反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子
【解決手段】 入射可視又は赤外光(12)を偏光し、反射偏光を選択的に抑制するための反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子(10a−e)は、基体(14)上に配設された少なくとも3つの層(18a−d)を備えている。偏光化ワイヤーグリッド層(18a)は、入射光の波長の半分よりも短い周期を有する平行金属配線(22)の配列を有する。反射抑制層又はグリッドは、可視又は赤外光に対して光学的吸収性を有する、無機的で非誘電性の材料を含んでいる。誘電体層又はグリッド(18b,18d)は、無機的で誘電性の材料を含んでいる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、概して、電磁スペクトルの可視及び赤外領域における使用のような偏光素子の使用に特別な焦点を当て、反射偏光を実質的に抑制する一方、その直交偏光を実質的に透過するように構成された無機的ワイヤーグリッド偏光素子に関する。
【背景技術】
【0002】
光を偏光し、又は光の各直交偏光配向を分離するために、各種の偏光素子又は偏光ビームスプリッター(PBS)が開発されてきている。MacNeilleのPBSは、高屈折率立方体の対角線に沿って設けられた薄膜インターフェースでのブルースター角の振る舞いの達成を基礎としている。かかるMacNeilleのPBSは、収差は発生しないが、許容角が狭く、費用及び重量がかなりのものである。かかる機器は、ガラス及び薄膜の適切な選択により、電磁スペクトルの赤外から可視を介して紫外領域まで機能するように製造することができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
他のタイプの偏光素子は、スペクトルの可視及び赤外部分で利用できるものであり、それには、長鎖重合体偏光素子、ワイヤーグリッド偏光素子、Glan Thompson結晶偏光素子等がある。これらの偏光素子のいくつかは、反射により、光を2つの直交偏光に分離し、他の物は、吸収により光を分離する。前者の例としては、Glan Thompsonタイプ及びWollaston Prism タイプのような水晶偏光素子、MacNeilleプリズムタイプのワイヤーグリッド偏光素子、3M社製造のDBEF偏光素子のようないくつかの重合体反射型偏光素子がある。後者の吸収型では、例として、長鎖重合体“ヨウ素型”偏光素子や、初めにポラロイド社により開発されたKシート及びHシート型偏光素子や、フラットパネル液晶ディスプレイ等に使用されている多くの他のタイプのものがある。
【0004】
一般的に、吸収型偏光素子は、重合体のような有機分子に基づくものであった。注目すべき例外は、Corning社により初めに開発されたPolarcorタイプのものであり、またドイツのCodixx社により提供された類似の製品群である。このタイプの偏光素子は、赤外スペクトルにおいて多くの用途が見出されてきた。そこでは、それらは、コントラスト比及び透過効率においては優れていたが、それはかなり狭い波長帯域に渡ってのみであった。なお、その帯域は、製造プロセスの適切な変更により所望の波長にシフトすることができた。しかしながら、このタイプの偏光素子は、可視光の緑及び青の領域にまで拡げて採用できるものではなかったので、この技術は可視スペクトルに対してほとんど役に立たなかった。
【0005】
このことにより、可視スペクトルにおけるいくつかの応用に沿うよう、1つの偏光を実質的に又は強力には反射しない無機的偏光素子の必要性が公に認められていた。これらの応用の一例は、投影表示装置市場にある。そこでは、スクリーン上の投影画像を生成するために、小型で透過型の液晶表示パネルが使用されている。かかるシステムの光学的設計から、それらのシステムの光路の画像形成部に反射型偏光素子を使用することは困難であった。この困難の理由は少なくとも2つ知られている。第一は、反射して表示パネルに戻ってきた光は、パネル上の駆動回路内のトランジスターを、トランジスター動作を阻害する光電効果により動作不能にしてしまうことが知られているということである。第二の問題は、反射光は、ゴースト画像を形成してしまい、またスクリーン上の画像のコントラストの損失を引き起こすということである。
【0006】
歴史的には、かかる投影表示装置の製造者は、かかる投影表示装置には、重合体ベースの吸収型偏光素子を使用してきた。時代が過ぎて、これらの表示装置がより明るくなると、かかる偏光素子は、システム内の弱点となり、偏光素子の早期故障に関心が集まることとなった。この問題に対処するために、サファイアのような異種の熱伝導性基体材料が使用されてきており、また強制空冷システムが採用されてきて、また許容できるシステム寿命を獲得するために、更なる異種設計により、いくつかの偏光素子が直列に使用され、第一の偏光素子が故障したときは、それは引き続く偏光素子によりマスクされるようになっていた。表示装置市場におけるより明るく、より安価な表示装置への絶え間ない進歩は、上記解決法はもはや実用的ではない時代が直ぐに到来するということを意味している。故に、これらの投影表示システムは、新たな解決策が必要であるということが予想できる。
【0007】
反射を実質的に抑制する一方、その直交偏光を実質的に透過し、青、緑、及び赤の三原色の各々において、約500:1よりも大きい透過コントラストを有し、合理的な許容角を有して垂直入射で機能し、プレートの形態で作製できる無機的偏光素子を開発することが有益であろうことが認識されてきた。加えて、かかる偏光素子が合理的な費用で製造され、それが非常に競争の激しい表示装置市場で応用され得るならば、それは有益であろう。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明は、入射可視又は赤外光を偏光し、反射偏光を選択的に抑制するための反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器を提供する。偏光化ワイヤーグリッド層は、基体の上側に配設され、入射光の波長の半分よりも短い周期を有する平行金属配線の配列を有している。反射抑制層は、基体の上側に配設され、可視又は赤外光に対して光学的吸収性を有する、無機的で非誘電性の材料を含んでいる。誘電体層は、偏光化ワイヤーグリッド層と吸収層の間に配設され、無機的で誘電性の材料を含んでいる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
本発明の更なる特徴及び利点が、添付の図面と共に、以下の詳細な説明から明らかになるであろう。添付図面はいずれも発明の特徴を例示で表すものである。
【図1a】図1aは、本発明の一実施形態による反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の側方断面図である。
【図1b】図1bは、本発明の一実施形態による他の反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の側方断面図である。
【図1c】図1cは、本発明の一実施形態による他の反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の側方断面図である。
【図1d】図1dは、本発明の一実施形態による他の反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の側方断面図である。
【図1e】図1eは、本発明の一実施形態による他の反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の側方断面図である。
【図2a】図2aは、本発明の一実施形態による反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の第一例の側方断面図である。
【図2b】図2bは、図2aの偏光機器の算定性能のグラフであり、波長に対する、p偏光配向の透過率、全反射量比、及びコントラストを示している。
【図3a】図3aは、本発明の一実施形態による反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の第二例の側方断面図である。
【図3b】図3bは、図3aの偏光機器の算定性能のグラフであり、波長に対する、p偏光配向の透過率、全反射量比、及びコントラストを示している。
【図4a】図4aは、本発明の一実施形態による反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の第三例の側方断面図である。
【図4b】図4bは、図4aの偏光機器の算定性能のグラフであり、波長に対する、p偏光配向の透過率、全反射量比、及びコントラストを示している。
【図5a】図5aは、本発明の一実施形態による反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の第四例の側方断面図である。
【図5b】図5bは、図5aの偏光機器の算定性能のグラフであり、波長に対する、p偏光配向の透過率、全反射量比、及びコントラストを示している。
