【課題】簡便な操作で、高い精度の寸法測定を行なうことができるエアマイクロメータを提供する。
【解決手段】空気流路１１の上流側と下流側が多孔質部１２材により仕切られて構成された測定部１と、測定部１の上流側の空気の第１圧力を検出してその信号を出力する第１圧力センサ３と、測定部１の下流側の空気の第２圧力を検出してその信号を出力する第２圧力センサ４と、測定部１内の空気の温度を検出し信号を出力する温度センサ５と、を備える。第１圧力センサと第２圧力センサから出力される信号を取り込み、第２圧力センサの第２圧力が一定値となるように、空気流路１１の制御バルブ６の開度を制御し、第１圧力と該第２圧力の圧力差、第２圧力、及び空気の温度に基づき、測定ヘッド２の噴出孔２２から噴出する空気の単位時間当りの質量流量を算出し、質量流量に基づき、ワークの寸法を算出する。 （もっと読む）

【課題】高い制御性を有し、小型で耐食性、耐久性に優れる排気圧力コントローラを提供する。
【解決手段】排気圧力コントローラの駆動部分にゴム膨張バルブを用いることにより、ダンパー制御を精度良く行うことができる。即ち、貫通流路を有する硬質なボディと、前記貫通流路内に配置される膨張部材と、前記膨張部材を含んで形成される気密空洞と、を有するバルブと、
前記貫通流路の圧力及び／又は流量を測定する圧力／流量計測手段と
前記気密空洞に制御用気体を給気又は排気することにより、前記膨張部材を膨張又は収縮させて前記貫通流路の流路断面積を変化させる給排気制御手段と
を用いて排気圧力コントローラを構成する。 （もっと読む）

【課題】流量レンジの小さい流量計を、短時間で精度良く校正することのできる流量標準器を提供する。
【解決手段】端側が圧力源に接続され、他端に流量コントローラが接続される第１流路管と、一端側が圧力源に接続され、他端が第１流路管に接続されるとともに、その流路内に試験対象流量計が直列に接続される接続ポートを有する第２流路管と、前記圧力源から第１流路管への気体の供給と、前記圧力源から第２流路管への気体の供給とを遮断するとともに、第１流路管と第２流路管とを前記接続ポートの上流側で分離する遮断手段と、を有する流量標準器を用いて圧力源から流量標準器内に圧縮気体を充填した後、圧力源と流量標準器とを遮断すると、試験対象流量計の上流側から下流側に向って微小な流量の気体の流れを正確に発生させることができる。この微小な流量は、流量コントローラにより発生させる流量と、流量計の上流側と下流側との容積比とから算出できる。 （もっと読む）

【課題】ワークの漏れ検査を行うにあたって、漏れ検査に要する時間を短縮することのできる装置及び漏れ検査方法を提供する。
【解決手段】内容積が既知のワーク内に圧力源から気体を供給して前記ワークから漏れる気体の量を測定する装置であって、一端側が圧力源に接続され、他端がワークとの接続口を構成する第１気体供給管と、一端側が圧力源に接続され、他端が第１気体供給管に接続されるとともに、その流路内を流れる気体の量を測定する流量計が介装される第２気体供給管と、第１気体供給管に接続される排気バルブと、前記圧力源から第１気体供給管への気体の供給と、前記圧力源から第２気体供給管への気体の供給とを略同時にそれぞれ遮断する手段とを用いて装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】層流発生部を挟む上流と下流の差圧を可及的に大きくでき、また層流発生部の長さを可能な限り短くし、さらにキャピラリー管を不要としてガスの流量を検出すること。
【解決手段】 流路を上流側と下流側とに仕切る多孔質部材からなる層流素子３０と、層流素子３０の上流側と下流側との差圧ΔＰを検出する手段１７、２６と、下流側の圧力Ｐ2を検出する手段２６と、差圧ΔＰに基づいて体積流量Ｑを
Ｑ＝Ａ＊ΔＰ＊（ΔＰ＋2＊Ｐ2＋Ｂ）
（ただし、Ａは多孔質部材の形状係数を、またＢはガスの圧縮率に対する補正値を表す。）
なる関係により算出する手段３２とにより構成されている。 （もっと読む）

【課題】バブリングにより供給すべき目的材料の量の安定性をモニタリングできる監視装置を備えたバブラーを提供すること。
【解決手段】バブラーの導入口とキャリアガス源との間に上流側から順番に質量流量制御手段１３と、第１の止弁１８とを接続し、またバブラーの導出口と消費機器との間に上流側から順番に第２の止弁１９と、音速ノズル１とを接続し、さらに第１の止弁１８の流入側と第２の止弁１９の流出側とを第３の止弁２０により接続し、音速ノズル１の流入側の圧力を監視することにより目的材料の含有量を検出する。 （もっと読む）