【課題】 本発明はＴＭＡＨ及び炭酸塩を含むレジスト現像液から炭酸塩を除去する方法、装置、及びレジスト現像液の濃度管理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明に係るレジスト現像液中の炭酸塩の除去方法は、ＴＭＡＨ及び炭酸塩を含むレジスト現像液をＮＦ膜で濾過する濾過工程を備える。 （もっと読む）

【課題】 蓚酸含有エッチング液の全量交換の頻度を低減させることが可能な蓚酸含有エッチング液再生方法及び蓚酸含有エッチング液再生装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明では、ＩＴＯのエッチングに使用した蓚酸含有エッチング液をＮＦ膜２５によりろ過して透過液と非透過液とに分離するろ過工程を備える。 （もっと読む）

【課題】 所定の量の薬液を精度良く供給可能な薬液供給管理装置を提供する。
【解決手段】 予め設定された薬液供給量の設定値を記憶する記憶手段２０４と、供給ラインを流れる薬液の流量を時間毎に測定する流量測定手段２０２と、薬液の流量を積算することにより被塗布物１０４に対して供給された薬液供給量の実測値を取得する供給量取得手段２１４と、薬液供給量の実測値と薬液供給量の設定値とに基づいて、供給ラインＬ１を介して被塗布物１０４に対して供給された薬液供給量が薬液供給量の設定値に達したか否かを判断する供給量判断手段２１６と、供給ラインを介して被塗布物に対して供給された薬液供給量が薬液供給量の設定値に達したと判断した場合に、供給ラインを介した薬液の供給を停止させる供給停止手段２１８と、を備えている。 （もっと読む）