【課題】微細金属パターンの製造方法において、微細金属パターンの生産性を向上することができるようにする。
【解決手段】基材部１ａ上にパターニングされた凸部１ｂを設け、凸部１ｂ上に金属を成膜することで、複数の金属薄膜層４を形成し、それぞれ隣接する他の金属薄膜層４の方向に成長させつつ膜厚を増し、隣接する金属薄膜層４同士が膜厚方向に略貫通する会合面４ａを介して会合する金属薄膜層群４０を形成する金属薄膜層形成工程と、この金属薄膜層形成工程で形成された金属薄膜層群４０にウェットエッチングを施すことにより、会合面４ａを腐食させ、金属薄膜層群４０の上面から凹部１ｃまでの間で貫通する隙間３を形成するエッチング工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】ポリオルガノシルセスキオキサン微粒子を製造する新たな方法、その方法により製造されたシリコン系微粒子、及び当該微粒子を含む熱可塑性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】下記(a)〜(c)の段階を含むことを特徴とするポリオルガノシルセスキオキサン微粒子の製造方法；（ａ）オルガノトリアルコキシシランとオルガノクロロシランとを混合して、オルガノクロロシランが約１００〜２，０００ｐｐｍの濃度である混合物を製造し；（ｂ）前記混合物に水を混合してゾル溶液を得て；及び（ｃ）前記ゾル溶液のｐＨを約８〜１１に保持させる；前記オルガノトリアルコキシシランは、下記式（I）で表示
される。
Ｒ¹Ｓｉ(ＯＲ²)₃ （I）
（前記式において、Ｒ¹は炭素数１〜６のアルキル基、ビニル基、または炭素数５〜３０
のアリール基、Ｒ²は炭素数１〜５のアルキル基を表す）。 （もっと読む）

【課題】付着力を向上し、吸湿率及び熱膨張係数を低減し、機械的弾性を向上させると共に、マルチチップパッケージ成形の際に発生するボイド(Void)の発生を抑制することによって、成形特性及び信頼性に優れたマルチチップパッケージ成形用エポキシ樹脂組成物の提供。
【解決手段】マルチチップパッケージ封止用エポキシ樹脂組成物が提供される。上記エポキシ樹脂組成物は、エポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤、カップリング剤、及び無機充填剤を含み、上記カップリング剤は、炭化水素基を含むヒドロキシシロキサン樹脂を含むことを特徴とする。上記エポキシの樹脂組成物は、優れた信頼性を果たすと共に成形性の側面でも優れた特性を有する。 （もっと読む）

本発明は、（Ａ）ゴム変性芳香族ビニル系共重合体樹脂約５〜４０重量部；（Ｂ）ポリカーボネート樹脂約３０〜９０重量部；及び（Ｃ）（ｃ１）準結晶性ポリエステル樹脂約０．０１〜９９重量％と（ｃ２）非結晶性ポリエステル樹脂約１〜９９．９９重量％とからなるポリエステル樹脂約１〜６０重量部からなる基礎樹脂１００重量部；並びに、（Ｄ）芳香族リン酸エステル系化合物約５〜３０重量部を含むことを特徴とする難燃性及び耐衝撃性に優れた熱可塑性樹脂組成物に関する。 （もっと読む）

【課題】伝導性高分子共重合体、伝導性高分子共重合体組成物、伝導性高分子共重合体組成物膜、及びこれを用いた有機光電素子を提供する。
【解決手段】水分吸収力を抑制でき、分子中のポリ酸の濃度を低減でき、分子間の凝集現象を減らして薄膜特性及び貯蔵安全性が向上する他、有機光電素子の効率特性及び寿命特性を向上させることができる伝導性高分子共重合体とする。この伝導性高分子共重合体は、伝導性高分子に下記一般式（１）で表されるポリ酸共重合体がドーピングされていることを特徴とする。


また、この伝導性高分子共重合体を用いた伝導性高分子共重合体組成物及び有機光電素子を提供する。 （もっと読む）

レジスト下層膜加工用ハードマスク組成物が提供される。前記ハードマスク組成物は、オルガノシラン重合体および溶媒または溶媒の混合物を含み、前記オルガノシラン重合体は、酸触媒の存在下で、式１、２、および３で表される化合物の加水分解物の重縮合によって調製される：


