【課題】検査対象物の外形に沿って変形可能な、アレイ圧電振動素子を用いた超音波プローブ素子を提供する。
【解決手段】本発明の超音波プローブ素子１は、超音波を発振する高分子圧電材料からなる第１のフィルム１５と、第１のフィルム１５に共振する第２のフィルム１９と、第１のフィルム１５にアレイ状に配置され、超音波を発振させ、検査対象物２から反射された超音波を受信するための複数のシグナル電極１３と、第１のフィルム１５と第２のフィルム１９に挟まれたグランド電極１６，１８と、これらを搭載し、弾性的に屈曲可能な基板１１とを備え、各シグナル電極１３で画成された領域の第１のフィルム１５、第２のフィルム１９、グランド電極１６，１８及び当該シグナル電極１３により圧電振動素子１２が構成され、基板１１に圧電振動素子１２がアレイ状に搭載されている。 （もっと読む）

【課題】曲面形状を有する検査対象物の形状に合わせて配置し、精度の良い探傷が可能な超音波探傷装置を提供する。
【解決手段】複数の圧電振動子１が配列され、曲面形状に変形可能なアレイ圧電振動子５と、該アレイ圧電振動子から超音波を発振させる前記圧電振動子を選択する駆動素子選択部と、該駆動素子選択部で選択された圧電振動子から発振される超音波を送受信し、その電気信号を検出する信号検出部と、前記アレイ圧電振動子に応力を加えて所望の曲面形状に変形させる変形調整手段（リニアアクチュエータ７）を備える。圧電振動子を検査対象物の表面形状に沿った形状に容易に調整することが可能になる。これにより、個々の圧電振動子が検査対象物の探傷面と略平行になることで、圧電振動子から発信された超音波が検査対象物の探傷面に対し略垂直に入射することが可能になる。 （もっと読む）