【図6a】図6aは、本発明の一実施形態による反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の第五例の側方断面図である。
【図6b】図6bは、図6aの偏光機器の算定性能のグラフであり、波長に対する、p偏光配向の透過率、全反射量比、及びコントラストを示している。
【0010】
図面内の各種特徴は、明確化のために誇張されている。
【0011】
以下、図面に表された実施形態を参照するが、ここでは、その実施形態を記述するために具体的な言語が使用される。しかしながら、それにより発明の範囲を限定することを意図するものではない、ということが理解されるであろう。
【発明を実施するための形態】
【0012】
定義
語句、誘電体は、ここでは、とりわけ金属酸化物、金属窒化物、金属フッ化物、又は他の同様の材料である非金属光学材料を意味するように使用される。
【0013】
語句、炭素は、ここでは、グラファイト、ガラス状炭素、アモルファス炭素等のような多くの形態のいずれの炭素をも意味するように使用される。
【0014】
語句、非誘電体は、ここでは、炭素及びケイ素を含む金属光学材料を意味するように使用される。
【0015】
説明
ワイヤーグリッド偏光素子は、リアプロジェクション型表示システムのような投影表示システムに対して強化された性能又はコントラストを提供している。加えて、ワイヤーグリッド偏光素子の導電性配線は、光を吸収して温度上昇することが認識されている。更に、多層延伸膜偏光素子は、その性能特性は望ましいものであるものの、光を吸収することから、多くの応用において耐性がなく、信頼性に欠ける、ということが認識されている。
【0016】
図1a乃至1eに描かれているように、無機的反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子が、本発明による一実施形態において、一般記号10a−eで示されている。その偏光素子は、入射可視又は赤外光12を偏光し、一偏光30(p偏光配向のような)を透過し、反射偏光34(s偏光配向のような)を選択的に抑制する(Xで示す)。偏光素子10は、基体14の上側に配設され、それにより担持される膜層18a−dのスタックを有している。基体14は、BK7ガラス又は石英ガラスのような無機的で誘電性の材料で形成されている。加えて、膜層、つまりスタックは、無機的材料で形成されている。ワイヤーグリッド偏光素子の膜層のスタックは、少なくとも3つの層、すなわち、偏光化層18a、反射抑制層18c、並びに偏光化及び反射抑制層を分け隔てる誘電体層18bを含んでいる。加えて、第四の層、つまり第二誘電体層18dが、偏光化又は反射抑制層の一方により、第一誘電体層18bから分離されていてもよい。更に、各層の1つ以上は、不連続になって構造性複屈折層を形成している。
【0017】
偏光化層18aは、偏光化ワイヤーグリッドであり、入射光12の波長の半分よりも短い周期Pを有する平行金属配線22の配列を有している。その配線(ワイヤー)は、導電性材料で形成されている。ある面では、配線は、図1a乃至1eに示すように、アルミナALで形成されている。他の面では、配線は、銀で形成されている。可視光での応用については、又は可視光が偏光素子に入射するとき、ワイヤーグリッドの配線22の配列の周期Pは、350nm未満である。他の面では、周期は、可視光での応用に対して200nm未満である。他の面では、周期は、可視光での応用に対して120nm未満である。周期を短くすると、性能が向上することが分かっている。赤外での応用については、又は赤外光が偏光素子に入射するとき、ワイヤーグリッドの配線22の配列の周期Pは、500nm未満である。加えて、配線は、入射光の波長よりも長い。また、配線は、ピッチ又は周期の10から90%の範囲の幅wを有している。また、配線は、光の波長よりも短い、つまり、可視光の応用については、400nm(0.4μm)よりも短い厚さ又は高さを有している。ある面では、その厚さは、可視光の応用に対して0.2μmよりも短い。
【0018】
誘電体層18b(d)は、誘電体グリッドであり、無機的で誘電性を有する材料を含んでいる。誘電性材料は、少なくとも可視又は赤外についての応用のそれぞれの可視又は赤外スペクトル領域で、光学的透過性を有する。ある面では、誘電体層の誘電性材料は、二酸化ケイ素(SiO2)である。誘電体層は、不連続であって、ギャップにより離れた平行リブ38の配列により構造性複屈折層又は誘電体グリッド36を形成している。誘電体層のリブ38は、ワイヤーグリッドの配線と同じ周期を有しており、ワイヤーグリッドの配線と揃っている。加えて、各誘電体層の1つ以上は、偏光化層に隣接して配設されている。
【0019】
反射抑制膜18cは、可視又は赤外光に対して光学的吸収性を有する、無機的で非誘電性の材料を含んでいる。ある面では、光学的吸収性材料は、炭素又はケイ素、又はワイヤーグリッドの配線の金属とは異なる金属である。従って、機器に対する入射光は、2つの偏光に分離され、その一方は、いくらかエネルギーの反射はあるものの概ね吸収され(例えばs偏光配向)、その他方は、いくらかの量のエネルギーの吸収はあるものの概ね透過される(例えばp偏光配向)。加えて、反射抑制層は、不連続であり、平行リブ28の配列により反射抑制グリッドを形成している。
【0020】
従って、偏光素子10a−dに入射する入射可視又は赤外光ビーム12は、2つの直交偏光配向に分離され、s偏光配向(リブの長さ方向に対して平行に向いた偏光配向)を有する光は、いくらかエネルギーは反射するもののほとんどが吸収され、p偏光配向(リブの長さ方向に対して垂直に向いた偏光配向)を有する光は、いくらかの量のエネルギーの吸収はあるものの概ね透過又は通過する。(勿論、その分離又はそれらの2つの偏光は、完全ではなく、反射及び/又は透過のいずれにも、損失又はいくらかの望まれない偏光配向があるということは理解される。)加えて、光の波長の約半分よりも短いピッチを有するリブの配列又はグリッドは、(光の波長の約半分よりも長いピッチを有する)回折格子のようには振舞わない、ということに注目されるであろう。従って、グリッド偏光素子は、回折を回避する。更に、かかる周期は、また、共鳴効果又は他の光学的変則を排除すると信じられている。
【0021】
図1aを参照すると、無機的反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10aは、偏光化ワイヤーグリッド層18aの上側に配設された反射抑制層18cで構成されている。第一誘電体層18bは、偏光化及び反射抑制層を分け隔てている。第二誘電体層18bが、反射抑制層18cの上側に配設されている。全ての層18a−dは不連続である。その機器は、それらの各種層を配設し、それらにエッチングを施して配線及びリブを形成することにより、製造される。誘電体グリッドの誘電体リブ38、反射抑制グリッドの非誘電体リブ28、及びワイヤーグリッドの配線22は、揃っており、同じ周期を有している。
【0022】
図1bを参照すると、無機的反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10bは、上述のものと類似であるが、基体14b内に形成され、その上の各層の配線及びリブを支持する複数のリブ54を備えている。そのリブは、エッチングが基体内に更に進められて得られたトラフ50により形成されている。そのリブは、基体と配線の間の他の誘電体層を形成している。
【0023】
図1cを参照すると、無機的反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10bは、図1aの上述のものと類似であるが、スタックの層が逆になっており、偏光化ワイヤーグリッド層18aが、反射抑制層18cの上側に配設されている。
【0024】
図1dを参照すると、無機的反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10bは、図1bの上述のものと類似であるが、スタックの層が逆になっており、偏光化ワイヤーグリッド層18aが、反射抑制層18cの上側に配設されている。
【0025】
図1eを参照すると、無機的反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10bは、図1aの上述のものと類似であるが、基体とワイヤーグリッドの配線との間に配設された1つ以上の連続層を更に備え、反射防止被膜を形成しているか、又は他の光学的目的を達成している。
【0026】
加えて、各層の厚さは、所望のスペクトル範囲に対して光学的性能(透過効率及びコントラスト比)を最適化するように製造される。故に、図に示された各厚さは同じであるが、それらは異なっていてもよいことに注意すべきである。スタックは、4つの膜層18a−dで示されているが、スタックの膜層の数は、可変である。
【0027】
図1a−dに示すように、膜層の全ては不連続であり、平行リブ又は配線の配列を形成している。リブ又は配線は、介在する溝34又はトラフにより分けられている。この場合、溝34は、膜層18a−dを貫いて、基体22まで、又は更に基体22の内部まで延びている。後に議論するように、かかる構成は、製造し易い。
