説明

アプライド マテリアルズ ゲーエムベーハー アンド コンパニー カーゲーにより出願された特許

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本発明は、コーティング装置を通して平らな基板を移送するための装置に関する。このコーティング装置は、例えば、数個の異なるスパッタ・カソードを備えていて、このカソードに、例えば、ガラス板のような平らな基板が真空内を順次移送される。ガラス板と接触面との間で摩擦による損傷が起こらないように、ガラス板は接触しない距離にガス圧により維持される。ガス圧は、この場合、ガス・チャネル内の比較的少ない小さな孔部により形成される。コーティング装置に大気圧を導入している間、または真空にするための排気中、ガスの孔部が小さいために、ガス・チャネルと残りのコーティング装置の間の圧力を急速に等しくすることができないので、ガス・チャネルは、残りのコーティング装置とのガスによる接続が切り離され、別のガス・ラインを有し、このガス・ラインを通してガスをガス・チャネルに導入したり、そこからポンプにより吸い出したりすることができる。
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【課題】 この発明は、スペクトルの透過および/または反射の測定によって光学層または層組織の物理的特性を決定するための方法に関する。
【解決手段】 スペクトルの透過および/または反射の測定に従って、波長に依存する屈折率n0および/または消衰係数k0に関する基準値が既知の値から選択されるかまたは実験的に求められ、層を特徴付ける変分は、屈折率および吸光係数に関する波長依存変分定数KnおよびKkにより記述される。 (もっと読む)


【課題】 コーティングラインの部品を簡単かつ効率的に交換することを可能にする。
【解決手段】 部品交換搬送装置は、搬送経路(4)と少なくとも1つのキャリッジ(6)とを含む搬送システムを有し、上記キャリッジは上記搬送経路に沿って移動可能であり、かつ上記キャリッジには、交換されるべき部品を拾い上げるための少なくとも1つの巻上機(7)が設けられ、上記搬送経路は、使用される上記コーティングライン(1)について厳密に特定された搬送経路(4)を規定するガイド部材を含み、上記搬送経路は、上記搬送経路(4)に沿って移動可能でありかつ上記巻上機(7)を有する上記キャリッジ(6)が、交換されるべき上記部品(10)についての正しい持上げ位置および下ろし置き位置に正確に上記巻上機を自動的に案内するように、上記コーティングライン(1)に沿って位置付けられる。 (もっと読む)


【課題】 基板、特にガラス基板をコーティングするための装置のコーティングチャンバ2に少なくとも1つのスクリーン9を装着するための保持装置12を提供する。
【解決手段】 保持装置12は、当該保持装置12によって保持されるスクリーン9が、当該保持装置12の動きにより少なくともコーティングチャンバ2内における第1の位置から第2の位置に動かされ得るように構成される。保持装置12は、スクリーン9が第1の位置から第2の位置に移動する途中に障害物を避けることを可能にするような手段13を有する。特に、第1の位置から第2の位置への移動中に、スクリーン9は保持装置12上に回転可能に装着される。 (もっと読む)


【課題】 3次元中空ボディにブロッキング層を設ける際の問題に対処しかつコスト有効性に優れたブロッキング層の形成により装飾的効果を生じさせることにある。
【解決手段】 本発明は、少なくとも1つの材料層を含み、可視光範囲内の吸光を無視できる3次元プラスチック中空ボディのコーティングに関する。関係0.5b<a<bにおいて、aは前記材料からなる層の厚さaを表し、bは白色光の透過率が0.1〜0.2%である同じ材料層の厚さを表す。干渉層による可視光スペクトルの部分吸光により、ボトル等の装飾効果が達成できる。例えば厚さ25nmのアルミニウム層で被覆された最初は透明のプラスチックボトルで観察される光学的効果は、厚さ25nmの層が2つ(1つはボトルの前側、他の1つは後側)設けられた平窓ガラス上の50nmの厚さの層により得られる光学的効果に等しい。 (もっと読む)


【課題】 スパッタリング装置により、透明かつガス気密コーティングを合成材料の基板上に付着することの問題を解決しかつ同じスパッタリング装置を用いて反射バリヤ層を形成することにある。
【解決手段】 ガス不透過層、より詳しくはガス不透過合成材料基板のコーティングの製造装置および方法に関する。装置または方法の使用により、単一のスパッタリング装置を用いて、光不透過層だけでなく、光不透過ガス遮断層をも形成できる。第1のガス供給源(例えばアルゴン)から第2のガス供給源(例えばアルゴン、酸素および窒素)への切換えまたはこれとは逆の切換えを簡単に行なうことができる。 (もっと読む)


【課題】 ウェブ形態の材料用のコーティング装置の巻取チャンバまたは送出しチャンバ内でウェブ巻胴を交換するための装置を提供する。
【解決手段】 この装置はコーティング・チャンバの両側に設置され、一方の装置は巻取ドラムとしての働きをし、他方の装置は送出しドラムとしての働きをする。この装置は、巻胴の端部ベアリングを収容するための2つのトラックを備え、これらのトラックは2つの部分を備えていて、一方の部分は固定されており、他方の部分はピボット回転することができる。この装置はドア付きのハウジング内に位置する。巻胴を交換しなければならない場合には、ドアが開き、トラックのピボット回転することができる部分は、ハウジングから突き出るように外側に折りたたまれる。突き出ているトラック部分の上には、この時点で巻胴を置くことができ、そのため巻胴は内部にスライドし、固定される。 (もっと読む)


本発明は、焼戻し可能な基材、特にガラス板のコーティングに関する。このコーティングは例えば、基材の上に直接、Si層を、その上にCrN層を、その上にTiO層を、最後にSi層を含む。
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