脂とによって囲まれた領域以外の領域の圧力を略大気圧まで減圧する。
【００１８】
好ましくは、樹脂は、紫外線硬化樹脂である。そして、硬化手段は、紫外線硬化樹脂に紫外線を照射する紫外線ランプである。
【００１９】
好ましくは、素子は、有機エレクトロルミネッセンス表示素子である。
【００２０】
好ましくは、不活性ガスの水分含有率は、１００ｐｐｍ以下である。
【００２１】
また、この発明によれば、封止方法は、素子を第１および第２の基板間に封止する封止方法であって、第１の基板の一主面上に配置された素子を囲むように一主面に樹脂を塗布する第１のステップと、大気圧と異なる所定の圧力を有し、かつ、不活性ガスで満たされた雰囲気内において、樹脂が塗布された一主面に向かって第２の基板を移動させ、樹脂に第２の基板を接触させるとともに、第２の基板を一主面の法線方向に移動させて第１および第２の基板間の距離を所定の距離に設定する第２のステップと、第１および第２の基板間の距離が所定の距離に設定された状態で樹脂を硬化させる第３のステップとを備える。そして、所定の距離は、第１および第２の基板と樹脂とによって囲まれた領域の圧力が略大気圧になる距離である。
【００２２】
好ましくは、封止方法は、素子を真空中または不活性ガス雰囲気中で加熱処理する第４のステップをさらに備える。そして、第１から第３のステップは、第４のステップの後に実行される。
【００２３】
好ましくは、所定の圧力は、大気圧よりも低い圧力である。そして、第２のステップは、素子が配置され、かつ、樹脂が塗布された第１の基板と、第２の基板とを不活性ガス中に搬入する第１のサブステップと、搬入された第１および第２の基板の周囲を所定の圧力まで減圧する第２のサブステップと、一主面に向かって第２の基板を近づけて樹脂に第２の基板を接触させる第３のサブステップと、第１および第２の基板間の距離が所定の距離になるように第１および第２の基板を相互に近づける第４のサブステップとを含む。
【００２４】
好ましくは、第２のステップは、第４のサブステップにおける第１または第２の基板の移動に連動して、第１および第２の基板と樹脂とによって囲まれた領域以外の領域の圧力を略大気圧まで加圧する第５のサブステップをさらに含む。
【００２５】
好ましくは、所定の圧力は、大気圧よりも高い圧力である。そして、第２のステップは、素子が配置され、かつ、樹脂が塗布された第１の基板と、第２の基板とを不活性ガス中に搬入する第１のサブステップと、搬入された第１および第２の基板の周囲を所定の圧力まで加圧する第２のサブステップと、一主面に向かって第２の基板を近づけて樹脂に第２の基板を接触させる第３のサブステップと、第１および第２の基板間の距離が所定の距離になるように第１および第２の基板を相互に近づける第４のサブステップとを含む。
【００２６】
好ましくは、第２のステップは、第４のサブステップにおける第１または第２の基板の移動に連動して、第１および第２の基板と樹脂とによって囲まれた領域以外の領域の圧力を略大気圧まで減圧する第５のサブステップをさらに含む。
【００２７】
好ましくは、樹脂は、紫外線硬化樹脂である。そして、第３のステップは、紫外線を紫外線硬化樹脂に照射する。
【発明の効果】
【００２８】
この発明によれば、素子を２つの基板間に樹脂によって封止する場合、素子と第１および第２の基板とが配置された雰囲気の圧力を大気圧と異なる圧力に設定した状態で第２の基板を素子が配置された第１の基板に近づけて第２の基板を樹脂に接触させる。そして、第１および第２の基板と樹脂とによって囲まれた領域内の圧力が略大気圧になるように第１の基板と第２の基板との距離を所定の距離に設定して樹脂を硬化させる。つまり、素子が封止される領域の圧力が最終的に略大気圧になるように第１および第２の基板間の距離を設定して素子を封止する。
【００２９】
したがって、この発明によれば、第１および第２の基板と樹脂とによって囲まれた領域の内外に圧力差が殆ど発生しないので、樹脂が破れるのを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
本発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰返さない。
【００３１】
［実施の形態１］
図１は、この発明の実施の形態１による封止装置の概略図である。図１を参照して、この発明の実施の形態１による封止装置１０は、洗浄ユニット１と、受付ユニット２と、搬送ユニット３と、塗布ユニット４と、貼合ユニット５と、ガス供給装置６と、ポンプ７〜９，１１とを備える。
【００３２】
洗浄ユニット１は、矢印１２の方向から搬入されたガラスをプラズマによりクリーニングする。そして、洗浄ユニット１は、そのクリーニングしたガラスを受付ユニット２へ搬入する。また、洗浄ユニット１は、受付ユニット２から搬入されたガラスを封止装置１０外へ搬出する。
【００３３】
受付ユニット２は、洗浄ユニット１からガラスを受けると、ポンプ７によって所定の圧力まで減圧される。そして、受付ユニット２は、所定の圧力まで減圧されると、ガラスを搬送ユニット３へ搬出する。また、受付ユニット２は、搬送ユニット３からガラスを受けると、空気によって大気圧に戻される。そして、受付ユニット２は、大気圧に戻されると、ガラスを洗浄ユニット１へ搬出する。
【００３４】
搬送ユニット３は、ポンプ８によって所定の圧力まで減圧されるとともに、ガス供給装置６から窒素（Ｎ２）を受け、任意の圧力（大気圧および減圧の両方を含む。）に設定される。そして、搬送ユニット３は、受付ユニット２から搬入されたガラスを塗布ユニット４へ搬出するとともに、塗布ユニット４から搬入されたガラスを貼合ユニット５へ搬出する。さらに、搬送ユニット３は、貼合ユニット５から搬入されたガラスを受付ユニット２へ搬出する。
【００３５】
塗布ユニット４は、ポンプ９によって所定の圧力まで減圧されるとともに、ガス供給装置６から窒素（Ｎ２）を受け、任意の圧力（大気圧および減圧の両方を含む。）に設定される。そして、塗布ユニット４は、搬入されたガラスの一主面に後述する方法によって紫外線硬化樹脂を塗布し、紫外線硬化樹脂のガラスへの塗布が終了すると、ガラスを搬送ユニット３へ搬出する。
【００３６】
貼合ユニット５は、ポンプ１１によって所定の圧力まで減圧されるとともに、ガス供給装置６から窒素（Ｎ２）を受け、任意の圧力（大気圧および減圧の両方を含む。）に設定される。そして、貼合ユニット５は、後述する方法によって、有機エレクトロルミネッセンス表示素子を窒素ガス雰囲気中で２枚のガラス間に封止する。また、貼合ユニット５は、２枚のガラス間に封止した有機エレクトロルミネッセンス表示素子を搬送ユニット３へ搬出する。
【００３７】
ガス供給装置６は、水分含有量が１００ｐｐｍ以下である窒素ガスを搬送ユニット３、塗布ユニット４および貼合ユニット５に独立に供給する。ポンプ７は、受付ユニット２に連結され、受付ユニット２内を所定の圧力まで減圧する。ポンプ８は、搬送ユニット３に連結され、搬送ユニット３内を所定の圧力まで減圧する。ポンプ９は、塗布ユニット４に連結され、塗布ユニット４内を所定の圧力まで減圧する。ポンプ１１は、貼合ユニット５に連結され、貼合ユニット５内を所定の圧力まで減圧する。
【００３８】
図２は、図１に示す塗布ユニット４の構成を示す概略図である。図２を参照して、塗布ユニット４は、チャンバ４１と、ベアリング４２と、支持部材４２Ａ，４２Ｂと、台座部材４３Ａ，４３Ｂと、筒部材４４Ａ，４４Ｂと、レール部材４５Ａ，４５Ｂと、支持台４６Ａ，４６Ｂと、駆動部４４，４７Ａ，４７Ｂと、ペン部材４３と、アーム部材４５と、機構部４６と、制御部４７と、チューブ４８と、タンク４９とを含む。
【００３９】
支持部材４２Ａ，４２Ｂは、それぞれ、台座部材４３Ａ，４３Ｂをチャンバ４１に支持する。台座部材４３Ａ，４３Ｂは、それぞれ、支持部材４２Ａ，４２Ｂによってチャンバ４１の底面４１Ａの近くに支持される。筒部材４４Ａ，４４Ｂは、それぞれ、台座部材４３Ａ，４３Ｂに固定される。