【0028】
溝34は、空気(n=1)で満たされていても満たされていなくてもよい。あるいは、溝34は、入射光に関して光学的透過性を有する材料で満たされていてもよい。
【0029】
膜層の複屈折特性と、隣接膜層の異なる屈折率により、そのグリッド偏光素子は、入射光の偏光配向を実質的に分離し、s偏光配向を実質的に吸収して反射し、p偏光配向を、僅かな量の吸収はあるものの実質的に透過又は通過させる、と信じられる。加えて、各層の少なくとも1つが、入射UV光に対して強い吸収性を有する限り、膜層の層数、膜層の厚さ、膜層の屈折率は、グリッド偏光素子の性能特性を可変にするよう調整できる、と信じられる。
【0030】
偏光素子10a−dを製造する方法は、基体14を獲得する、又は提供することを含む。上述のように、基体14は、BK7ガラス又は石英ガラスである。全ての様相において、基体は、電磁照射の所望の波長に対して透過性を有するようなものが選択される。基体は、洗浄され、その他準備される。各層は、基体上に連続的に形成される。各層は、当該技術分野で知られている蒸着、化学気相成長法、スピンコート等により形成される。連続層は、平行リブ又は配線の配列で不連続層を作りだして、少なくとも1つの構造性複屈折層を規定するようにパターン化されている。加えて、全ての連続層が、全ての不連続層を作りだすようにパターン化されている。各層は、当該技術分野で知られているエッチング等によりパターン化される。
【実施例1】
【0031】
図2aを参照すると、赤外スペクトルにおいて使用されるように構成された反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10fの第一非限定例が示されている。
【0032】
偏光素子10fは、基体14に配設された4つの層を有している。そららは、偏光化層18a、反射抑制層18c、その偏光化及び反射抑制層を分け隔てる誘電体層18b、並びに、反射抑制層により第一誘電体層18bから分け隔てられた第二誘電体層18dである。基体は、BK7ガラス等のガラスである。第一層又は偏光化層18aは、基体上に配設されている。偏光化層18aは、アルミナ(AL)で形成された、144nmの周期Pを有する平行金属配線22の配列である。偏光化層18aは、77nmの厚さを有している。反射抑制層18cは、ケイ化ニオビウム(NbSi;1550nmにおいて、n≒3.8、k≒2.90)で形成され、50nmの厚さを有している。第一及び第二誘電体層18b及び18dは、二酸化ケイ素(SiO2)で形成され、各々160nmの厚さを有している。全ての層は不連続であり、構造性複屈折層を形成している。周期Pは、144nmであり、0.425のデューティー比(DC)、又は周期に対するリブ幅の比を有し、つまり幅は概ね61nmである。ケイ化ニオビウム材料が、入射光に対する、その光学的指標及び光学的吸収特性により、選択されてきた。偏光素子は、光のいずれの偏光配向も反射することなく、p偏光配向を透過するようになる。
【0033】
図2bを参照すると、偏光素子10fの赤外スペクトルにおける算出性能を示されている。この偏光素子は、実質的に何ら反射することなく、光のp偏光配向に対して、高い透過性(概ね95%)を有していることが分かる。加えて、その偏光素子は、概ね1000のコントラスト比を有している。
【実施例2】
【0034】
図3aを参照すると、可視スペクトルにおいて使用されるように構成された反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10gの第二非限定例が示されている。
【0035】
偏光素子10gは、基体14に配設された4つの層を有している。そららは、偏光化層18a、反射抑制層18c、その偏光化及び反射抑制層を分け隔てる誘電体層18b、並びに、反射抑制層により第一誘電体層18bから分け隔てられた第二誘電体層18dである。基体は、BK7ガラス等のガラスである。第一層又は偏光化層18aは、基体上に配設されている。偏光化層18aは、アルミナ(AL)で形成された、144nmの周期Pを有する平行金属配線22の配列である。偏光化層18aは、170nmの厚さを有している。反射抑制層18cは、ケイ素(Si;550nmにおいて、n≒4.85、k≒0.8632)で形成され、12nmの厚さを有している。第一及び第二誘電体層18b及び18dは、二酸化ケイ素(SiO2)で形成され、それぞれ22nmと5nmの厚さを有している。全ての層は不連続であり、構造性複屈折層を形成している。周期Pは、144nmであり、0.45のデューティー比(DC)、又は周期に対するリブ幅の比を有し、つまり幅は概ね67nmである。ケイ素材料が、入射光に対する、その光学的指標及び光学的吸収特性により、選択されてきた。偏光素子は、光のいずれの偏光配向も反射することなく、p偏光配向を透過するようになる。
【0036】
図3bを参照すると、偏光素子10gの可視スペクトルにおける算出性能を示されている。この偏光素子は、僅かに反射するものの、光のp偏光配向に対して、高い透過性(概ね80%)を有していることが分かる。加えて、その偏光素子は、可視スペクトルの範囲で16,000を超えるコントラスト比を有している。
【実施例3】
【0037】
図4aを参照すると、可視スペクトルにおいて使用されるように構成された反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10hの第三非限定例が示されている。
【0038】
偏光素子10hは、基体14に配設された4つの層を有している。そららは、偏光化層18a、反射抑制層18c、その偏光化及び反射抑制層を分け隔てる誘電体層18b、並びに、反射抑制層により第一誘電体層18bから分け隔てられた第二誘電体層18dである。基体は、BK7ガラス等のガラスである。第一層又は偏光化層18aは、基体上に配設されている。偏光化層18aは、アルミナ(AL)で形成された、144nmの周期Pを有する平行金属配線22の配列である。偏光化層18aは、170nmの厚さを有している。反射抑制層18cは、タンタル(Ta;550nmにおいて、n≒2.95、k≒3.52)で形成され、13nmの厚さを有している。第一及び第二誘電体層18b及び18dは、二酸化ケイ素(SiO2)で形成され、それぞれ79nm及び67nmの厚さを有している。全ての層は不連続であり、構造性複屈折層を形成している。周期Pは、144nmであり、0.45のデューティー比(DC)、又は周期に対するリブ幅の比を有し、つまり幅は概ね67nmである。タンタル材料が、入射光に対する、その光学的指標及び光学的吸収特性により、選択されてきた。偏光素子は、光のいずれの偏光配向も反射することなく、p偏光配向を透過するようになる。
【0039】
図4bを参照すると、偏光素子10hの可視スペクトルにおける算出性能を示されている。この偏光素子は、実質的に何ら反射することなく、光のp偏光配向に対して、高い透過性(概ね70%)を有していることが分かる。加えて、その偏光素子は、可視スペクトルの範囲で20,000を超えるコントラスト比を有している。
【実施例4】
【0040】
図5aを参照すると、赤外スペクトルにおいて使用されるように構成された反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10iの第四非限定例が示されている。
【0041】
偏光素子10iは、基体14に配設された4つの層を有している。そららは、偏光化層18a、反射抑制層18c、その偏光化及び反射抑制層を分け隔てる誘電体層18b、並びに、反射抑制層により第一誘電体層18bから分け隔てられた第二誘電体層18dである。基体は、BK7ガラス等のガラスである。第一層又は偏光化層18aは、基体上に配設されている。偏光化層18aは、アルミナ(AL)で形成された、144nmの周期Pを有する平行金属配線22の配列である。偏光化層18aは、80nmの厚さを有している。反射抑制層18cは、炭素(C;1550nmにおいて、n≒3.34、k≒1.6299)で形成され、107nmの厚さを有している。第一及び第二誘電体層18b及び18dは、二酸化ケイ素(SiO2)で形成され、それぞれ44nm及び67nmの厚さを有している。全ての層は不連続であり、構造性複屈折層を形成している。周期Pは、144nmであり、0.45のデューティー比(DC)、又は周期に対するリブ幅の比を有し、つまり幅は概ね67nmである。炭素材料が、入射光に対する、その光学的指標及び光学的吸収特性により、選択されてきた。偏光素子は、光のいずれの偏光配向も反射することなく、p偏光配向を透過するようになる。
【0042】
図5bを参照すると、偏光素子10iの赤外スペクトルにおける算出性能を示されている。この偏光素子は、僅かに反射するものの、光のp偏光配向に対して、高い透過性(概ね90%)を有していることが分かる。加えて、その偏光素子は、赤外スペクトルの範囲で800を超えるコントラスト比を有している。
【実施例5】
【0043】
図6aを参照すると、可視スペクトルにおいて使用されるように構成された反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10jの第五非限定例が示されている。
【0044】
