【解決手段】 入射可視又は赤外光（１２）を偏光し、反射偏光を選択的に抑制するための反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子（１０ａ−ｅ）は、基体（１４）上に配設された少なくとも３つの層（１８ａ−ｄ）を備えている。偏光化ワイヤーグリッド層（１８ａ）は、入射光の波長の半分よりも短い周期を有する平行金属配線（２２）の配列を有する。反射抑制層又はグリッドは、可視又は赤外光に対して光学的吸収性を有する、無機的で非誘電性の材料を含んでいる。誘電体層又はグリッド（１８ｂ，１８ｄ）は、無機的で誘電性の材料を含んでいる。 （もっと読む）

【解決手段】
Ｘ線源（１０）は、電子ビームの合焦機構を提供するため磁気装置（２０）を備える。磁気装置は、可変合焦機構及び非合焦機構を提供することができる。磁気装置は、１つ以上の電磁石及び／又は永久磁石（２２）を備えることができる。真空管（１２）の両側に配置された、アノード（３０）及びカソード（４０）に電位差が印加される。カソードは、アノードとカソードとの間に形成された電場に応答してアノードに向って加速される電子を生成するためのカソード要素（４４）を備える。アノードは、電子の衝突に応答してＸ線を生成するためのターゲット材料（３８）を備える。 （もっと読む）

【解決手段】
光（１２）を偏光させるための多層ワイヤグリッド偏光子は、基板（１４）に亘って配置された薄膜層のスタック（１８）を備え、該薄膜層は、光の波長よりも長い長さと該光の波長の半分より短い周期とを有する細長い金属要素（２６）のワイヤグリッドアレイ（２２）を備える。これらの層の１つは、基板の屈折率よりも大きい屈折率を有する薄膜層（１８ａ〜１８ｃ）を備える。薄膜層の１つは、非金属要素の誘電アレイ（３８，４６）を備える。 （もっと読む）

【解決手段】
所望の特徴を有する光ビーム（３０、４６，５０，６６，７０、７８、８２）に所望の特徴を提供するための光学システム（１０、１０ｂ、１０ｃ、１０ｄ）及び方法は、光学ユニットを画定する光ビーム（１８、１８ｂ）を生成する光源（１４）を備える。光学素子（２６、６２）は、変更ビーム（３０、６６、７０）を形成するため光学ユニット内に配置され、変更ビームの少なくとも一部分に亘って連続的に遷移する望ましくない特徴（３４、７４）を導入することができる。ワイヤグリッド偏光子（３８）は光学ユニット内に配置され、異なる特徴へと連続的に遷移する少なくとも一部分を有する複数の細長い素子（４２）を有する。ワイヤグリッド偏光子は、実質的に光ビームに亘って所望の特徴を有する光ビームを得るため変更ビームの望ましくない特徴に対応する異なる特徴を有して配置され、方向付けされる。 （もっと読む）

ワイヤ−グリッド偏光子などの偏光デバイス(10)は、偏光デバイスの光学的特性に悪影響を与えない腐食防止剤の実質的な単分子層(24)を含む。この偏光デバイスは、光学素子(14)及びナノ−構造体(16)、たとえば基板(28)に配置された複数の、離れて配置された細長い素子(32)のアレイなどを含むことができる。腐食防止剤は、素子の表面に化学的に結合して単分子層を形成する。この単分子層は100オングストローム未満の厚さである。実質的な単分子層を形成する方法は、アミノホスホネート、たとえばニトリロトリス(メチレン)トリホスホン酸などで偏光デバイスを処理することを含み得る。
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【解決手段】ワイヤ格子偏光ビームスプリッター（１２２）及び空間光変調器（３０）を出力光学経路と整列した状態で取り付けるハウジング（１００）は、照明軸に沿って提供された入射照明を受け入れる開口部を持つ前部プレートを備える。変調器取り付けプレート（１１０）は、照明軸の経路に空間光変調器を取り付けるため前部プレートに平行に間隔を隔てられる。第１及び第２の偏光器支持プレートは前部プレート及び変調器取り付けプレートの間に延在し互いから間隔を隔てられる。第１及び第２の偏光器支持プレートの対面する内側表面の各々は、該表面の間にワイヤ格子偏光ビームスプリッターを支持するための同一平面支持特徴部を提供する。ワイヤ格子偏光ビームスプリッターは対面する内側表面の間で延在し、その表面は変調器取り付けプレート上の前記空間光変調器の表面に対して固定した角度をなし、該固定した角度は、出力光学経路に沿って出力光軸を形成する。 （もっと読む）