【００４０】
レール部材４５Ａ，４５Ｂは、略Ｈ字形状の断面形状を有し、一部分がそれぞれ筒部材４４Ａ，４４Ｂと嵌合する。そしてベアリング４２は、レール部材４５Ａ，４５Ｂと筒部材４４Ａ，４４Ｂとの間に配置される。これにより、レール部材４５Ａ，４５Ｂは、それぞれ、駆動部４７Ａ，４７Ｂによって紙面に垂直な方向に移動可能である。
【００４１】
支持台４６Ａ，４６Ｂは、それぞれ、レール部材４５Ａ，４５Ｂに固定される。そして、支持台４６Ａ，４６Ｂは、ガラス２０を支持する。駆動部４７Ａ，４７Ｂは、それぞれ、支持台４６Ａ，４６Ｂをそれぞれ紙面に垂直な方向へ移動させる。ペン部材４３は、紫外線硬化樹脂をガラス２０の一主面２０Ａに塗布する。駆動部４４は、アーム部材４５の先端に固定され、ペン部材４３による紫外線硬化樹脂の塗布を駆動する。
【００４２】
アーム部材４５は、一方端が機構部４６に取り付けられる。機構部４６は、制御部４７からの制御に従ってアーム部材４５をｘ軸方向、ｙ軸方向（紙面に垂直な方向）およびｚ軸方向へ移動させる。
【００４３】
制御部４７は、アーム部材４５がｘ軸方向、ｙ軸方向（紙面に垂直な方向）およびｚ軸方向へ移動するように機構部４６を制御する。チューブ４８は、一方端が駆動部４４を介してペン部材４３に連結され、他方端がタンク４９に連結される。タンク４９は、紫外線硬化樹脂を溜め、紫外線硬化樹脂をチューブ４８を介してペン部材４３に供給する。
【００４４】
図３は、図１に示す貼合ユニット５の構成を示す概略図である。図３を参照して、貼合ユニット５は、チャンバ５１と、ベアリング５２と、アーム部材５２Ａ，５２Ｂ，５４と、台座部材５３Ａ，５３Ｂと、筒部材５４Ａ，５４Ｂと、レール部材５５Ａ，５５Ｂと、支持台５６Ａ，５６Ｂと、駆動部５６，５７Ａ，５７Ｂ，５８と、チャック部５３と、伸縮部材５５，５９Ａ，５９Ｂと、固定部材５７と、顕微鏡５８Ａ，５８Ｂと、窓５９と、ランプユニット６０とを含む。
【００４５】
アーム部材５２Ａ，５２Ｂは、チャンバ５１を介してそれぞれ伸縮部材５９Ａ，５９Ｂに連結される。ベアリング５２、台座部材５３Ａ，５３Ｂ、筒部材５４Ａ，５４Ｂ、レール部材５５Ａ，５５Ｂ、支持台５６Ａ，５６Ｂおよび駆動部５７Ａ，５７Ｂは、それぞれ、塗布ユニット４のベアリング４２、台座部材４３Ａ，４３Ｂ、筒部材４４Ａ，４４Ｂ、レール部材４５Ａ，４５Ｂ、支持台４６Ａ，４６Ｂおよび駆動部４７Ａ，４７Ｂと同じである。
【００４６】
したがって、貼合ユニット５においても、レール部材５５Ａ，５５Ｂおよび支持台５６Ａ，５６Ｂは、紙面に垂直な方向へ移動可能である。
【００４７】
チャック部５３は、アーム部材５４の先端に固定され、ガラス３０を真空チャックによって保持する。アーム部材５４は、その一方端にチャック部５３が固定され、他方端がチャンバ５１を介して伸縮部５５に連結される。
【００４８】
伸縮部５５は、アーム部材５４に連結され、駆動部５６によってｚ軸方向へ伸縮される。駆動部５６は、伸縮部５５を駆動する。顕微鏡５８Ａ，５８Ｂは、チャンバ５１の上側に取り付けられ、窓（図示せず）を介してガラス２０，３０のアライメントマークを観察してガラス２０，３０の位置決めを行なう。
【００４９】
伸縮部５９Ａ，５９Ｂは、それぞれ、アーム部材５２Ａ，５２Ｂに連結され、駆動部５８によってｚ軸方向へ伸縮される。固定部材５７は、伸縮部５９Ａ，５９Ｂと連結される。駆動部５８は、固定部材５７に取り付けられ、伸縮部５９Ａ，５９Ｂを駆動する。
【００５０】
窓５９は、石英ガラスからなり、チャンバ５１の底部５１Ａに取り付けられる。そして、窓５９は、ランプユニット６０から出射された紫外線ＵＶを透過する。ランプユニット６０は、窓５９に対向して配置される。そして、ランプユニット６０は、紫外線ランプ６１を含み、紫外線ＵＶを窓５９を介してガラス２０，３０に照射する。
【００５１】
図４は、図１に示す封止装置１０が封止の対象とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子の断面構造図である。図４を参照して、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０は、基板７１と、陽電極７２と、正孔注入輸送層７３と、発光層７４と、電子注入輸送層７５と、陰電極７６とを含む。
【００５２】
陽電極７２は、基板１上に形成され、正孔注入輸送層７３は、陽電極７２上に形成され、発光層７４は、正孔注入輸送層７３上に形成され、電子注入輸送層７５は、発光層７４上に形成され、陰電極７６は、電子注入輸送層７５上に形成される。
【００５３】
このように、陽電極７２、正孔注入輸送層７３、発光層７４、電子注入輸送層７５、および陰電極７６は、基板７１上に順次積層される。
【００５４】
図５は、紫外線硬化樹脂の塗布方法を説明するための図である。図２および図５を参照して、複数の有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０が配置されたガラス２０が塗布ユニット４へ搬入されると、制御部４７は、ペン部材４３を有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ａの位置へ移動させるように機構部４６を制御し、機構部４６は、制御部４７からの制御に従ってアーム部材４５をｘ軸方向、ｙ軸方向およびｚ軸方向へ移動させ、ペン部材４３を有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ａの真上へ移動させる。
【００５５】
そして、制御部４７は、ペン部材４３がガラス２０の一主面２０Ａから所定の高さで有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ａの周囲を一周するように機構部４６を制御し、機構部４６は、ガラス２０の一主面２０Ａから所定の高さでペン部材４３が有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ａの周囲を一周するようにアーム部材４５を移動させる。また、駆動部４４は、チューブ４８を介してタンク４９からペン部材４３に供給された紫外線硬化樹脂をペン部材４３の先端から押し出し、紫外線硬化樹脂８０をガラス２０の一主面２０Ａの有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ａの周囲に塗布する。なお、紫外線硬化樹脂８０は、好ましくは、カチオン硬化型の紫外線硬化樹脂からなる。
【００５６】
その後、制御部４７は、ペン部材４３をガラス２０の一主面２０Ａから所定の高さで有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ｂの横へ移動させ、その後、ペン部材４３がガラス２０の一主面２０Ａから所定の高さで有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ｂの周囲を一周するように機構部４６を制御し、機構部４６は、ペン部材４３をガラス２０の一主面２０Ａから所定の高さで有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ｂの横へ移動させ、その後、ガラス２０の一主面２０Ａから所定の高さでペン部材４３が有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ａの周囲を一周するようにアーム部材４５を移動させる。また、駆動部４４は、紫外線硬化樹脂をペン部材４３の先端から押し出し、紫外線硬化樹脂８０をガラス２０の一主面２０Ａの有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０Ｂの周囲に塗布する（図５の（ａ）参照）。この場合、紫外線硬化樹脂８０の高さは、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０の全体の厚さよりも高い。