偏光素子10jは、基体14に配設された4つの層を有している。そららは、偏光化層18a、反射抑制層18c、その偏光化及び反射抑制層を分け隔てる誘電体層18b、並びに、反射抑制層により第一誘電体層18bから分け隔てられた第二誘電体層18dである。基体は、BK7ガラス等のガラスである。第一層又は偏光化層18aは、基体上に配設されている。偏光化層18aは、アルミナ(AL)で形成された、144nmの周期Pを有する平行金属配線22の配列である。偏光化層18aは、1550nmの厚さを有している。反射抑制層18cは、炭素(C;550nmにおいて、n≒2.35、k≒0.8344)で形成され、48nmの厚さを有している。第一及び第二誘電体層18b及び18dは、二酸化ケイ素(SiO2)で形成され、それぞれ20nm及び30nmの厚さを有している。全ての層は不連続であり、構造性複屈折層を形成している。周期Pは、144nmであり、0.45のデューティー比(DC)、又は周期に対するリブ幅の比を有し、つまり幅は概ね67nmである。炭素材料が、入射光に対する、その光学的指標及び光学的吸収特性により、選択されてきた。偏光素子は、光のいずれの偏光配向も反射することなく、p偏光配向を透過するようになる。
【0045】
図6bを参照すると、偏光素子10jの可視スペクトルにおける算出性能を示されている。この偏光素子は、実質的に何ら反射することなく、光のp偏光配向に対して、高い透過性(可視スペクトルの範囲で概ね60%を超え、最高80%である)を有していることが分かる。加えて、その偏光素子は、可視スペクトルの範囲で8,000を超えるコントラスト比を有している。
【0046】
いろいろな様相のワイヤーグリッド偏光素子、光学縦列及び/又は投影/表示システムが、米国特許第5,986,730号;第6,081,376号;第6,122,103号;第6,208,463号;第6,243,199号;第6,288,840号;第6,348,995号;第6,108,131号;第6,452,724号;第6,710,921号;第6,234,634号;第6,447,120号;及び第6,666,556号に示されており、それらをここに援用する。
【0047】
以上の例は、1つ以上の特定の応用領域における、本発明の原理の例証であるが、当業者であれば、実施化における形態、利用法及び詳細について多数の変形態様を、発明的能力の訓練なくして、また発明の原理及びコンセプトから外れることなく、作り上げることができるということは自明であろう。しかして、発明は、以下に規定された請求の範囲以外のものにより限定されることは意図されていない。
【技術分野】
【0001】
本発明は、概して、電磁スペクトルの可視及び赤外領域における使用のような偏光素子の使用に特別な焦点を当て、反射偏光を実質的に抑制する一方、その直交偏光を実質的に透過するように構成された無機的ワイヤーグリッド偏光素子に関する。
【背景技術】
【0002】
光を偏光し、又は光の各直交偏光配向を分離するために、各種の偏光素子又は偏光ビームスプリッター(PBS)が開発されてきている。MacNeilleのPBSは、高屈折率立方体の対角線に沿って設けられた薄膜インターフェースでのブルースター角の振る舞いの達成を基礎としている。かかるMacNeilleのPBSは、収差は発生しないが、許容角が狭く、費用及び重量がかなりのものである。かかる機器は、ガラス及び薄膜の適切な選択により、電磁スペクトルの赤外から可視を介して紫外領域まで機能するように製造することができる。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
他のタイプの偏光素子は、スペクトルの可視及び赤外部分で利用できるものであり、それには、長鎖重合体偏光素子、ワイヤーグリッド偏光素子、Glan Thompson結晶偏光素子等がある。これらの偏光素子のいくつかは、反射により、光を2つの直交偏光に分離し、他の物は、吸収により光を分離する。前者の例としては、Glan Thompsonタイプ及びWollaston Prism タイプのような水晶偏光素子、MacNeilleプリズムタイプのワイヤーグリッド偏光素子、3M社製造のDBEF偏光素子のようないくつかの重合体反射型偏光素子がある。後者の吸収型では、例として、長鎖重合体“ヨウ素型”偏光素子や、初めにポラロイド社により開発されたKシート及びHシート型偏光素子や、フラットパネル液晶ディスプレイ等に使用されている多くの他のタイプのものがある。
【0004】
一般的に、吸収型偏光素子は、重合体のような有機分子に基づくものであった。注目すべき例外は、Corning社により初めに開発されたPolarcorタイプのものであり、またドイツのCodixx社により提供された類似の製品群である。このタイプの偏光素子は、赤外スペクトルにおいて多くの用途が見出されてきた。そこでは、それらは、コントラスト比及び透過効率においては優れていたが、それはかなり狭い波長帯域に渡ってのみであった。なお、その帯域は、製造プロセスの適切な変更により所望の波長にシフトすることができた。しかしながら、このタイプの偏光素子は、可視光の緑及び青の領域にまで拡げて採用できるものではなかったので、この技術は可視スペクトルに対してほとんど役に立たなかった。
【0005】
このことにより、可視スペクトルにおけるいくつかの応用に沿うよう、1つの偏光を実質的に又は強力には反射しない無機的偏光素子の必要性が公に認められていた。これらの応用の一例は、投影表示装置市場にある。そこでは、スクリーン上の投影画像を生成するために、小型で透過型の液晶表示パネルが使用されている。かかるシステムの光学的設計から、それらのシステムの光路の画像形成部に反射型偏光素子を使用することは困難であった。この困難の理由は少なくとも2つ知られている。第一は、反射して表示パネルに戻ってきた光は、パネル上の駆動回路内のトランジスターを、トランジスター動作を阻害する光電効果により動作不能にしてしまうことが知られているということである。第二の問題は、反射光は、ゴースト画像を形成してしまい、またスクリーン上の画像のコントラストの損失を引き起こすということである。
【0006】
歴史的には、かかる投影表示装置の製造者は、かかる投影表示装置には、重合体ベースの吸収型偏光素子を使用してきた。時代が過ぎて、これらの表示装置がより明るくなると、かかる偏光素子は、システム内の弱点となり、偏光素子の早期故障に関心が集まることとなった。この問題に対処するために、サファイアのような異種の熱伝導性基体材料が使用されてきており、また強制空冷システムが採用されてきて、また許容できるシステム寿命を獲得するために、更なる異種設計により、いくつかの偏光素子が直列に使用され、第一の偏光素子が故障したときは、それは引き続く偏光素子によりマスクされるようになっていた。表示装置市場におけるより明るく、より安価な表示装置への絶え間ない進歩は、上記解決法はもはや実用的ではない時代が直ぐに到来するということを意味している。故に、これらの投影表示システムは、新たな解決策が必要であるということが予想できる。
【0007】
反射を実質的に抑制する一方、その直交偏光を実質的に透過し、青、緑、及び赤の三原色の各々において、約500:1よりも大きい透過コントラストを有し、合理的な許容角を有して垂直入射で機能し、プレートの形態で作製できる無機的偏光素子を開発することが有益であろうことが認識されてきた。加えて、かかる偏光素子が合理的な費用で製造され、それが非常に競争の激しい表示装置市場で応用され得るならば、それは有益であろう。
【課題を解決するための手段】
【0008】
本発明は、入射可視又は赤外光を偏光し、反射偏光を選択的に抑制するための反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器を提供する。偏光化ワイヤーグリッド層は、基体の上側に配設され、入射光の波長の半分よりも短い周期を有する平行金属配線の配列を有している。反射抑制層は、基体の上側に配設され、可視又は赤外光に対して光学的吸収性を有する、無機的で非誘電性の材料を含んでいる。誘電体層は、偏光化ワイヤーグリッド層と吸収層の間に配設され、無機的で誘電性の材料を含んでいる。
【図面の簡単な説明】
【0009】
本発明の更なる特徴及び利点が、添付の図面と共に、以下の詳細な説明から明らかになるであろう。添付図面はいずれも発明の特徴を例示で表すものである。
【図1a】図1aは、本発明の一実施形態による反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の側方断面図である。
【図1b】図1bは、本発明の一実施形態による他の反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の側方断面図である。
【図1c】図1cは、本発明の一実施形態による他の反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の側方断面図である。
【図1d】図1dは、本発明の一実施形態による他の反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の側方断面図である。
