【課題】オペレーターの広範な要求に合わせて簡便、整然、および効率的に構成できるより柔軟なヒーター制御システムのヒーター制御方法を提供する。
【解決手段】ヒーター１６へのＡＣ電力をオン・オフする上限スイッチをＡＣ電力回路内に配置する段階であって、上限スイッチがコイルから電力供給により閉じてＡＣ電力をオンにし、コイルに電力供給されない時に開く、通常開いているリレースイッチを含む段階、及びヒーター内にＰＴＣサーミスタを配置し、電流をコイル電力回路と直列接続しているＰＴＣ抵抗の中を流すようにしてＰＴＣサーミスタを流れる電流からコイルに電力供給し、ＰＴＣサーミスタ内の電流の流れが停止した時に閉じ、電流がＰＴＣ抵抗内を再度流れ始めた時、閉じた状態を保ってコイルへ電流を流さないドレイン回路を提供する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】オペレーターの広範な要求に合わせて簡便、整然、および効率的に構成できるより柔軟なヒーター制御システムのヒーター制御装置を提供する。
【解決手段】第１及び第２温度センサーとヒーターコントローラを具備し、このコントローラは、ＡＣ電力電源に接続される入口コネクタと加熱要素に接続される出口コネクタの間を伸びるＡＣ電力回路を介して加熱要素にＡＣ電力を供給するＡＣ電力回路と、ＡＣ電力回路を開閉する上限電力スイッチと、第１温度センサーの感知温度により上限電力スイッチにＡＣ電力回路を開閉させる上限制御回路と、ＡＣ電力回路を開閉して出口で供給されるＡＣ電力を制御する工程電力スイッチと、第２温度センサーの感知温度と所望設定点温度との比較で工程電力スイッチにＡＣ電力回路を開閉させる工程制御回路と、を有する。 （もっと読む）

【課題】オペレーターの広範な要求に合わせて簡便、整然、および効率的に構成できるより柔軟なヒーター制御システムのヒーター制御方法を提供する。
【解決手段】ヒーターへのＡＣ電力をオン・オフできる上限スイッチをＡＣ電力回路内に配置する段階、およびＤＣ電力電源からの低電圧ＤＣ電力から電力供給を受け、ヒーターに隣接配置された温度センサーの感知温度が事前設定上限温度を超えた時には、上限スイッチはヒーターへのＡＣ電力をオフにし、上限制御回路への低電圧ＤＣ電力が停止されている時には、上限スイッチはヒーターへのＡＣ電力をオンにし、次にもし前記感知温度が事前設定限界温度を超えていなければ再始するようにプログラムされている上限制御回路によって、上記上限スイッチを制御する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】製品変更に適合するように加熱器センサ・パラメータのリセットまたは加熱システム内の標準センサ部品を交換するために、システム運転を停止する必要があり、既存のシステムは製品変更に関連して、加熱器および製造システム運転を停止することなく温度加熱制御システムが柔軟に対応出来る機能を提供していない。
【解決手段】制御装置筐体、制御装置筐体内に配置され、電源から電力負荷へ選択的に電力を供給する電力スイッチ、制御装置筐体内に配置され制限閾値に応答して制限スイッチ機能を提供するための制限器、および制御装置筐体内に配置され制御システムの１つまたはいくつかの動作を制御するように構成された制御装置を有する電力制御システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】苛酷な温度検知環境における性能を改善することが可能であり且つ製造コスト効率の高い温度センサ・アセンブリ、およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明によれば、温度プローブ、実装コネクタ、ワイヤ・セット、遷移構成要素、ハウジング及び回路を有する温度センサ・アセンブリ、及びその製造方法が提供される。温度プローブは、プローブ本体、温度センサ、及び少なくとも１つの導体を含み、少なくとも１つの導体は、この少なくとも１つの導体に及ぶ温度を示す温度信号を提供するように構成される。回路はハウジングに封入され、温度プローブから温度信号を受け取り、受け取った温度信号に応答して温度特性を生成するように構成される。 （もっと読む）

蝶番式キャリア部材及びヒートトレース区間の周囲に配置された第１のカバー、及び第１のカバーと動作可能に係合して、加熱対象及びその様々な幾何学的形状の周囲に着脱可能に配置されるように構成された第２のカバーを有するハイブリッド断熱カバーを含むヒータシステムが提供される。コネクタアセンブリで使用するために、第２のカバーと同様の構造を有する可撓性断熱ジャケットも提供される。さらに、半導体処理システムの加熱ガスライン及びポンプラインで使用するために、隣接する断熱部材内に封入された少なくとも１つのヒートトレース区間を含むヒータシステムが提供される。
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積層抵抗デバイスの製造時にテープ事前形成物を層として基材上に位置決めするための装置が提供される。装置は、近位端部及び遠位端部を画定する、少なくとも１つの位置決め部材を備える。装置は、テープ事前形成物を基材に係接するように適合された接触部材をさらに備える。接触部材及び、位置決め部材の遠位端部は、テープ事前形成物を基材上に位置決めするように構成される。
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隆起フランジを形成する両端部を有する基板と、該両端部間に延びるスロットと、該スロットに沿って延び、隆起フランジにもおよぶ対向面取り面とを含む加熱器組み立て体を提供する。一実施形式では、複数の層が、１対の端子パッドと共に、基板上に設けられている。少なくとも１開口を有する保護カバーが、複数層上に配置され、隆起フランジと基板の対向面取り面とに固定され、該開口が端子パッドの直近に設けられている。１対のリード線が前記端子パッド対に取り付けられ、リード線キャップ組み立て体が、前記リード線対の周囲に配置され、かつ保護カバーに固定されている。本発明により、加熱器組み立て体の製造方法も提供される。
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基板、ターゲットまたは隣接する機能層の上に誘電材層を形成するステップを含む、負荷抵抗体または加熱体などの抵抗装置を形成する方法であって、一形態では誘電材層が単一層である誘電材テープを成す方法が提供される。圧力、温度および時間の予め定められた単一サイクルを経て誘電材テープが基板、ターゲットまたは隣接する機能層に積層され、次に、誘電材層の上に抵抗層が形成され、抵抗層の上にさらに保護層が形成される。
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少なくとも１つのテープ層をなす厚膜材料を含む抵抗装置が提供される。抵抗装置は、一例としてヒーターまたは負荷抵抗体であってもよく、また、誘電材テープの層がその上に配置され、該誘電材テープの層の上に抵抗層が配置され、該抵抗層の上にさらに保護層が配置された基板を含むこともできる。
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