【００５７】
上述した動作を繰返すことにより、塗布ユニット４は、ガラス２０の一主面２０Ａに配置された複数の有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０の周囲に紫外線硬化樹脂８０を塗布する（図５の（ｂ）参照）。
【００５８】
図６は、図２に示す貼合ユニット５における貼り合わせの基本原理を説明するための概略図である。図６を参照して、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０がガラス２０の一主面２０Ａに配置され、紫外線硬化樹脂８０が有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を囲むようにガラス２０の一主面２０Ａに塗布されている。
【００５９】
有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０が配置され、かつ、紫外線硬化樹脂８０が塗布されたガラス２０が貼合ユニット５へ搬入されると、貼合ユニット５のチャンバ５１内をポンプ１１によって排気し、チャンバ５１内の圧力を大気圧よりも低い−１００ｋＰａＧ以内まで減圧する。なお、この発明においては、圧力の単位として大気圧を”０”としたゲージ圧を使用し、圧力の単位を［ＰａＧ］と表記する。
【００６０】
そして、ガラス３０を紫外線硬化樹脂８０に接触させる。この場合、２枚のガラス２０，３０間の間隔ｄ１は、紫外線硬化樹脂８０の高さＨ１に等しく、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧの圧力は、大気圧よりも低い−１００ｋＰａＧ以内である（図６の（ａ）参照）。
【００６１】
その後、領域ＲＥＧ内の圧力が略大気圧になるように、２枚のガラス２０，３０間の間隔ｄ１を間隔ｄ２まで狭くする（図６の（ｂ）参照）。間隔ｄ１を間隔ｄ２まで狭くすることによって、領域ＲＥＧの体積が小さくなるため、領域ＲＥＧ内の圧力は高くなる。そして、この状態で紫外線硬化樹脂８０を硬化させて有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する。
【００６２】
このように、貼合ユニット５は、チャンバ５１内を大気圧よりも低い減圧状態に保持したまま、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を囲み、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力が略大気圧になるように２枚のガラス２０，３０間の間隔を狭くして有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を窒素ガス雰囲気中で封止する。
【００６３】
したがって、間隔ｄ２は、領域ＲＥＧ内の圧力を略大気圧にするための間隔である。
【００６４】
図７および図８は、それぞれ、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を２枚のガラス２０，３０で封止する動作を説明するための第１および第２の工程図である。図７を参照して、ガラス３０が窒素ガスで満たされたチャンバ５１内へ搬入され、顕微鏡５８Ａ，５８Ｂ（図３参照）によってアライメントマークが観察されて位置合わせが終了すると、チャック部５３は、ガラス３０を吸引する。そして、駆動部５６は、伸縮部５５を収縮してアーム部材５４を上方向（ｚ軸の正方向）へ移動させる。その結果、ガラス３０は、上方向（ｚ軸の正方向）へ持ち上げられる。
【００６５】
その後、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０が配置され、かつ、紫外線硬化樹脂８０が塗布されたガラス２０が窒素ガスで満たされたチャンバ５１内へ搬入され、顕微鏡５８Ａ，５８Ｂ（図３参照）によってアライメントマークが観察されて位置合わせが完了する（図７の（ａ）参照）。
【００６６】
そうすると、ポンプ１１は、貼合ユニット５のチャンバ５１内を排気し、チャンバ５１内の圧力を大気圧よりも低い圧力まで減圧する。そして、駆動部５６は、伸縮部５５（図３参照）を伸ばし、アーム部材５４をチャンバ５１の底部５１Ａの方向（ｚ軸の負方向）へ移動させ、ガラス３０をガラス２０に塗布された紫外線硬化樹脂８０に接触させる（図７の（ｂ）参照）。この状態において、２枚のガラス２０，３０間の間隔は、間隔ｄ１である。
【００６７】
その後、２枚のガラス２０，３０間の間隔を間隔ｄ１から間隔ｄ２まで狭くする。この場合、２枚のガラス２０，３０間の間隔を狭くする方法として２つの方向がある。１つ目の方法は、図７の（ｂ）に示す状態からアーム部材５４をチャンバ５１の底部５１Ａの方向へさらに移動させ、ガラス３０をガラス２０の一主面２０Ａにさらに近づける方法である。２つ目の方法は、図７の（ｂ）に示す状態からアーム部材５２Ａ，５２Ｂを上方向（ｚ軸の正方向）へ移動させ、ガラス３０をガラス２０の一主面２０Ａにさらに近づける方法である。
【００６８】
すなわち、２枚のガラス２０，３０間の間隔を間隔ｄ１から間隔ｄ２まで狭くする方法は、２つのガラス２０，３０のいずれか一方を移動させて２枚のガラス２０，３０間の間隔を間隔ｄ１から間隔ｄ２まで狭くする方法であればよい。
【００６９】
なお、２つ目の方法でガラス３０をガラス２０の一主面２０Ａに近づける場合、駆動部５８は、伸縮部５９Ａ，５９Ｂを収縮してアーム部材５２Ａ，５２Ｂを上方向（ｚ軸の正方向）へ移動させる。
【００７０】
ガラス３０が紫外線硬化樹脂８０に接触すると、上述した２つの方法のいずれかの方法によって２枚のガラス２０，３０間の間隔を間隔ｄ１から間隔ｄ２まで狭くする（図８の（ｃ）参照）。そして、ガス供給装置６は、２枚のガラス２０，３０間の間隔が狭くなり始めたら、窒素ガスをチャンバ５１内へ供給し始める。
【００７１】
これは、次の理由による。２枚のガラス２０，３０間の間隔が狭くなると、上述したように、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力は大気圧まで高くなるが、領域ＲＥＧ以外のチャンバ５１内の圧力を減圧状態に保持すると、領域ＲＥＧ内の圧力の方が高くなり、領域ＲＥＧ内から領域ＲＥＧ外の方向へ圧力が印加され、紫外線硬化樹脂８０が破れる虞があるからである。
【００７２】
２枚のガラス２０，３０間の間隔が間隔ｄ２になると、ランプユニット６０の紫外線ランプ６１が点灯され、紫外線ランプ６１は、窓５９を介して紫外線ＵＶを紫外線硬化樹脂８０に照射し、紫外線硬化樹脂８０を硬化させる（図８の（ｄ）参照）。そして、紫外線硬化樹脂８０が硬化すると、一連の動作は終了する。
【００７３】
図９は、２枚のガラス２０，３０間の距離および領域ＲＥＧ内の圧力のタイミングチャートである。図９において、曲線ｋ１は、２枚のガラス２０，３０間の距離のタイミングチャートを示し、曲線ｋ２は、紫外線硬化樹脂８０および２枚のガラス２０，３０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力のタイミングチャートを示す。
【００７４】
２枚のガラス２０，３０間の距離は、タイミングｔ１まで間隔ｄ１に保持され、タイミングｔ１からタイミングｔ２までの間、徐々に減少し、タイミングｔ２以降、間隔ｄ２に保持される。
【００７５】
一方、領域ＲＥＧ内の圧力は、タイミングｔ１まで圧力Ｐ１（大気圧よりも低い減圧状態）に保持され、タイミングｔ１からタイミングｔ２までの間、徐々に増加し、タイミングｔ２以降、圧力Ｐ２（＝略大気圧）に保持される。そして、ガス供給装置６は、タイミングｔ１からタイミングｔ２までの間、窒素ガスを貼合ユニット５のチャンバ５１へ供給する。
【００７６】