【図1e】図1eは、本発明の一実施形態による他の反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の側方断面図である。
【図2a】図2aは、本発明の一実施形態による反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の第一例の側方断面図である。
【図2b】図2bは、図2aの偏光機器の算定性能のグラフであり、波長に対する、p偏光配向の透過率、全反射量比、及びコントラストを示している。
【図3a】図3aは、本発明の一実施形態による反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の第二例の側方断面図である。
【図3b】図3bは、図3aの偏光機器の算定性能のグラフであり、波長に対する、p偏光配向の透過率、全反射量比、及びコントラストを示している。
【図4a】図4aは、本発明の一実施形態による反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の第三例の側方断面図である。
【図4b】図4bは、図4aの偏光機器の算定性能のグラフであり、波長に対する、p偏光配向の透過率、全反射量比、及びコントラストを示している。
【図5a】図5aは、本発明の一実施形態による反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の第四例の側方断面図である。
【図5b】図5bは、図5aの偏光機器の算定性能のグラフであり、波長に対する、p偏光配向の透過率、全反射量比、及びコントラストを示している。
【図6a】図6aは、本発明の一実施形態による反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器の第五例の側方断面図である。
【図6b】図6bは、図6aの偏光機器の算定性能のグラフであり、波長に対する、p偏光配向の透過率、全反射量比、及びコントラストを示している。
【0010】
図面内の各種特徴は、明確化のために誇張されている。
【0011】
以下、図面に表された実施形態を参照するが、ここでは、その実施形態を記述するために具体的な言語が使用される。しかしながら、それにより発明の範囲を限定することを意図するものではない、ということが理解されるであろう。
【発明を実施するための形態】
【0012】
定義
語句、誘電体は、ここでは、とりわけ金属酸化物、金属窒化物、金属フッ化物、又は他の同様の材料である非金属光学材料を意味するように使用される。
【0013】
語句、炭素は、ここでは、グラファイト、ガラス状炭素、アモルファス炭素等のような多くの形態のいずれの炭素をも意味するように使用される。
【0014】
語句、非誘電体は、ここでは、炭素及びケイ素を含む金属光学材料を意味するように使用される。
【0015】
説明
ワイヤーグリッド偏光素子は、リアプロジェクション型表示システムのような投影表示システムに対して強化された性能又はコントラストを提供している。加えて、ワイヤーグリッド偏光素子の導電性配線は、光を吸収して温度上昇することが認識されている。更に、多層延伸膜偏光素子は、その性能特性は望ましいものであるものの、光を吸収することから、多くの応用において耐性がなく、信頼性に欠ける、ということが認識されている。
【0016】
図1a乃至1eに描かれているように、無機的反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子が、本発明による一実施形態において、一般記号10a−eで示されている。その偏光素子は、入射可視又は赤外光12を偏光し、一偏光30(p偏光配向のような)を透過し、反射偏光34(s偏光配向のような)を選択的に抑制する(Xで示す)。偏光素子10は、基体14の上側に配設され、それにより担持される膜層18a−dのスタックを有している。基体14は、BK7ガラス又は石英ガラスのような無機的で誘電性の材料で形成されている。加えて、膜層、つまりスタックは、無機的材料で形成されている。ワイヤーグリッド偏光素子の膜層のスタックは、少なくとも3つの層、すなわち、偏光化層18a、反射抑制層18c、並びに偏光化及び反射抑制層を分け隔てる誘電体層18bを含んでいる。加えて、第四の層、つまり第二誘電体層18dが、偏光化又は反射抑制層の一方により、第一誘電体層18bから分離されていてもよい。更に、各層の1つ以上は、不連続になって構造性複屈折層を形成している。
【0017】
偏光化層18aは、偏光化ワイヤーグリッドであり、入射光12の波長の半分よりも短い周期Pを有する平行金属配線22の配列を有している。その配線(ワイヤー)は、導電性材料で形成されている。ある面では、配線は、図1a乃至1eに示すように、アルミナALで形成されている。他の面では、配線は、銀で形成されている。可視光での応用については、又は可視光が偏光素子に入射するとき、ワイヤーグリッドの配線22の配列の周期Pは、350nm未満である。他の面では、周期は、可視光での応用に対して200nm未満である。他の面では、周期は、可視光での応用に対して120nm未満である。周期を短くすると、性能が向上することが分かっている。赤外での応用については、又は赤外光が偏光素子に入射するとき、ワイヤーグリッドの配線22の配列の周期Pは、500nm未満である。加えて、配線は、入射光の波長よりも長い。また、配線は、ピッチ又は周期の10から90%の範囲の幅wを有している。また、配線は、光の波長よりも短い、つまり、可視光の応用については、400nm(0.4μm)よりも短い厚さ又は高さを有している。ある面では、その厚さは、可視光の応用に対して0.2μmよりも短い。
【0018】
誘電体層18b(d)は、誘電体グリッドであり、無機的で誘電性を有する材料を含んでいる。誘電性材料は、少なくとも可視又は赤外についての応用のそれぞれの可視又は赤外スペクトル領域で、光学的透過性を有する。ある面では、誘電体層の誘電性材料は、二酸化ケイ素(SiO2)である。誘電体層は、不連続であって、ギャップにより離れた平行リブ38の配列により構造性複屈折層又は誘電体グリッド36を形成している。誘電体層のリブ38は、ワイヤーグリッドの配線と同じ周期を有しており、ワイヤーグリッドの配線と揃っている。加えて、各誘電体層の1つ以上は、偏光化層に隣接して配設されている。
【0019】
反射抑制膜18cは、可視又は赤外光に対して光学的吸収性を有する、無機的で非誘電性の材料を含んでいる。ある面では、光学的吸収性材料は、炭素又はケイ素、又はワイヤーグリッドの配線の金属とは異なる金属である。従って、機器に対する入射光は、2つの偏光に分離され、その一方は、いくらかエネルギーの反射はあるものの概ね吸収され(例えばs偏光配向)、その他方は、いくらかの量のエネルギーの吸収はあるものの概ね透過される(例えばp偏光配向)。加えて、反射抑制層は、不連続であり、平行リブ28の配列により反射抑制グリッドを形成している。
【0020】
従って、偏光素子10a−dに入射する入射可視又は赤外光ビーム12は、2つの直交偏光配向に分離され、s偏光配向(リブの長さ方向に対して平行に向いた偏光配向)を有する光は、いくらかエネルギーは反射するもののほとんどが吸収され、p偏光配向(リブの長さ方向に対して垂直に向いた偏光配向)を有する光は、いくらかの量のエネルギーの吸収はあるものの概ね透過又は通過する。(勿論、その分離又はそれらの2つの偏光は、完全ではなく、反射及び/又は透過のいずれにも、損失又はいくらかの望まれない偏光配向があるということは理解される。)加えて、光の波長の約半分よりも短いピッチを有するリブの配列又はグリッドは、(光の波長の約半分よりも長いピッチを有する)回折格子のようには振舞わない、ということに注目されるであろう。従って、グリッド偏光素子は、回折を回避する。更に、かかる周期は、また、共鳴効果又は他の光学的変則を排除すると信じられている。
【0021】
図1aを参照すると、無機的反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10aは、偏光化ワイヤーグリッド層18aの上側に配設された反射抑制層18cで構成されている。第一誘電体層18bは、偏光化及び反射抑制層を分け隔てている。第二誘電体層18bが、反射抑制層18cの上側に配設されている。全ての層18a−dは不連続である。その機器は、それらの各種層を配設し、それらにエッチングを施して配線及びリブを形成することにより、製造される。誘電体グリッドの誘電体リブ38、反射抑制グリッドの非誘電体リブ28、及びワイヤーグリッドの配線22は、揃っており、同じ周期を有している。
【0022】
図1bを参照すると、無機的反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10bは、上述のものと類似であるが、基体14b内に形成され、その上の各層の配線及びリブを支持する複数のリブ54を備えている。そのリブは、エッチングが基体内に更に進められて得られたトラフ50により形成されている。そのリブは、基体と配線の間の他の誘電体層を形成している。
【0023】
図1cを参照すると、無機的反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10bは、図1aの上述のものと類似であるが、スタックの層が逆になっており、偏光化ワイヤーグリッド層18aが、反射抑制層18cの上側に配設されている。