式中、Ｘは、少なくとも１つの置換または非置換の芳香環を含むＣ_６−Ｃ_３０の官能基であり、Ｒ^１はＣ_１−Ｃ_６のアルキル基である；


式中、Ｒ^２はＣ_１−Ｃ_６のアルキル基であり、Ｒ^３はＣ_１−Ｃ_１２のアルキル基である；


式中、Ｒ^４およびＲ^５はそれぞれ独立してＣ_１−Ｃ_６のアルキル基であり、Ｙは、芳香環、置換または非置換の、直鎖または分岐のＣ_１−Ｃ_２０のアルキレン基、骨格中に芳香環、複素環、ウレア基またはイソシアヌレート基を含むＣ_１−Ｃ_２０のアルキレン基、および少なくとも１つの多重結合を含むＣ_２−Ｃ_２０の炭化水素基からなる群から選択される連結基である。
本発明のハードマスク組成物は、優れた膜特性および良好な保存安定性を示し、その満足できるハードマスク特性によって材料層に良好なパターンを転写することを可能にする。加えて、本発明のハードマスク組成物は、後続のパターンのエッチングの際にＯ_２プラズマガスに対して改善されたエッチング耐性を有する。前記ハードマスク組成物は、高い親水性の薄膜の形成に使用することができ、したがって薄膜の上部の反射防止コーティングとの界面の相溶性の改善に効果的である。さらに、前記ハードマスク組成物を用いた半導体集積回路デバイスの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置において、カラーフィルタを用いてカラー表示を行う場合に、光の利用効率を向上することができるようにする。
【解決手段】光を供給するバックライト部４と、これにより供給された光からカラー表示するための複数の表示光を生成するＲフィルタ３２Ｒ、Ｇフィルタ３２Ｇ、Ｂフィルタ３２Ｂと、これら各カラーフィルタを透過した各表示光の偏光方向を制御してカラー表示を行うＬＣＤパネル２と、各カラーフィルタに対向して配置され、バックライト部４から供給される光のＴＥ偏光成分をバックライト部４側に反射するとともに、ＴＭ偏光成分を透過するＷＧＰ３３Ｒ、３３Ｇ、３３Ｂを備え、これら各ＷＧＰは、それぞれが対向するカラーフィルタに対応する表示光の波長帯域とは異なる他の表示光の波長帯域に対して、ＴＭ偏光成分の反射率を相対的な高反射率にする波長特性が付与された構成とする。 （もっと読む）

【課題】高温無加湿条件においても高いイオン伝導度を持ち、耐化学性及び耐久性が優れた燃料電池用高分子電解質膜を提供する。
【解決手段】ベンズイミダゾール構造を有するポリイミド重合体が、架橋剤によって架橋されるとともに、酸が含浸されてなる燃料電池用高分子電解質膜を備えた燃料電池１を採用する。 （もっと読む）

本明細書によれば化学機械研磨（ＣＭＰ）スラリーおよびその製造方法が提供される。本発明の実施形態は、（ａ）金属酸化物；（ｂ）ｐＨ調節剤；（ｃ）フッ素化界面活性剤；および（ｄ）第四級アンモニウム界面活性剤を含むＣＭＰスラリーを含む。一部の実施形態では、フッ素化界面活性剤は非イオン性ペルフルオロアルキルスルホニル化合物である。本明細書によれば本発明の実施形態に係るスラリー組成物を多結晶シリコン表面に供給する工程と、ＣＭＰ処理を実施して前記多結晶シリコン表面を研磨する工程とを含む、多結晶シリコン表面の研磨方法もまた提供される。 （もっと読む）

本発明の一態様は、熱可塑性樹脂の製造方法に関し、その方法は、（メタ）アクリル酸アルキルエステル、芳香族ビニルモノマーおよび不飽和ニトリルモノマーを含む混合原料を、直列に連結された反応器中で、各反応器中での転換率が約４０％以下になるように制御しながら連続して重合する段階を含む。本発明の他の態様は、その熱可塑性樹脂をマトリックスとして使用した透明ＡＢＳ樹脂組成物に関する。 （もっと読む）