このように、領域ＲＥＧ内の圧力は、２枚のガラス２０，３０間の距離が短くなることに連動して徐々に高くなる。
【００７７】
なお、図９においては、２枚のガラス２０，３０間の距離および領域ＲＥＧ内の圧力は、直線状に変化するように示されているが、この発明においては、これに限らず、２枚のガラス２０，３０間の距離および領域ＲＥＧ内の圧力は、曲線的に変化するようにしてもよい。
【００７８】
図１０は、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する封止方法を説明するための実施の形態１におけるフローチャートである。
【００７９】
一連の動作が開始されると、塗布ユニット４は、上述した動作によって、ガラス２０（第１のガラス）の一主面２０Ａに配置された有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０（ＥＬ素子）を囲むように窒素ガス雰囲気中で一主面２０Ａに紫外線硬化樹脂８０を塗布する（ステップＳ１０）。
【００８０】
そして、搬送ユニット３は、受付ユニット２から受けたガラス３０（第２のガラス）を貼合ユニット５へ搬出する。また、塗布ユニット４は、紫外線硬化樹脂８０の塗布が終了すると、ガラス２０を搬送ユニット３へ搬出し、搬送ユニット３は、塗布ユニット４からガラス２０を受け、その受けたガラス２０を貼合ユニット５へ搬出する（ステップＳ１２）。
【００８１】
なお、搬送ユニット３は、窒素ガス雰囲気中でガラス２０，３０の搬入／搬出を行なう。また、ガラス２０は、ガラス３０が搬送ユニット３から貼合ユニット５へ搬出された後に搬送ユニット３から貼合ユニット５へ搬出されるが、ガラス３０は、チャック部５３によって吸引され、支持台５６Ａ，５６Ｂの高さよりも上方向へ退避しているので、搬送ユニット３は、ガラス２０を貼合ユニット５へ搬出することができる。
【００８２】
ガラス２０，３０が貼合ユニット５へ搬入されると、ポンプ１１は、貼合ユニット５のチャンバ５１内を排気し、チャンバ５１内の圧力を所定の圧力まで減圧する（ステップＳ１４）。
【００８３】
その後、上述した動作によって、ガラス３０（第２のガラス）をガラス２０（第１のガラス）の一主面２０Ａに向かって近づけ、ガラス３０（第２のガラス）を紫外線硬化樹脂８０に接触させる（ステップＳ１６）。
【００８４】
そして、上述した動作によって、ガラス３０（第２のガラス）をガラス２０（第１のガラス）の一主面２０Ａにさらに近づけ、ガラス３０（第２のガラス）とガラス２０（第１のガラス）との間の距離を所定の距離（＝間隔ｄ２）に設定するとともに（ステップＳ１８）、ガス供給装置６は、ガラス３０（第２のガラス）の移動に連動して、チャンバ５１内へ窒素ガスを供給し、ガラス２０（第１のガラス）およびガラス３０（第２のガラス）と紫外線硬化樹脂８０とによって囲まれた領域ＲＥＧ以外の領域の圧力を大気圧まで徐々に加圧する（ステップＳ２０）。
【００８５】
そうすると、ランプユニット６０は、紫外線ランプ６１によって紫外線ＵＶを照射して紫外線硬化樹脂８０を硬化させる（ステップＳ２２）。これによって、一連の動作は終了する。
【００８６】
有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する場合、２枚のガラス２０，３０間の間隔を最初に間隔ｄ１に保持し、その後、間隔ｄ２まで狭くするのは、２枚のガラス２０，３０が紫外線硬化樹脂８０によって強固に接着されるようにするためである。そして、２枚のガラス２０，３０間の間隔が狭くなると、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の体積が減少し、領域ＲＥＧ内の圧力が高くなるので、領域ＲＥＧ内を最初、減圧状態に保持し、２枚のガラス２０，３０間の間隔を狭くした状態で略大気圧になるように２枚のガラス２０，３０間の間隔を設定するとともに、領域ＲＥＧ外の圧力も略大気圧に設定する。
【００８７】
したがって、領域ＲＥＧ内から領域ＲＥＧ外へ圧力が印加されず、紫外線硬化樹脂８０が破れることがない。
【００８８】
図１１は、実施の形態１による封止装置の他の概略図である。実施の形態１による封止装置は、図１１に示す封止装置１００であってもよい。図１１を参照して、封止装置１００は、図１に示す封止装置１０に加熱ユニット１１０およびポンプ１１１を追加したものであり、その他は、封止装置１０と同じである。
【００８９】
加熱ユニット１１０は、搬送ユニット３から搬入された部品（＝有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０）を加熱処理し、加熱処理が終了すると、部品（＝有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０）を搬送ユニット３へ搬出する。この場合、加熱処理の条件は、８０℃以上、部品の耐熱温度以下の温度範囲で、１５分以上である。
【００９０】
加熱ユニット１１０は、加熱処理を真空中または窒素ガス雰囲気中で行なう。真空中で加熱処理が行なわれる場合、ポンプ１１１は、加熱ユニット１１０内を排気する。また、窒素ガス雰囲気中で加熱処理が行なわれる場合、ガス供給装置６は、窒素ガスを加熱ユニット１１０へ供給する。なお、加熱ユニット１１０は、抵抗加熱またはランプ加熱によって加熱処理を行なう。
【００９１】
このように、封止装置１００は、部品（＝有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０）を真空中または窒素ガス雰囲気中で加熱処理して、部品（＝有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０）に含まれる水分を除去した後に、上述した動作によって有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する封止装置である。
【００９２】
したがって、封止装置１００を用いた場合の封止方法は、図１０に示すフローチャートのステップＳ１０の前に、部品（＝有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０）を加熱ユニット１１０によって加熱処理するステップを追加したフローチャートに従って実行される。
【００９３】
封止装置１００を用いた場合、水分含有量をさらに低減して有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を不活性ガス（窒素ガス）雰囲気中へ封止できる。
【００９４】
［実施の形態２］
図１２は、実施の形態２による封止装置の概略図である。図１２を参照して、実施の形態２による封止装置１０Ａは、図１に示す封止装置１０の貼合ユニット５を貼合ユニット５Ａに代えたものであり、その他は、封止装置１０と同じである。
【００９５】
貼合ユニット５Ａは、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０が配置され、かつ、紫外線硬化樹脂８０が塗布されたガラス２０と、ガラス３０とを大気圧よりも高い加圧状態で接触させ、その後、２枚のガラス２０，３０間の間隔を広くして２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力を略大気圧に設定して紫外線硬化樹脂８０を硬化させ、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する。
【００９６】
図１３は、図１２に示す貼合ユニット５Ａの構成を示す概略図である。図１３を参照して、貼合ユニット５Ａは、図３に示す貼合ユニット５と同じ構成からなる。ただし、貼合ユニット５Ａにおいては、駆動部５６は、ガラス２０の一主面２０Ａに塗布された紫外線硬化樹脂８０にガラス３０を接触させた後、アーム部材５４が上方向（ｚ軸の正方向）へ移動するように伸縮部材５５を収縮させる。また、駆動部５８は、ガラス２０の一主面２０Ａに塗布された紫外線硬化樹脂８０にガラス３０を接触させた後、アーム部材５２Ａ，５２Ｂがチャンバ５１の底部５１Ａの方向へ移動するように伸縮部材５９Ａ，５９Ｂを延伸させる。
