【課題】互いに貼り合わされた２枚のガラス基板の厚さを薄くするためのエッチングの終了時点を決定するためのパラメータ数を少なくする。
【解決手段】エッチング速度がエッチング槽１２内のエッチング液１３の温度及び濃度に応じて一意的に決定されることに着目し、エッチング槽１２内のエッチング液１３の温度及び濃度を一定に維持して、互いに貼り合わされた２枚のガラス基板１、２のエッチング厚さをエッチング時間で管理すると、パラメータはエッチング時間のみであり、互いに貼り合わされた２枚のガラス基板の厚さを薄くするためのエッチングの終了時点を決定するためのパラメータ数を少なくすることができる。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板の表面に微細な傷等の凹部がある場合、ガラス基板の表面をより一層平坦化する。
【解決手段】 エッチング液として、ガラス基板に対するエッチングレートが０．０１μｍ／分以上で５μｍ／分未満と比較的遅い第１のエッチング液と、ガラス基板に対するエッチングレートが５μｍ／分以上で１５μｍ／分以下と比較的速い第２のエッチング液とを用意する。そして、ガラス基板に対して、まずエッチングレートの遅い第１のエッチング液を用いてエッチングを行うと、エッチングの進行が遅いため、ガラス基板の表面の凹部が特にガラス基板の厚さ方向に成長するのを抑制しながら、ガラス基板の表面層と共に凹部を除去することができ、次いでエッチングレートの速い第２のエッチング液を用いてエッチングを行うと、ガラス基板の表面をより一層平坦化することができる。 （もっと読む）

【課題】 互いに貼り合わされた２枚のガラス基板の厚さを薄くするためのエッチングの終了時点を決定するためのパラメータ数を少なくする。
【解決手段】 エッチング速度がエッチング槽１２内のエッチング液１３の温度及び濃度に応じて一意的に決定されることに着目し、エッチング槽１２内のエッチング液１３の温度及び濃度を一定に維持して、互いに貼り合わされた２枚のガラス基板１、２のエッチング厚さをエッチング時間で管理すると、パラメータはエッチング時間のみであり、互いに貼り合わされた２枚のガラス基板の厚さを薄くするためのエッチングの終了時点を決定するためのパラメータ数を少なくすることができる。 （もっと読む）