【課題】ガラス基板の品質劣化を防止できるガラス基板収納ケース、ガラス基板収納ケースから別のケースにガラス基板を自動で入れ替えるガラス基板入替、ガラス基板を個別に管理するガラス基板管理装置、ガラス基板を専用のガラス基板収納ケースに収納させて取引するガラス基板流通方法、気密効果を高めるシール部材及びこのシール部材を用いたシール構造を提供する。
【解決手段】レチクルＲが載置される底部材１２と、底部材１２に載置されたレチクルＲを覆うように底部材１２に合わせられ底部材１２との間に空間部を形成する蓋部材２０と、底部材１２又は／及び蓋部材２０に設けられ蓋部材２０が底部材１２に合わせられた状態で空間部を気密にするシール部材１８と、蓋部材２０に設けられ底部材１２に引っ掛けられて蓋部材２０が底部材１２に合わせられた状態を維持するフック部材２４と、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】半導体基板などの被処理物の厚みを考慮することなく表面処理を行うことにより表面処理効率の低下を防止することができ、かつ、被処理物のプラズマダメージを大幅に低減することができる大気圧プラズマ処理装置及び大気圧プラズマ処理方法を提供する。
【解決手段】大気圧又はその近傍の圧力下においてプラズマにより被処理物の表面処理を行う大気圧プラズマ処理装置１０であって、アースに接続され被処理物Ｍの表面に対して略直交するように配置された第１電極２８と、第１電極２８に対向するように配置され第１電極２８との間に放電空間３４を形成する第２電極２２と、第２電極２２にマッチング回路２４を介して接続され第２電極２２に高周波電力を供給する高周波電源２６と、放電空間３４に処理ガスを供給する処理ガス供給手段２０と、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】逆圧に耐えることにより、一部の部屋をメンテナンスしている場合でも他の部屋を用いて半導体基板などの被処理物を同時に処理することができる真空用ゲートバルブを提供する。
【解決手段】複数の部屋を区画する壁部６４に形成された開口部７４、７６を開放又は閉塞する真空用ゲートバルブ１０であって、壁部６４の内部を移動すると共に、開口部７４、７６の外縁又はその近傍に位置する壁部６４を押圧し壁部６４の内部から開口部７４、７６を閉塞するゲートバルブ本体１２と、ゲートバルブ本体１２を移動させる移動手段５６、５８と、を有する構成とした。 （もっと読む）