【００９７】
つまり、貼合ユニット５Ａは、ガラス３０を紫外線硬化樹脂８０に接触させた後、ガラス２０，３０のいずれか一方をｚ軸方向に移動させて、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力が略大気圧になるように２枚のガラス２０，３０間の距離を所定の距離に設定する。
【００９８】
図１４は、図１３に示す貼合ユニット５Ａにおける貼り合わせの基本原理を説明するための概略図である。図１４を参照して、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０がガラス２０の一主面２０Ａに配置され、紫外線硬化樹脂８０が有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を囲むようにガラス２０の一主面２０Ａに塗布されている。
【００９９】
有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０が配置され、かつ、紫外線硬化樹脂８０が塗布されたガラス２０が貼合ユニット５Ａへ搬入されると、ガス供給装置６は、貼合ユニット５Ａのチャンバ５１内へ窒素ガスを供給し、チャンバ５１内の圧力を大気圧よりも高い１００ｋＰａＧ以内まで加圧する。
【０１００】
そして、ガラス３０を紫外線硬化樹脂８０に接触させる。この場合、２枚のガラス２０，３０間の間隔ｄ１は、紫外線硬化樹脂８０の高さＨ１に等しく、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧの圧力は、大気圧よりも高い１００ｋＰａＧ以内である（図１４の（ａ）参照）。
【０１０１】
その後、領域ＲＥＧ内の圧力が略大気圧になるように、２枚のガラス２０，３０間の間隔ｄ１を間隔ｄ３まで広くする（図１４の（ｂ）参照）。間隔ｄ１を間隔ｄ３まで広くすることによって、領域ＲＥＧの体積が大きくなるため、領域ＲＥＧ内の圧力は低くなる。そして、この状態で紫外線硬化樹脂８０を硬化させて有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する。
【０１０２】
このように、貼合ユニット５Ａは、チャンバ５１内を大気圧よりも高い加圧状態に保持したまま、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を囲み、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力が略大気圧になるように２枚のガラス２０，３０間の間隔を広くして有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を窒素ガス雰囲気中で封止する。
【０１０３】
したがって、間隔ｄ３は、領域ＲＥＧ内の圧力を略大気圧にするための所定の間隔である。
【０１０４】
図１５は、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を２枚のガラス２０，３０で封止する動作を説明するための一部の工程図である。なお、図１５に示す工程図は、図８に示す工程図に対応するものである。
【０１０５】
図１５を参照して、ガラス２０，３０が貼合ユニット５Ａへ搬入され、ガラス３０がガラス２０に塗布された紫外線硬化樹脂８０に接触するまでの工程は、図７に示す工程と同じである。
【０１０６】
ガラス３０がガラス２０に塗布された紫外線硬化樹脂８０に接触した状態において、２枚のガラス２０，３０間の間隔は、間隔ｄ１である。その後、２枚のガラス２０，３０間の間隔を間隔ｄ１から間隔ｄ３まで広くする。この場合、２枚のガラス２０，３０間の間隔を広くする方法として２つの方向がある。１つ目の方法は、図７の（ｂ）に示す状態からアーム部材５４を上方向（ｚ軸の正方向）へ移動させ、ガラス３０をガラス２０の一主面２０Ａから遠ざける方法である。２つ目の方法は、図７の（ｂ）に示す状態からアーム部材５２Ａ，５２Ｂをチャンバ５１の底部５１Ａの方向へ移動させ、ガラス２０をガラス３０から遠ざける方法である。
【０１０７】
すなわち、２枚のガラス２０，３０間の間隔を間隔ｄ１から間隔ｄ３まで広くする方法は、２つのガラス２０，３０のいずれか一方を移動させて２枚のガラス２０，３０間の間隔を間隔ｄ１から間隔ｄ３まで広くする方法であればよい。
【０１０８】
なお、２つ目の方法でガラス２０をガラス３０から遠ざける場合、駆動部５８は、伸縮部５９Ａ，５９Ｂを延伸してアーム部材５２Ａ，５２Ｂをチャンバ５１の底部５１Ａの方向へ移動させる。
【０１０９】
ガラス３０が紫外線硬化樹脂８０に接触すると、上述した２つの方法のいずれかの方法によって２枚のガラス２０，３０間の間隔を間隔ｄ１から間隔ｄ３まで広くする（図１５の（ｃ−１）参照）。そして、ポンプ１１は、２枚のガラス２０，３０間の間隔が広くなり始めたら、チャンバ５１内を排気し始める。
【０１１０】
これは、次の理由による。２枚のガラス２０，３０間の間隔が広くなると、上述したように、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧの圧力は大気圧まで低くなるが、領域ＲＥＧ以外のチャンバ５１内の圧力を加圧状態に保持すると、領域ＲＥＧ外の圧力の方が高くなり、領域ＲＥＧ外から領域ＲＥＧ内の方向へ圧力が印加され、紫外線硬化樹脂８０が破れる虞があるからである。
【０１１１】
２枚のガラス２０，３０間の間隔が間隔ｄ３になると、ランプユニット６０の紫外線ランプ６１が点灯され、紫外線ランプ６１は、窓５９を介して紫外線ＵＶを紫外線硬化樹脂８０に照射し、紫外線硬化樹脂８０を硬化させる（図１５の（ｄ−１）参照）。そして、紫外線硬化樹脂８０が硬化すると、一連の動作は終了する。
【０１１２】
図１６は、２枚のガラス２０，３０間の距離および領域ＲＥＧ内の圧力の実施の形態２におけるタイミングチャートである。図１６において、曲線ｋ３は、２枚のガラス２０，３０間の距離のタイミングチャートを示し、曲線ｋ４は、紫外線硬化樹脂８０および２枚のガラス２０，３０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力のタイミングチャートを示す。
【０１１３】
２枚のガラス２０，３０間の距離は、タイミングｔ３まで間隔ｄ１に保持され、タイミングｔ３からタイミングｔ４までの間、徐々に長くなり、タイミングｔ４以降、間隔ｄ３に保持される。
【０１１４】
一方、領域ＲＥＧ内の圧力は、タイミングｔ３まで圧力Ｐ３（大気圧よりも高い加圧状態）に保持され、タイミングｔ３からタイミングｔ４までの間、徐々に減少し、タイミングｔ４以降、圧力Ｐ１（＝略大気圧）に保持される。そして、ポンプ１１は、タイミングｔ３からタイミングｔ４までの間、貼合ユニット５Ａのチャンバ５１から窒素ガスを排気する。
【０１１５】
このように、領域ＲＥＧ内の圧力は、２枚のガラス２０，３０間の距離が長くなることに連動して徐々に低くなる。
【０１１６】
なお、図１６においては、２枚のガラス２０，３０間の距離および領域ＲＥＧ内の圧力は、直線状に変化するように示されているが、この発明においては、これに限らず、２枚のガラス２０，３０間の距離および領域ＲＥＧ内の圧力は、曲線的に変化するようにしてもよい。
【０１１７】
図１７は、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する封止方法を説明するための実施の形態２におけるフローチャートである。図１７に示すフローチャートは、図１０に示すフローチャートのステップＳ１４，Ｓ１８，Ｓ２０をそれぞれステップＳ１４Ａ，Ｓ１８Ａ，Ｓ２０Ａに代えたものであり、その他は、図１０に示すフローチャートと同じである。
