【課題】各基準マークの相対的な位置関係や配置が設計値に対して偏移しても回路パターンを的確な位置に形成でき、且つ、プリント基板の製造のスループット低下が少ない投影露光方法を提供する。
【解決手段】露光前に第１の露光領域の各露光位置における各重ね合わせ誤差を演算するステップ（Ｓ２１）と、プリント基板の測定結果に基づき演算結果が許容値未満か否かを判断するステップ（Ｓ２２）と、判断の結果が許容値未満の露光位置ではその露光領域で露光を設定するステップ（Ｓ２３）と、判断の結果が許容値以上の露光位置ではその露光領域を分割した露光領域を設定するステップ（Ｓ２４）とを露光領域の面積が最小になるまで繰り返して面積及び露光順序を設定する。 （もっと読む）

【課題】ＸＹ方向の倍率補正を十分な変化幅で高速に制御でき、投影光学系への影響が少なく、簡単な構成で、長期間使用が可能である露光装置を提供する。
【解決手段】フォトマスク２０を通過したパターン像を含む光を、投影光学系を介してプリント基板上に投影して露光させる投影露光装置であって、一方の面に凸型の曲面を有して他方の面に光軸に対して垂直な平面を有する凸型レンズ３２と、それに対応する凹型の曲面を一方に有して他方の面に光軸に対して垂直な平面を有する凹型レンズ３１を、各曲面が対向するように配置したレンズの組を、投影光学系とフォトマスクとの間に設け、プリント基板上に形成された配線パターン上で直交する２軸（Ｘ方向とＹ方向）の各方向毎に得られた基板伸縮量の情報に応じて、レンズの組の凸型の曲面と凹型の曲面との間隔を変化させて投影光学系による投影倍率の誤差を補正する。 （もっと読む）

【課題】光照射装置で入射光が小光量の場合でも均一化して出射できる入射光を供給する。
【解決手段】光照射装置の絞り板の開口部の形状が、スリット形状で溝幅が連続的に暫減又は暫増するように形成される第１パターン１０１と、第１パターンにおける少なくとも溝幅が所定値以下に狭くなったところの近傍領域に、第１パターンにおける溝幅が暫減又は暫増することと協働して、出射光の通過可能となる面積を暫減又は暫増させるように形成される第２パターン１０２とが組み合わされて構成される。 （もっと読む）

【課題】透明支持板の両面に接着した配線基板を、作業時間を低減し、紫外線の供給を改善して、側面からの紫外線照射により剥離させる。
【解決手段】配線基板の製造工程における、透明支持板の両面に紫外線剥離型の接着剤により接着された配線基板を剥離させるための紫外線の照射方法であって、紫外線の照射前に、配線基板が接着された複数の透明支持板を支持板保持治具に並べて保持し、その支持板保持治具を各透明支持板の側面が対向するような照射位置に配置し、支持板保持治具に保持された各透明支持板に対して紫外線を照射し、照射工程が終了した支持板保持治具を、紫外線照射部の照射領域内の照射位置から排出する。 （もっと読む）

【課題】良好な結像性能を維持しながら、構成を簡素にして、容易に製造することができる投影光学系を提供する。また、各光学素子を適切に選択することで、色収差を良好に補正することもできる投影光学系を提供する。
【解決手段】光学的に平行平板形状の第１の光学素子と、平凸形状の第２の光学素子と凹面鏡とを有するとともに、第１の光学素子の屈折率を、第２の光学素子の屈折率よりも大きくする。 （もっと読む）

【課題】簡素でかつ小型化され、迷光を殆ど生じさせない照明装置を提供する。
【解決手段】濃度が薄くかつ厚さが厚い濃度フィルターを有する減光手段を用いる。また、減光手段を光軸から傾けて配置する。 （もっと読む）

【課題】ステージの位置を測定するための干渉計等の位置測定装置を用いることなく、基板を的確な位置に位置づけることができる投影露光装置及び投影露光方法を提供する。
【解決手段】基準基板に形成された基準基板基準マークの位置に基づいて、載置台の位置の誤差を補正するための載置台位置補正データを演算し、載置台位置補正データと、露光基板に形成された露光基板基準マークの位置とに基づいて、露光基板基準マークの位置の線形成分の誤差を補正するための線形誤差補正データを、最小二乗法を用いて演算する。 （もっと読む）

【課題】長尺かつ広い領域を、照度を低下させることなく的確に照明できる照明光学系を提供する。
【解決手段】入射面に入射された光束を、その断面の大きさを変更すると共に、射出面に導く断面積変更インテグレータを用いて、断面積変更インテグレータの射出面に対して光学的にほぼ共役な位置に配置された被照射体を照明する。 （もっと読む）

【課題】被照射体への照度を低下させることなく、照度を均一に近づけて被照射体を照明できる照明装置を提供する。
【解決手段】発光素子から紫外光を発し、発光素子から発せられた紫外光を他の波長の光へ変換する。 （もっと読む）

【課題】点光源等の光源を用いた表示装置であっても、拡散板等の拡散手段を用いることなく、液晶パネル等の被照射体を均一に近づけて照明することができ、表示面における輝度を均一に近づけることができる表示装置を提供する。
【解決手段】光源から紫外光を発し、光源から発せられた紫外光を蛍光物質によって他の波長の光へ変換して、変換した光の光量を制御する。 （もっと読む）