【課題】本発明は、タクト時間を短縮して生産効率を向上させることが可能な透光性基板の貼り合わせ方法およびその装置を提供することにある。
【解決手段】ステージ１１とＯリング１２と耐熱特殊シート８によって形成された密閉空間２０内を減圧する。すると、大気圧と密閉空間２０内の減圧による圧力差によって耐熱特殊シート８と共に密閉空間２０内に収容された仮止め貼り合わせ基板１４を構成する一方のガラス基板１５ａが他方のガラス基板１５ｂ側に移動して両ガラス基板１５ａ、１５ｂ間のギャップが縮まる。この状態で予備加熱して両ガラス基板間に位置する熱硬化性の性質を有するシール材１６を予備硬化して仮固定貼り合わせ基板を作製し、その後、ホットプレスによってシール材を本硬化して本固定貼り合わせ基板を完成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、種々の処理装置に組み込むことによって作業効率の向上および品質のばらつき抑制を実現するアライメント方法およびその装置を提供することである。
【解決手段】吸着テーブル４上に配設された複数の基板保持プレート１７の夫々にアライメントマーク２０を有する被処理基板１８を保持し、アライメントマーク撮像用カメラ１９で撮像して得られた被処理基板１８のアライメントマーク２０の位置データに基づいて吸着テーブル４の基板保持プレート１７に対応する両側に配設されたアライメント機構を制御し、夫々のアライメント機構に設けられた基板保持プレート用支持ピン１０ａ、１０ｂを介して基板保持プレート１７をＸ、Ｙおよびθ方向に制御して被処理基板１８のアライメントを行なう。 （もっと読む）

【課題】オートクレーブ処理に寄与しないスペースを低減したチャンバを備え、オートクレーブ処理を施した個々の製品間の品質のばらつきを抑制するオートクレーブ装置を提供することにある。
【解決手段】窓枠５と開口６を有する枠体７と該枠体７を挟持する一対のホットプレート４と枠体７の開口６を塞ぐ扉１２によってチャンバを構成し、被処理物を収容したチャンバ内を一定時間規定温度および規定圧力の高温高圧状態に保持して被処理物にオートクレーブ処理を施すようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液晶表示パネルに使用する貼り合わせ基板の貼り合わせ精度を高めることが可能な液晶表示パネルの製造方法およびその装置を提供することにある。
【解決手段】ステージ１１とＯリング１２とＵＶ透過特殊シート８によって形成された密閉空間２０内を減圧する。すると、大気圧と密閉空間２０内の減圧による圧力差によってＵＶ透過特殊シート８と共に密閉空間２０内に収容された仮止め貼り合わせ基板１４を構成する一方のガラス基板１５ａが他方のガラス基板１５ｂ側に移動して両ガラス基板１５ａ、１５ｂ間のギャップが縮まる。この状態でＵＶ照射して両ガラス基板間に位置するＵＶ硬化性と熱硬化性の両方の性質を有するシール材１６をＵＶ硬化して仮止め貼り合わせ基板を作製し、その後、ホットプレスによってシール材を加熱硬化して貼り合わせ基板を完成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被ラビング処理基板の大型化にも係わらず製造設備設置のための面積が少なくて省スペース化が図られると共に、被ラビング処理基板１枚当りのラビング処理時間を短縮し、且つ高精度で均一なラビング処理を施すことが可能なラビング装置およびラビング方法を提供するものである。
【解決手段】ラビング装置をアライメント部１とラビング部２で構成し、アライメント部１において被ラビング処理基板１５を所定の方向でラビングされる向きに設定した後にラビング部２へ浮上搬送し、ラビング部２で所定の方向および速度で回転する前記ラビングロール１１を該ラビングロールの長手方向に略直角の方向に移動させながら被ラビング処理基板１５に形成された配向膜にラビング処理を行なうようにした。 （もっと読む）

【課題】レーザビームをガラス板に照射してスクライブラインを形成する工程を有するガラス切断方法において、レーザビームの利用効率を高めることによって切断作業の効率を向上させる方法を提供することにある。
【解決手段】反射鏡板３の光反射処理面２上にガラス板９を載置し、レーザビーム１０を両凸レンズからなる第１の焦点レンズ６およびが平凹レンズからなる第２の焦点レンズ７を介してガラス板９の表面に照射する。第２の焦点レンズ３は凹状反射面１３を有しており、レーザビーム１０が反射鏡板３の光反射処理面２と第２の焦点レンズ７の凹状反射面１３との間に構成された共振器構造の該共振器構造内を反射を繰返しながらガラス板９の厚みの略１／２の位置に繰返し集光することによって該集光部に効率良く熱応力が集中するようにした。 （もっと読む）

【課題】配向膜が塗布されたガラス基板を載置してラビング処理を施すラビングステージの、軽量化、高剛性化および高平面精度を実現し、ガラス基板の大型化に対しても生産性、再現性および製造精度が確保できるラビングステージを提供するものである。
【解決手段】ラビングステージ５を、平板形状体２を２枚のＣＦＲＰ板１で挟持したサンドイッチ構造のサブステージ３上に複数のメインステージ４を縦横方向に所定の間隔で配設した構造とした。 （もっと読む）

【課題】紫外線によって配向膜に配向処理を施す配向処理方法及び配向処理装置において、配向膜全面に亘って同一条件下で配向処理が施され、配向膜全面に亘って均一な配向特性が得られる配向処理方法及び配向処理装置を提供するものである。
【解決手段】光源装置部から出射された紫外線の略平行光を、複数の全反射ミラーによって構成された光照射パターン制御部を介して長尺形状の照射パターンに形成し、変換された照射パターンの紫外線を所定の角度を保って配向膜に照射することによって配向処理を施すようにした。 （もっと読む）

【課題】レーザビームの照射で形成されたクラックによってガラス板を切断する場合、レーザビームがガラス板の内側から端部付近に近づくと、照射したレーザビームが消滅するか、あるいはレーザビームのエネルギーが減衰し、設定された切断行路を進行するクラックがガラス板の端部手前で消滅したり、あるいは切断行程から逸れた方向に形成されることになる。
【解決手段】切断するガラス板の両端部側から設定された切断行程に沿ってレーザビームを走査してスクライブラインを形成し、その後工程のブレークライン形成工程において、同様にガラス板の両端部側から前工程で形成されたスクライブラインに沿ってレーザビームを走査してブレークラインを形成し、これらの工程をガラス板全面に設定された切断行程に適用することによってガラス板を個々のガラス片に分割するようにした。 （もっと読む）

【課題】光源から放射される紫外線によって配向膜に配向処理を施す配向処理方法及び配向処理装置において、配向膜全面に亘って同一条件下で配向処理が施され、配向膜全面に亘って均一な配向特性が得られる配向処理方法及び配向処理装置を提供するものである。
【解決手段】光源となる紫外線ランプから出射された紫外線をシリンドリカルレンズからなる光学レンズを介して略平行光とし、該略平行光を所定の角度を保って配向膜に照射することによって配向処理を施すようにした。 （もっと読む）