【課題】 面方向、幅方向ともに均一で薄手のケミカルフィルタを容易に貼り付けるための仕組みと前記ケミカルフィルタを貼り付け設置したレチクルケースを提供する。
【解決手段】 通気性シートで粒状吸着剤を挟持した板状ろ材２を通気性袋体３に収容してなるケミカルフィルタ１の前記通気性袋体３の少なくとも対向する２辺に両面接着テープ１０を貼り、該両面接着テープ１０と該通気性袋体３を熱接着し、こうして得られたケミカルフィルタ１をレチクルケース２０の下方中央部に前記両面接着テープ１０で固定し、使用後の該ケミカルフィルタ１を取り外し可能とする。 （もっと読む）

【課題】軟Ｘ線領域等の短波長を使用して形成される、より集積度の高い新世代の半導体回路の製造工程で使用されるマスクの運搬時及び保管時において、マスク表面に貼り付けるペリクル膜の使用を不要にすると共に、塵、埃、静電気、及びガスの発生を防止すること。
【解決手段】本発明のマスクケースは、マスク１０を収容する内ケース上部１及び内ケース下部２と、この内ケースを運搬中に振動を防止するための上緩衝材３，下緩衝材４と、全体を収納する出荷ケース上部５及び出荷ケース下部６と、を備えて構成する。内ケース上部１の左右両端には、内ケース下部２を係合するための留め具（クリップ）１１を取り付ける。内ケース下部２の上面周辺部には、マスク１０の下面周辺部と係合するパッキン２１を取り付ける。内ケース上部１の平板部には、該平板部を貫通するガス抜き穴１２を設ける。ガス抜き穴１２の下部には、ガスを吸着できる吸着膜を貼り付ける。 （もっと読む）

【課題】 面方向、幅方向ともに均一で、薄手のシート状に形状付与が容易で、しかも吸着容量の大きなケミカルフィルタ及びその梱包体並びに前記ケミカルフィルタを設置したレチクル保管ボックスを提供すること。
【解決手段】 通気性シートで粒状吸着剤を挟持した板状ろ材を通気性袋体に収容してケミカルフィルタに構成する。このケミカルフィルタを密封化シートで脱気密封化して、ケミカルフィルタ梱包体とする。また、前記ケミカルフィルタをレチクル保管ボックスのレチクルの少なくとも下方中央部に設置するようにする。 （もっと読む）

【課題】プラズマ表面処理方法において、反応ガスである窒素ガスの消費量を大きく低減できる方法を提供する。
【解決手段】反応ガスを高周波電圧が加えられた対向電極の間を通してプラズマ化し、これを被処理基板に噴射供給するプラズマ表面処理方法において、上記反応ガスとして、窒素ガスに０．０１〜０．２５％の酸素を混入したもの又は窒素ガスに０．１〜２.５％の空気を混入したものを使用する。 （もっと読む）