【０１１８】
上述したステップＳ１２の後、ガス供給装置６は、貼合ユニット５Ａのチャンバ５１内へ窒素ガスを供給し、チャンバ５１内の圧力を所定の圧力まで加圧する（ステップＳ１４Ａ）。
【０１１９】
その後、上述したステップＳ１６が実行され、ステップＳ１６の後、ガラス３０（第２のガラス）をガラス２０（第１のガラス）の一主面２０Ａから遠ざけ、ガラス３０（第２のガラス）とガラス２０（第１のガラス）との間の距離を所定の距離（＝間隔ｄ３）に設定するとともに（ステップＳ１８Ａ）、ポンプ１１は、ガラス３０（第２のガラス）の移動に連動して、チャンバ５１内を排気し、ガラス２０（第１のガラス）およびガラス３０（第２のガラス）と紫外線硬化樹脂８０とによって囲まれた領域ＲＥＧ外の圧力を大気圧まで徐々に減圧する（ステップＳ２０Ａ）。
【０１２０】
そして、上述したステップＳ２２が実行され、紫外線硬化樹脂８０が硬化される。これによって、一連の動作は終了する。
【０１２１】
実施の形態２においては、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する場合、２枚のガラス２０，３０間の間隔を最初に間隔ｄ１に保持し、その後、間隔を間隔ｄ３まで広くするのは、２枚のガラス２０，３０が紫外線硬化樹脂８０に接着していることを確認するようにするためである。そして、２枚のガラス２０，３０間の間隔が広くなると、２枚のガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の体積が増加し、領域ＲＥＧ内の圧力が低くなるので、領域ＲＥＧ内を最初、加圧状態に保持し、２枚のガラス２０，３０間の間隔を広くした状態で略大気圧になるように２枚のガラス２０，３０間の間隔を設定するとともに、領域ＲＥＧ外の圧力も略大気圧に設定する。
【０１２２】
したがって、領域ＲＥＧ外から領域ＲＥＧ内へ圧力が印加されず、紫外線硬化樹脂８０が破れることがない。
【０１２３】
なお、実施の形態２による封止装置は、図１２に示す封止装置１０Ａに図１１に示す加熱ユニット１１０およびポンプ１１１を追加したものであってもよい。これによって、水分含有量をさらに低減して有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を不活性ガス（窒素ガス）雰囲気中で封止できる。
【０１２４】
図１２に示す封止装置１０Ａに図１１に示す加熱ユニット１１０およびポンプ１１１を追加した封止装置における封止方法は、図１７に示すフローチャートのステップＳ１０の前に、部品（＝有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０）を加熱ユニット１１０によって加熱処理するステップを追加したフローチャートに従って実行される。
【０１２５】
その他は、実施の形態１と同じである。
【０１２６】
なお、上記においては、ガラス２０，３０および有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を大気圧よりも低い圧力または大気圧よりも高い圧力の雰囲気中に配置してガラス３０を有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０が配置され、かつ、紫外線硬化樹脂８０が塗布されたガラス２０に近づけて紫外線硬化樹脂８０に接触させ、その後、ガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力が略大気圧になるように２つのガラス２０，３０間の距離を調整した後に紫外線硬化樹脂８０を硬化させて有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止すると説明したが、この発明は、一般的には、ガラス２０，３０および有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を大気圧と異なる圧力の雰囲気中に配置してガラス３０を有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０が配置され、かつ、紫外線硬化樹脂８０が塗布されたガラス２０に近づけて紫外線硬化樹脂８０に接触させ、その後、ガラス２０，３０および紫外線硬化樹脂８０によって囲まれた領域ＲＥＧ内の圧力が略大気圧になるように２つのガラス２０，３０間の距離を調整した後に紫外線硬化樹脂８０を硬化させて有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止する封止装置または封止方法であればよい。
【０１２７】
また、上記においては、不活性ガスとして水分含有量が１００ｐｐｍ以下の窒素ガスを用いると説明したが、この発明においては、これに限らず、水分含有量が１００ｐｐｍ以下のアルゴン（Ａｒ）ガス等の不活性ガスが用いられればよい。
【０１２８】
さらに、この発明においては、不活性ガス中の水分含有量は、１００ｐｐｍ以下に限らず、１０００ｐｐｍ以下であればよい。
【０１２９】
さらに、上記においては、封止装置１０，１０Ａ，１００は、有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０を封止すると説明したが、この発明においては、これに限らず、封止装置１０，１０Ａ，１００は、液晶表示素子等の有機エレクトロルミネッセンス表示素子７０以外の表示素子を封止するようにしてもよい。
【０１３０】
この発明においては、塗布ユニット４は、「塗布手段」を構成する。また、アーム部材５２Ａ，５２Ｂ，５４、チャック部５３、台座部材５３Ａ，５３Ｂ、筒部材５４Ａ，５４Ｂ、レール部材５５Ａ，５５Ｂ、伸縮部５５，５９Ａ，５９Ｂ、支持台５６Ａ，５６Ｂ、および駆動部５６，５８は、「設定手段」を構成する。
【０１３１】
さらに、紫外線ランプ６１は、「硬化手段」を構成し、加熱ユニット１１０は、「加熱処理手段」を構成する。
【０１３２】
さらに、チャック部５３、アーム部材５４、伸縮部５４および駆動部５６は、「接触手段」を構成する。
【０１３３】
さらに、チャック部５３、アーム部材５４、伸縮部５４および駆動部５６、またはアーム部材５２Ａ，５２Ｂ、台座部材５３Ａ，５３Ｂ、筒部材５４Ａ，５４Ｂ、レール部材５５Ａ，５５Ｂ、伸縮部５９Ａ，５９Ｂ、支持台５６Ａ，５６Ｂおよび駆動部５８は、「移動手段」を構成する。
【０１３４】
さらに、ポンプ１１は、「減圧手段」を構成し、ガス供給装置６は、「加圧手段」を構成する。
【０１３５】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【０１３６】
この発明は、樹脂を破ることなく素子を封止する封止装置に適用される。また、この発明は、樹脂を破ることなく素子を封止する封止方法に適用される。
【図面の簡単な説明】
【０１３７】
【図１】この発明の実施の形態１による封止装置の概略図である。
【図２】図１に示す塗布ユニットの構成を示す概略図である。
【図３】図１に示す貼合ユニットの構成を示す概略図である。
【図４】図１に示す封止装置が封止の対象とする有機エレクトロルミネッセンス表示素子の断面構造図である。
【図５】紫外線硬化樹脂の塗布方法を説明するための図である。
【図６】図２に示す貼合ユニットにおける貼り合わせの基本原理を説明するための概略図である。
【図７】有機エレクトロルミネッセンス表示素子を２枚のガラスで封止する動作を説明するための第１の工程図である。
【図８】有機エレクトロルミネッセンス表示素子を２枚のガラスで封止する動作を説明するための第２の工程図である。
【図９】２枚のガラス間の距離および領域内の圧力のタイミングチャートである。
【図１０】有機エレクトロルミネッセンス表示素子を封止する封止方法を説明するための実施の形態１におけるフローチャートである。
【図１１】実施の形態１による封止装置の他の概略図である。
