【課題】測定プローブにより薄層の厚さを測定する方法と装置を提供すること。
【解決手段】長手軸がハウジング（１４）の長手軸（１６）と平行またはその上にある少なくとも１つのセンサ要素（１７）を保持するハウジング（１４）を有する測定プローブ（１１）により、薄層の厚さを測定する方法と装置。少なくとも測定過程中に、気体媒体が測定表面（２８）で測定プローブ（１１）の供給開口（２１）に供給され、供給開口（２１）に連結された少なくとも１つの連結経路（２４）を介して、測定表面（２８）に向いている、測定プローブ（１１）の端面（２９）に設けられた１つまたは複数の出口開口（２６）に供給され、１つまたは複数の出口開口（２６）から流出する、気体媒体の少なくとも１つのマス・フローが測定表面（２８）に向いており、測定プローブ（１１）は測定過程中に測定表面（２８）に対して非接触の方法で保持される。 （もっと読む）

【課題】従来の構成標準装置に基づいて、較正精度を向上させて、較正される測定装置のより優れた測定精度を達成する。
【解決手段】本発明は、基礎材料の支持板（１６）を備え、支持板（１６）に標準（１７）が取り付けられており、標準が、それによって装置の較正が行われる層厚を有している、薄層の厚さを非破壊測定する装置に較正を施すための構成標準装置であって、構成標準装置（１１）の本体（１２）に配置された保持装置（２２）が、薄層の非破壊測定装置の測定プローブを標準（１７）に配置すると、その位置を少なくとも１自由度だけ変化させることが可能になるように、本体（１２）に対して少なくとも標準（１７）を支持することを特徴とする、構成標準装置に関するものである。 （もっと読む）

【課題】従来タイプの測定装置をさらに発展させて、測定プローブ素子の、摩擦を低減させた配置によって、測定プローブによる測定精度の増加を可能にすること。
【解決手段】本発明は、ハウジング（１４）の縦軸（１６）に沿って、前記ハウジングに対して、少なくともわずかに、可動的に受け入れられている少なくとも１つのセンサ素子（１７）を有する前記ハウジング（１４）を備えた、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブであって、前記測定プローブ（１１）を測定物体の面上にセットするために、前記少なくとも１つのセンサ素子（１７）に割り当てられたコンタクト球状キャップ（２１）を備えた測定プローブにおいて、前記少なくとも１つのセンサ素子（１７）が、弾性的にばね荷重状態に設計され、そして、前記ハウジング（１４）上に固着された保持要素（１８）によって、−前記ハウジング（１４）の前記縦軸（１６）に沿って−、受け入れられている測定プローブに関するものである。 （もっと読む）

【課題】特に薄層の厚さを測定するために、正確な測定値が得られるように測定装置がゆるやかに被測定表面にタッチダウンでき、高い繰返し性を備える測定スタンドを提供する。
【解決手段】測定装置（２６）を保持するための測定スタンドであって、測定スタンドはハウジング（１８）を備えており、カム従動節（２３）が上下に移動させられるように案内され、測定装置（２６）は測定対象（１４）に対面する前記ハウジング（１８）の端に配置されており、電気駆動装置（２８）を備える駆動ユニット（２９）がカム従動節（２３）の持上げ移動を駆動し、前記駆動ユニット（２９）は、下方移動において、測定装置（２６）が測定対象（１４）にタッチダウンするまで迅速な運動を伴う少なくとも１つの第１の移動相とクリープ運動を伴うカム従動節（２３）の少なくとも１つの別の移動相を開始する。 （もっと読む）

【課題】デバイスの較正に対して高い精度を有し、正確さを再現しやすく、製造が簡単な較正基準を提供する。
【解決手段】キャリア層（１２）が支え面（１４）に対する面平行の測定面（１６）を有し、標準（１７）が、キャリア層（１２）の測定面（１６）上に載せるための、測定面（１９）に面平行の支え面（１８）を有し、さらに標準（１７）がこすりつけるメッキによってキャリア層に永久的に設けられることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、表示デバイスのためのディスプレイ（２７）上に測定値を出力するための方法に関する。前記方法によると、少なくとも１つの試験対象（１１）上の測定デバイス（２４）によって記録される測定値が、信号処理デバイスへ送られる。測定値が、試験対象（１１）上の各測定点（１４〜２１）で検知される。または複数の測定値が、試験対象（１１）上の各測定点（１４〜２１）で検知される。平均値が、いくつかの検知された測定値から各測定点（１４〜２１）で決定される。少なくとも１つの試験対象（１１）上の各測定点（１４〜２１）の平均値が、電子式卓上計算機を備える評価デバイス内でそれらのランクに従ってソートされ、かつ前記平均値が、上側および下側境界線とともにディスプレイ（２７）上に表される。
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本発明は、測定される対象物上の薄層の厚さを測定する測定デバイスに適応する較正デバイスに関しており、較正デバイスは、平坦上面と平坦下面を有する較正面（１２）を備え、平坦上面と平坦下面は、所定の厚さによって、互いからある距離に設けられる。較正面（１２）は、少なくとも１つの縁エリア（１８）から切り離して配置され、較正面（１２）は、少なくとも１つの遷移エリア（１４）を介して少なくとも１つの縁エリア（１８）に接続される。
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