【0024】
図1dを参照すると、無機的反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10bは、図1bの上述のものと類似であるが、スタックの層が逆になっており、偏光化ワイヤーグリッド層18aが、反射抑制層18cの上側に配設されている。
【0025】
図1eを参照すると、無機的反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10bは、図1aの上述のものと類似であるが、基体とワイヤーグリッドの配線との間に配設された1つ以上の連続層を更に備え、反射防止被膜を形成しているか、又は他の光学的目的を達成している。
【0026】
加えて、各層の厚さは、所望のスペクトル範囲に対して光学的性能(透過効率及びコントラスト比)を最適化するように製造される。故に、図に示された各厚さは同じであるが、それらは異なっていてもよいことに注意すべきである。スタックは、4つの膜層18a−dで示されているが、スタックの膜層の数は、可変である。
【0027】
図1a−dに示すように、膜層の全ては不連続であり、平行リブ又は配線の配列を形成している。リブ又は配線は、介在する溝34又はトラフにより分けられている。この場合、溝34は、膜層18a−dを貫いて、基体22まで、又は更に基体22の内部まで延びている。後に議論するように、かかる構成は、製造し易い。
【0028】
溝34は、空気(n=1)で満たされていても満たされていなくてもよい。あるいは、溝34は、入射光に関して光学的透過性を有する材料で満たされていてもよい。
【0029】
膜層の複屈折特性と、隣接膜層の異なる屈折率により、そのグリッド偏光素子は、入射光の偏光配向を実質的に分離し、s偏光配向を実質的に吸収して反射し、p偏光配向を、僅かな量の吸収はあるものの実質的に透過又は通過させる、と信じられる。加えて、各層の少なくとも1つが、入射UV光に対して強い吸収性を有する限り、膜層の層数、膜層の厚さ、膜層の屈折率は、グリッド偏光素子の性能特性を可変にするよう調整できる、と信じられる。
【0030】
偏光素子10a−dを製造する方法は、基体14を獲得する、又は提供することを含む。上述のように、基体14は、BK7ガラス又は石英ガラスである。全ての様相において、基体は、電磁照射の所望の波長に対して透過性を有するようなものが選択される。基体は、洗浄され、その他準備される。各層は、基体上に連続的に形成される。各層は、当該技術分野で知られている蒸着、化学気相成長法、スピンコート等により形成される。連続層は、平行リブ又は配線の配列で不連続層を作りだして、少なくとも1つの構造性複屈折層を規定するようにパターン化されている。加えて、全ての連続層が、全ての不連続層を作りだすようにパターン化されている。各層は、当該技術分野で知られているエッチング等によりパターン化される。
【実施例1】
【0031】
図2aを参照すると、赤外スペクトルにおいて使用されるように構成された反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10fの第一非限定例が示されている。
【0032】
偏光素子10fは、基体14に配設された4つの層を有している。そららは、偏光化層18a、反射抑制層18c、その偏光化及び反射抑制層を分け隔てる誘電体層18b、並びに、反射抑制層により第一誘電体層18bから分け隔てられた第二誘電体層18dである。基体は、BK7ガラス等のガラスである。第一層又は偏光化層18aは、基体上に配設されている。偏光化層18aは、アルミナ(AL)で形成された、144nmの周期Pを有する平行金属配線22の配列である。偏光化層18aは、77nmの厚さを有している。反射抑制層18cは、ケイ化ニオビウム(NbSi;1550nmにおいて、n≒3.8、k≒2.90)で形成され、50nmの厚さを有している。第一及び第二誘電体層18b及び18dは、二酸化ケイ素(SiO2)で形成され、各々160nmの厚さを有している。全ての層は不連続であり、構造性複屈折層を形成している。周期Pは、144nmであり、0.425のデューティー比(DC)、又は周期に対するリブ幅の比を有し、つまり幅は概ね61nmである。ケイ化ニオビウム材料が、入射光に対する、その光学的指標及び光学的吸収特性により、選択されてきた。偏光素子は、光のいずれの偏光配向も反射することなく、p偏光配向を透過するようになる。
【0033】
図2bを参照すると、偏光素子10fの赤外スペクトルにおける算出性能を示されている。この偏光素子は、実質的に何ら反射することなく、光のp偏光配向に対して、高い透過性(概ね95%)を有していることが分かる。加えて、その偏光素子は、概ね1000のコントラスト比を有している。
【実施例2】
【0034】
図3aを参照すると、可視スペクトルにおいて使用されるように構成された反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10gの第二非限定例が示されている。
【0035】
偏光素子10gは、基体14に配設された4つの層を有している。そららは、偏光化層18a、反射抑制層18c、その偏光化及び反射抑制層を分け隔てる誘電体層18b、並びに、反射抑制層により第一誘電体層18bから分け隔てられた第二誘電体層18dである。基体は、BK7ガラス等のガラスである。第一層又は偏光化層18aは、基体上に配設されている。偏光化層18aは、アルミナ(AL)で形成された、144nmの周期Pを有する平行金属配線22の配列である。偏光化層18aは、170nmの厚さを有している。反射抑制層18cは、ケイ素(Si;550nmにおいて、n≒4.85、k≒0.8632)で形成され、12nmの厚さを有している。第一及び第二誘電体層18b及び18dは、二酸化ケイ素(SiO2)で形成され、それぞれ22nmと5nmの厚さを有している。全ての層は不連続であり、構造性複屈折層を形成している。周期Pは、144nmであり、0.45のデューティー比(DC)、又は周期に対するリブ幅の比を有し、つまり幅は概ね67nmである。ケイ素材料が、入射光に対する、その光学的指標及び光学的吸収特性により、選択されてきた。偏光素子は、光のいずれの偏光配向も反射することなく、p偏光配向を透過するようになる。
【0036】
図3bを参照すると、偏光素子10gの可視スペクトルにおける算出性能を示されている。この偏光素子は、僅かに反射するものの、光のp偏光配向に対して、高い透過性(概ね80%)を有していることが分かる。加えて、その偏光素子は、可視スペクトルの範囲で16,000を超えるコントラスト比を有している。
【実施例3】
【0037】
図4aを参照すると、可視スペクトルにおいて使用されるように構成された反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10hの第三非限定例が示されている。
【0038】
偏光素子10hは、基体14に配設された4つの層を有している。そららは、偏光化層18a、反射抑制層18c、その偏光化及び反射抑制層を分け隔てる誘電体層18b、並びに、反射抑制層により第一誘電体層18bから分け隔てられた第二誘電体層18dである。基体は、BK7ガラス等のガラスである。第一層又は偏光化層18aは、基体上に配設されている。偏光化層18aは、アルミナ(AL)で形成された、144nmの周期Pを有する平行金属配線22の配列である。偏光化層18aは、170nmの厚さを有している。反射抑制層18cは、タンタル(Ta;550nmにおいて、n≒2.95、k≒3.52)で形成され、13nmの厚さを有している。第一及び第二誘電体層18b及び18dは、二酸化ケイ素(SiO2)で形成され、それぞれ79nm及び67nmの厚さを有している。全ての層は不連続であり、構造性複屈折層を形成している。周期Pは、144nmであり、0.45のデューティー比(DC)、又は周期に対するリブ幅の比を有し、つまり幅は概ね67nmである。タンタル材料が、入射光に対する、その光学的指標及び光学的吸収特性により、選択されてきた。偏光素子は、光のいずれの偏光配向も反射することなく、p偏光配向を透過するようになる。
【0039】
図4bを参照すると、偏光素子10hの可視スペクトルにおける算出性能を示されている。この偏光素子は、実質的に何ら反射することなく、光のp偏光配向に対して、高い透過性(概ね70%)を有していることが分かる。加えて、その偏光素子は、可視スペクトルの範囲で20,000を超えるコントラスト比を有している。
【実施例4】
【0040】
図5aを参照すると、赤外スペクトルにおいて使用されるように構成された反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10iの第四非限定例が示されている。
【0041】