【図１２】実施の形態２による封止装置の概略図である。
【図１３】図１２に示す貼合ユニットの構成を示す概略図である。
【図１４】図１３に示す貼合ユニットにおける貼り合わせの基本原理を説明するための概略図である。
【図１５】有機エレクトロルミネッセンス表示素子を２枚のガラスで封止する動作を説明するための一部の工程図である。
【図１６】２枚のガラス間の距離および領域内の圧力の実施の形態２におけるタイミングチャートである。
【図１７】有機エレクトロルミネッセンス表示素子を封止する封止方法を説明するための実施の形態２におけるフローチャートである。
【符号の説明】
【０１３８】
１ 洗浄ユニット、２ 受付ユニット、３ 搬送ユニット、４ 塗布ユニット、５，５Ａ 貼合ユニット、６ ガス供給装置、７〜９，１１，１１１ ポンプ、１０，１０Ａ，１００ 封止装置、１２ 矢印、２０，３０ ガラス、２０Ａ 一主面、４１，５１ チャンバ、４１Ａ，５１Ａ 底部、４２，５２ ベアリング、４２Ａ，４２Ｂ 支持部材、４３ ペン部材、４３Ａ，４３Ｂ，５３Ａ，５３Ｂ 台座部材、４４，４７Ａ，４７Ｂ，５６，５７Ａ，５７Ｂ，５８ 駆動部、４４Ａ，４４Ｂ，５４Ａ，５４Ｂ 筒部材、４５，５２Ａ，５２Ｂ アーム部材、５４Ａ，４５Ｂ，５５Ａ，５５Ｂ レール部材、４６ 機構部、４６Ａ，４６Ｂ，５６Ａ，５６Ｂ 支持台、４７ 制御部、４８ チューブ、４９ タンク、５３ チャック部、５５，５９Ａ，５９Ｂ 伸縮部材、５７ 固定部材、５８Ａ，５８Ｂ 顕微鏡、５９ 窓、６０ ランプユニット、６１ 紫外線ランプ、７０，７０Ａ，７０Ｂ 有機エレクトロルミネッセンス表示素子、７１ 基板、７２ 陽電極、７３ 正孔注入輸送層、７４ 発光層、７５ 電子注入輸送層、７６ 陰電極、８０ 紫外線硬化樹脂、１１０ 加熱ユニット。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
素子を第１および第２の基板間に封止する封止装置であって、
前記第１の基板の一主面上に配置された前記素子を囲むように前記一主面に樹脂を塗布する塗布手段と、
大気圧と異なる所定の圧力を有し、かつ、不活性ガスで満たされた雰囲気内において、前記樹脂が塗布された前記一主面に向かって前記第２の基板を移動させ、前記樹脂に前記第２の基板を接触させるとともに、前記第２の基板を前記一主面の法線方向に移動させて前記第１および第２の基板間の距離を所定の距離に設定する設定手段と、
前記第１および第２の基板間の距離が前記所定の距離に設定された状態で前記樹脂を硬化させる硬化手段とを備え、
前記所定の距離は、前記第１および第２の基板と前記樹脂とによって囲まれた領域の圧力が略大気圧になる距離である、封止装置。
【請求項２】
前記素子を真空中または前記不活性ガス雰囲気中で加熱処理する加熱処理手段をさらに備え、
前記塗布手段は、前記加熱処理手段による加熱処理の後に前記樹脂を前記一主面に塗布する、請求項１に記載の封止装置。
【請求項３】
前記所定の圧力は、前記大気圧よりも低い圧力である、請求項１または請求項２に記載の封止装置。
【請求項４】
前記設定手段は、
前記雰囲気内において、前記第２の基板を前記一主面に近づけて前記第２の基板を前記樹脂に接触させる接触手段と、
前記雰囲気内において、前記第１および第２の基板間の距離が前記所定の距離になるように前記第１および第２の基板を相互に近づける移動手段とを含む、請求項３に記載の封止装置。
【請求項５】
前記設定手段は、前記移動手段による前記第１または第２の基板の移動に連動して、前記第１および第２の基板と前記樹脂とによって囲まれた領域以外の領域の圧力を前記略大気圧まで加圧する加圧手段をさらに含む、請求項４に記載の封止装置。
【請求項６】
前記所定の圧力は、前記大気圧よりも高い圧力である、請求項１または請求項２に記載の封止装置。
【請求項７】
前記設定手段は、
前記雰囲気内において、前記第２の基板を前記一主面に近づけて前記第２の基板を前記樹脂に接触させる接触手段と、
前記雰囲気内において、前記第１および第２の基板間の距離が前記所定の距離になるように前記第１および第２の基板を相互に遠ざける移動手段とを含む、請求項６に記載の封止装置。
【請求項８】
前記設定手段は、前記移動手段による前記第１または第２の基板の移動に連動して、前記第１および第２の基板と前記樹脂とによって囲まれた領域以外の領域の圧力を前記略大気圧まで減圧する減圧手段をさらに含む、請求項７に記載の封止装置。
【請求項９】
前記樹脂は、紫外線硬化樹脂であり、
前記硬化手段は、前記紫外線硬化樹脂に紫外線を照射する紫外線ランプである、請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の封止装置。
【請求項１０】
前記素子は、有機エレクトロルミネッセンス表示素子である、請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の封止装置。
【請求項１１】
前記不活性ガスの水分含有率は、１００ｐｐｍ以下である、請求項１０に記載の封止装置。
【請求項１２】
素子を第１および第２の基板間に封止する封止方法であって、
前記第１の基板の一主面上に配置された前記素子を囲むように前記一主面に樹脂を塗布する第１のステップと、
大気圧と異なる所定の圧力を有し、かつ、不活性ガスで満たされた雰囲気内において、前記樹脂が塗布された前記一主面に向かって前記第２の基板を移動させ、前記樹脂に前記第２の基板を接触させるとともに、前記第２の基板を前記一主面の法線方向に移動させて前記第１および第２の基板間の距離を所定の距離に設定する第２のステップと、
前記第１および第２の基板間の距離が前記所定の距離に設定された状態で前記樹脂を硬化させる第３のステップとを備え、
前記所定の距離は、前記第１および第２の基板と前記樹脂とによって囲まれた領域の圧力が略大気圧になる距離である、封止方法。
【請求項１３】
前記素子を真空中または前記不活性ガス雰囲気中で加熱処理する第４のステップをさらに備え、
前記第１から第３のステップは、前記第４のステップの後に実行される、請求項１２に記載の封止方法。
【請求項１４】
前記所定の圧力は、前記大気圧よりも低い圧力であり、
前記第２のステップは、
前記素子が配置され、かつ、前記樹脂が塗布された前記第１の基板と、前記第２の基板とを前記不活性ガス中に搬入する第１のサブステップと、
前記搬入された前記第１および第２の基板の周囲を前記所定の圧力まで減圧する第２のサブステップと、
前記一主面に向かって前記第２の基板を近づけて前記樹脂に前記第２の基板を接触させる第３のサブステップと、
前記第１および第２の基板間の距離が前記所定の距離になるように前記第１および第２の基板を相互に近づける第４のサブステップとを含む、請求項１２または請求項１３に記載の封止方法。
【請求項１５】
前記第２のステップは、前記第４のサブステップにおける前記第１または第２の基板の移動に連動して、前記第１および第２の基板と前記樹脂とによって囲まれた領域以外の領域の圧力を略大気圧まで加圧する第５のサブステップをさらに含む、請求項１４に記載の封止方法。
【請求項１６】
前記所定の圧力は、前記大気圧よりも高い圧力であり、
前記第２のステップは、
前記素子が配置され、かつ、前記樹脂が塗布された前記第１の基板と、前記第２の基板とを前記不活性ガス中に搬入する第１のサブステップと、
前記搬入された前記第１および第２の基板の周囲を前記所定の圧力まで加圧する第２のサブステップと、
前記一主面に向かって前記第２の基板を近づけて前記樹脂に前記第２の基板を接触させる第３のサブステップと、
前記第１および第２の基板間の距離が前記所定の距離になるように前記第１および第２の基板を相互に近づける第４のサブステップとを含む、請求項１２または請求項１３に記載の封止方法。
【請求項１７】
前記第２のステップは、前記第４のサブステップにおける前記第１または第２の基板の移動に連動して、前記第１および第２の基板と前記樹脂とによって囲まれた領域以外の領域の圧力を略大気圧まで減圧する第５のサブステップをさらに含む、請求項１６に記載の封止方法。
【請求項１８】
前記樹脂は、紫外線硬化樹脂であり、
前記第３のステップは、紫外線を前記紫外線硬化樹脂に照射する、請求項１２から請求項１７のいずれか１項に記載の封止方法。
【請求項１】
素子を第１および第２の基板間に封止する封止装置であって、
前記第１の基板の一主面上に配置された前記素子を囲むように前記一主面に樹脂を塗布する塗布手段と、
大気圧と異なる所定の圧力を有し、かつ、不活性ガスで満たされた雰囲気内において、前記樹脂が塗布された前記一主面に向かって前記第２の基板を移動させ、前記樹脂に前記第２の基板を接触させるとともに、前記第２の基板を前記一主面の法線方向に移動させて前記第１および第２の基板間の距離を所定の距離に設定する設定手段と、
前記第１および第２の基板間の距離が前記所定の距離に設定された状態で前記樹脂を硬化させる硬化手段とを備え、
前記所定の距離は、前記第１および第２の基板と前記樹脂とによって囲まれた領域の圧力が略大気圧になる距離である、封止装置。
【請求項２】
前記素子を真空中または前記不活性ガス雰囲気中で加熱処理する加熱処理手段をさらに備え、
前記塗布手段は、前記加熱処理手段による加熱処理の後に前記樹脂を前記一主面に塗布する、請求項１に記載の封止装置。
【請求項３】
前記所定の圧力は、前記大気圧よりも低い圧力である、請求項１または請求項２に記載の封止装置。
【請求項４】
前記設定手段は、
前記雰囲気内において、前記第２の基板を前記一主面に近づけて前記第２の基板を前記樹脂に接触させる接触手段と、
前記雰囲気内において、前記第１および第２の基板間の距離が前記所定の距離になるように前記第１および第２の基板を相互に近づける移動手段とを含む、請求項３に記載の封止装置。
【請求項５】
前記設定手段は、前記移動手段による前記第１または第２の基板の移動に連動して、前記第１および第２の基板と前記樹脂とによって囲まれた領域以外の領域の圧力を前記略大気圧まで加圧する加圧手段をさらに含む、請求項４に記載の封止装置。
【請求項６】
前記所定の圧力は、前記大気圧よりも高い圧力である、請求項１または請求項２に記載の封止装置。
【請求項７】
前記設定手段は、
前記雰囲気内において、前記第２の基板を前記一主面に近づけて前記第２の基板を前記樹脂に接触させる接触手段と、
前記雰囲気内において、前記第１および第２の基板間の距離が前記所定の距離になるように前記第１および第２の基板を相互に遠ざける移動手段とを含む、請求項６に記載の封止装置。
【請求項８】
前記設定手段は、前記移動手段による前記第１または第２の基板の移動に連動して、前記第１および第２の基板と前記樹脂とによって囲まれた領域以外の領域の圧力を前記略大気圧まで減圧する減圧手段をさらに含む、請求項７に記載の封止装置。
【請求項９】
前記樹脂は、紫外線硬化樹脂であり、
前記硬化手段は、前記紫外線硬化樹脂に紫外線を照射する紫外線ランプである、請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の封止装置。
【請求項１０】
前記素子は、有機エレクトロルミネッセンス表示素子である、請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の封止装置。
【請求項１１】
前記不活性ガスの水分含有率は、１００ｐｐｍ以下である、請求項１０に記載の封止装置。
【請求項１２】
素子を第１および第２の基板間に封止する封止方法であって、
前記第１の基板の一主面上に配置された前記素子を囲むように前記一主面に樹脂を塗布する第１のステップと、
大気圧と異なる所定の圧力を有し、かつ、不活性ガスで満たされた雰囲気内において、前記樹脂が塗布された前記一主面に向かって前記第２の基板を移動させ、前記樹脂に前記第２の基板を接触させるとともに、前記第２の基板を前記一主面の法線方向に移動させて前記第１および第２の基板間の距離を所定の距離に設定する第２のステップと、
前記第１および第２の基板間の距離が前記所定の距離に設定された状態で前記樹脂を硬化させる第３のステップとを備え、
前記所定の距離は、前記第１および第２の基板と前記樹脂とによって囲まれた領域の圧力が略大気圧になる距離である、封止方法。
【請求項１３】
前記素子を真空中または前記不活性ガス雰囲気中で加熱処理する第４のステップをさらに備え、
前記第１から第３のステップは、前記第４のステップの後に実行される、請求項１２に記載の封止方法。
【請求項１４】
前記所定の圧力は、前記大気圧よりも低い圧力であり、
前記第２のステップは、
前記素子が配置され、かつ、前記樹脂が塗布された前記第１の基板と、前記第２の基板とを前記不活性ガス中に搬入する第１のサブステップと、
前記搬入された前記第１および第２の基板の周囲を前記所定の圧力まで減圧する第２のサブステップと、
前記一主面に向かって前記第２の基板を近づけて前記樹脂に前記第２の基板を接触させる第３のサブステップと、
前記第１および第２の基板間の距離が前記所定の距離になるように前記第１および第２の基板を相互に近づける第４のサブステップとを含む、請求項１２または請求項１３に記載の封止方法。
【請求項１５】
前記第２のステップは、前記第４のサブステップにおける前記第１または第２の基板の移動に連動して、前記第１および第２の基板と前記樹脂とによって囲まれた領域以外の領域の圧力を略大気圧まで加圧する第５のサブステップをさらに含む、請求項１４に記載の封止方法。
【請求項１６】
前記所定の圧力は、前記大気圧よりも高い圧力であり、
前記第２のステップは、
前記素子が配置され、かつ、前記樹脂が塗布された前記第１の基板と、前記第２の基板とを前記不活性ガス中に搬入する第１のサブステップと、
前記搬入された前記第１および第２の基板の周囲を前記所定の圧力まで加圧する第２のサブステップと、
前記一主面に向かって前記第２の基板を近づけて前記樹脂に前記第２の基板を接触させる第３のサブステップと、
前記第１および第２の基板間の距離が前記所定の距離になるように前記第１および第２の基板を相互に近づける第４のサブステップとを含む、請求項１２または請求項１３に記載の封止方法。
【請求項１７】
前記第２のステップは、前記第４のサブステップにおける前記第１または第２の基板の移動に連動して、前記第１および第２の基板と前記樹脂とによって囲まれた領域以外の領域の圧力を略大気圧まで減圧する第５のサブステップをさらに含む、請求項１６に記載の封止方法。
【請求項１８】
前記樹脂は、紫外線硬化樹脂であり、
前記第３のステップは、紫外線を前記紫外線硬化樹脂に照射する、請求項１２から請求項１７のいずれか１項に記載の封止方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【公開番号】特開２００７−１８９００（Ｐ２００７−１８９００Ａ）
【公開日】平成１９年１月２５日（２００７．１．２５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−１９９７０８（Ｐ２００５−１９９７０８）
【出願日】平成１７年７月８日（２００５．７．８）
【出願人】（３９６０２５８７２）株式会社大日本科研 (9)
【出願人】（５９２０４１３０６）株式会社美和製作所 (5)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１月２５日（２００７．１．２５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年７月８日（２００５．７．８）
【出願人】（３９６０２５８７２）株式会社大日本科研 (9)
【出願人】（５９２０４１３０６）株式会社美和製作所 (5)
【Ｆターム（参考）】
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