偏光素子10iは、基体14に配設された4つの層を有している。そららは、偏光化層18a、反射抑制層18c、その偏光化及び反射抑制層を分け隔てる誘電体層18b、並びに、反射抑制層により第一誘電体層18bから分け隔てられた第二誘電体層18dである。基体は、BK7ガラス等のガラスである。第一層又は偏光化層18aは、基体上に配設されている。偏光化層18aは、アルミナ(AL)で形成された、144nmの周期Pを有する平行金属配線22の配列である。偏光化層18aは、80nmの厚さを有している。反射抑制層18cは、炭素(C;1550nmにおいて、n≒3.34、k≒1.6299)で形成され、107nmの厚さを有している。第一及び第二誘電体層18b及び18dは、二酸化ケイ素(SiO2)で形成され、それぞれ44nm及び67nmの厚さを有している。全ての層は不連続であり、構造性複屈折層を形成している。周期Pは、144nmであり、0.45のデューティー比(DC)、又は周期に対するリブ幅の比を有し、つまり幅は概ね67nmである。炭素材料が、入射光に対する、その光学的指標及び光学的吸収特性により、選択されてきた。偏光素子は、光のいずれの偏光配向も反射することなく、p偏光配向を透過するようになる。
【0042】
図5bを参照すると、偏光素子10iの赤外スペクトルにおける算出性能を示されている。この偏光素子は、僅かに反射するものの、光のp偏光配向に対して、高い透過性(概ね90%)を有していることが分かる。加えて、その偏光素子は、赤外スペクトルの範囲で800を超えるコントラスト比を有している。
【実施例5】
【0043】
図6aを参照すると、可視スペクトルにおいて使用されるように構成された反射抑制ワイヤーグリッド偏光素子10jの第五非限定例が示されている。
【0044】
偏光素子10jは、基体14に配設された4つの層を有している。そららは、偏光化層18a、反射抑制層18c、その偏光化及び反射抑制層を分け隔てる誘電体層18b、並びに、反射抑制層により第一誘電体層18bから分け隔てられた第二誘電体層18dである。基体は、BK7ガラス等のガラスである。第一層又は偏光化層18aは、基体上に配設されている。偏光化層18aは、アルミナ(AL)で形成された、144nmの周期Pを有する平行金属配線22の配列である。偏光化層18aは、1550nmの厚さを有している。反射抑制層18cは、炭素(C;550nmにおいて、n≒2.35、k≒0.8344)で形成され、48nmの厚さを有している。第一及び第二誘電体層18b及び18dは、二酸化ケイ素(SiO2)で形成され、それぞれ20nm及び30nmの厚さを有している。全ての層は不連続であり、構造性複屈折層を形成している。周期Pは、144nmであり、0.45のデューティー比(DC)、又は周期に対するリブ幅の比を有し、つまり幅は概ね67nmである。炭素材料が、入射光に対する、その光学的指標及び光学的吸収特性により、選択されてきた。偏光素子は、光のいずれの偏光配向も反射することなく、p偏光配向を透過するようになる。
【0045】
図6bを参照すると、偏光素子10jの可視スペクトルにおける算出性能を示されている。この偏光素子は、実質的に何ら反射することなく、光のp偏光配向に対して、高い透過性(可視スペクトルの範囲で概ね60%を超え、最高80%である)を有していることが分かる。加えて、その偏光素子は、可視スペクトルの範囲で8,000を超えるコントラスト比を有している。
【0046】
いろいろな様相のワイヤーグリッド偏光素子、光学縦列及び/又は投影/表示システムが、米国特許第5,986,730号;第6,081,376号;第6,122,103号;第6,208,463号;第6,243,199号;第6,288,840号;第6,348,995号;第6,108,131号;第6,452,724号;第6,710,921号;第6,234,634号;第6,447,120号;及び第6,666,556号に示されており、それらをここに援用する。
【0047】
以上の例は、1つ以上の特定の応用領域における、本発明の原理の例証であるが、当業者であれば、実施化における形態、利用法及び詳細について多数の変形態様を、発明的能力の訓練なくして、また発明の原理及びコンセプトから外れることなく、作り上げることができるということは自明であろう。しかして、発明は、以下に規定された請求の範囲以外のものにより限定されることは意図されていない。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
入射可視又は赤外光を偏光し、反射偏光を選択的に抑制するための反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器であって、
a)基体と、
b)前記基体の上側に配設され、前記入射光の波長の半分よりも短い周期を有する平行金属配線の配列を有する偏光化ワイヤーグリッド層と、
c)前記基体の上側に配設され、可視又は赤外光に対して光学的吸収性を有する、無機的で非誘電性の材料を含んでいる反射抑制層と、
d)前記偏光化ワイヤーグリッド層と前記反射抑制層の間に配設され、無機的で誘電性の材料を含んでいる誘電体層と、
を備えることを特徴とする反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器。
【請求項2】
前記誘電体層は、第一誘電体層であり、
前記基体の上側に配設されると共に、前記反射抑制層又は前記偏光化ワイヤーグリッド層により、前記第一誘電体層から隔てられており、また、無機的で誘電性の材料を含んでいる第二誘電体層を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の機器。
【請求項3】
前記反射抑制層は、不連続であって、反射抑制グリッドを規定する平行リブの配列を形成し、前記誘電体層は、不連続であって、誘電体グリッドを規定する平行リブの配列を形成していることを特徴とする請求項1に記載の機器。
【請求項4】
前記機器は、可視スペクトルの範囲内の光を選択的に吸収し、前記ワイヤーグリッド層の配線の配列の周期は、350nmよりも短く、前記反射抑制層の材料は、可視スペクトルの光に対して光学的吸収性を有する材料であることを特徴とする請求項1に記載の機器。
【請求項5】
前記機器は、赤外スペクトルの範囲内の光を選択的に吸収し、前記ワイヤーグリッド層の配線の配列の周期は、500nmよりも短く、前記反射抑制層の材料は、赤外スペクトルの光に対して光学的吸収性を有する材料であることを特徴とする請求項1に記載の機器。
【請求項6】
前記反射抑制層の材料は、前記ワイヤーグリッドの金属配線の材料とは異なることを特徴とする請求項1に記載の機器。
【請求項7】
前記反射抑制層の材料は、炭素、ケイ素、ケイ化ニオビウム、タンタル、及びそれらの組合せからなるグループから選択されることを特徴とする請求項1に記載の機器。
【請求項8】
入射可視又は赤外光を偏光し、反射偏光を選択的に抑制するための反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器であって、
a)基体と、
b)前記基体の上側に配設され、前記入射光の波長の半分よりも短い周期を有する平行金属配線の配列を有する偏光化ワイヤーグリッドと、
c)前記偏光化ワイヤーグリッドの上側に配設され、前記偏光化ワイヤーグリッドの配線と揃えられた平行リブの配列を有する無機的誘電体グリッドと、
d)前記無機的誘電体グリッドの上側に配設され、前記無機的誘電体グリッドのリブと揃えられた平行リブの配列を有し、可視又は赤外光に対して光学的吸収性を有する、無機的で非誘電性の材料を含んだ非誘電体反射抑制グリッドと、
を備えることを特徴とする反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器。
【請求項9】
前記反射抑制層の上側に配設された第二無機的誘電体層を更に備えることを特徴とする請求項8に記載の機器。
【請求項10】
前記非誘電体反射抑制グリッドの材料は、前記ワイヤーグリッドの金属配線の材料とは異なることを特徴とする請求項8に記載の機器。
【請求項11】
前記機器は、可視スペクトルの範囲内の光を選択的に吸収し、前記ワイヤーグリッドの配線の配列の周期は、350nmよりも短く、前記反射抑制層の材料は、可視スペクトルの光に対して光学的吸収性を有する材料であることを特徴とする請求項8に記載の機器。
【請求項12】
前記機器は、赤外スペクトルの範囲内の光を選択的に吸収し、前記ワイヤーグリッド層の配線の配列の周期は、500nmよりも短く、前記反射抑制グリッドの材料は、赤外スペクトルの光に対して光学的吸収性を有する材料であることを特徴とする請求項8に記載の機器。
【請求項13】
前記反射抑制グリッドの材料は、炭素、ケイ素、ケイ化ニオビウム、タンタル、及びそれらの組合せからなるグループから選択されることを特徴とする請求項9に記載の機器。
【請求項14】
入射可視又は赤外光を偏光し、反射偏光を選択的に抑制するための反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器であって、
a)基体と、
b)前記基体により担持され、不連続であって、前記入射光の波長の半分よりも短い周期を有する平行リブの配列を形成する複数の異なる交互の層と、
を備え、
c)前記層の1つは、導電性材料を含んで偏光化ワイヤーグリッドを規定し、
d)前記層の1つは、無機的で誘電性の材料を含んで誘電体グリッドを規定し、
e)前記層の1つは、可視又は赤外光に対して光学的吸収性を有する、無機的で非誘電性の材料を含んで反射抑制グリッドを規定することを特徴とする反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器。
【請求項15】
前記層の1つは、無機的で誘電性の材料を含む第二誘電体グリッドを規定することを特徴とする請求項14に記載の機器。
【請求項16】
前記機器は、可視スペクトルの範囲内の光を選択的に吸収し、前記ワイヤーグリッドの配線の配列の周期は、350nmよりも短く、前記反射抑制層の材料は、可視スペクトルの光に対して光学的吸収性を有する材料であることを特徴とする請求項14に記載の機器。
【請求項17】
前記機器は、赤外スペクトルの範囲内の光を選択的に吸収し、前記ワイヤーグリッド層の配線の配列の周期は、500nmよりも短く、前記反射抑制グリッドの材料は、赤外スペクトルの光に対して光学的吸収性を有する材料であることを特徴とする請求項14に記載の機器。
【請求項18】
前記反射抑制グリッドの材料は、炭素、ケイ素、ケイ化ニオビウム、タンタル、及びそれらの組合せからなるグループから選択されることを特徴とする請求項14に記載の機器。
【請求項19】
機器は、可視スペクトルの範囲で約500:1よりも大きい透過コントラストを有することを特徴とする請求項14に記載の機器。
【請求項1】
入射可視又は赤外光を偏光し、反射偏光を選択的に抑制するための反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器であって、
a)基体と、
b)前記基体の上側に配設され、前記入射光の波長の半分よりも短い周期を有する平行金属配線の配列を有する偏光化ワイヤーグリッド層と、
c)前記基体の上側に配設され、可視又は赤外光に対して光学的吸収性を有する、無機的で非誘電性の材料を含んでいる反射抑制層と、
d)前記偏光化ワイヤーグリッド層と前記反射抑制層の間に配設され、無機的で誘電性の材料を含んでいる誘電体層と、
を備えることを特徴とする反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器。
【請求項2】
前記誘電体層は、第一誘電体層であり、
前記基体の上側に配設されると共に、前記反射抑制層又は前記偏光化ワイヤーグリッド層により、前記第一誘電体層から隔てられており、また、無機的で誘電性の材料を含んでいる第二誘電体層を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の機器。
【請求項3】
前記反射抑制層は、不連続であって、反射抑制グリッドを規定する平行リブの配列を形成し、前記誘電体層は、不連続であって、誘電体グリッドを規定する平行リブの配列を形成していることを特徴とする請求項1に記載の機器。
【請求項4】
前記機器は、可視スペクトルの範囲内の光を選択的に吸収し、前記ワイヤーグリッド層の配線の配列の周期は、350nmよりも短く、前記反射抑制層の材料は、可視スペクトルの光に対して光学的吸収性を有する材料であることを特徴とする請求項1に記載の機器。
【請求項5】
前記機器は、赤外スペクトルの範囲内の光を選択的に吸収し、前記ワイヤーグリッド層の配線の配列の周期は、500nmよりも短く、前記反射抑制層の材料は、赤外スペクトルの光に対して光学的吸収性を有する材料であることを特徴とする請求項1に記載の機器。
【請求項6】
前記反射抑制層の材料は、前記ワイヤーグリッドの金属配線の材料とは異なることを特徴とする請求項1に記載の機器。
【請求項7】
前記反射抑制層の材料は、炭素、ケイ素、ケイ化ニオビウム、タンタル、及びそれらの組合せからなるグループから選択されることを特徴とする請求項1に記載の機器。
【請求項8】
入射可視又は赤外光を偏光し、反射偏光を選択的に抑制するための反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器であって、
a)基体と、
b)前記基体の上側に配設され、前記入射光の波長の半分よりも短い周期を有する平行金属配線の配列を有する偏光化ワイヤーグリッドと、
c)前記偏光化ワイヤーグリッドの上側に配設され、前記偏光化ワイヤーグリッドの配線と揃えられた平行リブの配列を有する無機的誘電体グリッドと、
d)前記無機的誘電体グリッドの上側に配設され、前記無機的誘電体グリッドのリブと揃えられた平行リブの配列を有し、可視又は赤外光に対して光学的吸収性を有する、無機的で非誘電性の材料を含んだ非誘電体反射抑制グリッドと、
を備えることを特徴とする反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器。
【請求項9】
前記反射抑制層の上側に配設された第二無機的誘電体層を更に備えることを特徴とする請求項8に記載の機器。
【請求項10】
前記非誘電体反射抑制グリッドの材料は、前記ワイヤーグリッドの金属配線の材料とは異なることを特徴とする請求項8に記載の機器。
【請求項11】
前記機器は、可視スペクトルの範囲内の光を選択的に吸収し、前記ワイヤーグリッドの配線の配列の周期は、350nmよりも短く、前記反射抑制層の材料は、可視スペクトルの光に対して光学的吸収性を有する材料であることを特徴とする請求項8に記載の機器。
【請求項12】
前記機器は、赤外スペクトルの範囲内の光を選択的に吸収し、前記ワイヤーグリッド層の配線の配列の周期は、500nmよりも短く、前記反射抑制グリッドの材料は、赤外スペクトルの光に対して光学的吸収性を有する材料であることを特徴とする請求項8に記載の機器。
【請求項13】
前記反射抑制グリッドの材料は、炭素、ケイ素、ケイ化ニオビウム、タンタル、及びそれらの組合せからなるグループから選択されることを特徴とする請求項9に記載の機器。
【請求項14】
入射可視又は赤外光を偏光し、反射偏光を選択的に抑制するための反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器であって、
a)基体と、
b)前記基体により担持され、不連続であって、前記入射光の波長の半分よりも短い周期を有する平行リブの配列を形成する複数の異なる交互の層と、
を備え、
c)前記層の1つは、導電性材料を含んで偏光化ワイヤーグリッドを規定し、
d)前記層の1つは、無機的で誘電性の材料を含んで誘電体グリッドを規定し、
e)前記層の1つは、可視又は赤外光に対して光学的吸収性を有する、無機的で非誘電性の材料を含んで反射抑制グリッドを規定することを特徴とする反射抑制ワイヤーグリッド偏光機器。
【請求項15】
前記層の1つは、無機的で誘電性の材料を含む第二誘電体グリッドを規定することを特徴とする請求項14に記載の機器。
【請求項16】
前記機器は、可視スペクトルの範囲内の光を選択的に吸収し、前記ワイヤーグリッドの配線の配列の周期は、350nmよりも短く、前記反射抑制層の材料は、可視スペクトルの光に対して光学的吸収性を有する材料であることを特徴とする請求項14に記載の機器。
【請求項17】
前記機器は、赤外スペクトルの範囲内の光を選択的に吸収し、前記ワイヤーグリッド層の配線の配列の周期は、500nmよりも短く、前記反射抑制グリッドの材料は、赤外スペクトルの光に対して光学的吸収性を有する材料であることを特徴とする請求項14に記載の機器。
【請求項18】
前記反射抑制グリッドの材料は、炭素、ケイ素、ケイ化ニオビウム、タンタル、及びそれらの組合せからなるグループから選択されることを特徴とする請求項14に記載の機器。
【請求項19】
機器は、可視スペクトルの範囲で約500:1よりも大きい透過コントラストを有することを特徴とする請求項14に記載の機器。
【図1a】
【図1b】
【図1c】
【図1d】
【図1e】
【図2a】
【図2b】
【図3a】
【図3b】
【図4a】
【図4b】
【図5a】
【図5b】
【図6a】
【図6b】
【図1b】
【図1c】
【図1d】
【図1e】
【図2a】
【図2b】
【図3a】
【図3b】
【図4a】
【図4b】
【図5a】
【図5b】
【図6a】
【図6b】
【公表番号】特表2010−530995(P2010−530995A)
【公表日】平成22年9月16日(2010.9.16)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−513394(P2010−513394)
【出願日】平成20年6月19日(2008.6.19)
【国際出願番号】PCT/US2008/067427
【国際公開番号】WO2009/002792
【国際公開日】平成20年12月31日(2008.12.31)
【出願人】(501218636)モックステック・インコーポレーテッド (16)
【Fターム(参考)】
【公表日】平成22年9月16日(2010.9.16)
【国際特許分類】
【出願日】平成20年6月19日(2008.6.19)
【国際出願番号】PCT/US2008/067427
【国際公開番号】WO2009/002792
【国際公開日】平成20年12月31日(2008.12.31)
【出願人】(501218636)モックステック・インコーポレーテッド (16)
【Fターム(参考)】
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