【課題】その表面が地球の重力に対して平行なこのような平らな基板の熱負荷を低減すること。
【解決手段】本発明は、基板、特に、例えばＯＬＥＤＥのような感熱物質を含む基板を蒸着するための蒸着装置に関する。これらの基板から熱を遠ざけておくために、蒸着装置は、特殊なノズル棒を有する蒸発器チューブを含む。数個の直線状に配置されている開口部を有するこのノズル棒は、コーティング対象の基板の方向に蒸発器チューブに対して突き出ている。 （もっと読む）

【課題】コーティング対象の基板にあまり高い熱放射を与えないで、高沸騰物質を気相に変換する蒸発装置の供給問題を解決すること。
【解決手段】本発明は、基板をコーティングするための、特にＯＬＥＤのアルミニウム層を形成するための蒸発装置に関する。例えば、低い蒸気圧を有する材料を気化するために必要な温度のような高温に蒸発器チューブを加熱するために、加熱システムが蒸発器チューブ内に設置されている。それにより、熱損失が最小限度まで低減され、ほぼ同じ結合加熱電力で、チューブ温度がさらに高くなる。 （もっと読む）

本発明は、平板状ターゲット（２０）と平板状磁石システム（１）とを有するマグネトロンに関する。平板状磁石システムは、端部が拡大された棒状の第１の磁極（２６）と枠状の第２の磁極（２）とを有し、ターゲットが定置された場合は、可動磁石システムの各点が円軌道上を移動する。磁石システムが定置された場合は、ターゲットの各点が同様の円軌道上を移動する。磁石システムとターゲットは互いに相対運動をする間、平行な面上にある。この場合、円軌道の直径（Ｄ）は、スパッタリングプロセスで第１の磁極と第２の磁極との間に形成されるプラズマチューブの２本の平行な腕の平均間隔に相当する。プラズマチューブの曲線領域で極線が円弧又は円形面を形成するように、磁石が同領域に配置されていることにより、ターゲット内に孔の生じることが回避される。

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【課題】 マグネトロン・スパッタ・カソードに関し、特に１つの管カソードまたはアレイを形成しているいくつかの管カソードの操作方法を提供すること。
【解決手段】 このようなカソードにおいては、ターゲットは磁界を貫通し、それにより誘導電流がターゲット内を流れ、磁界を歪ませる。これにより、基板のコーティングが不均一になる。磁界とターゲット間の相対運動の方向を交互に逆にすることにより、磁界歪みの影響を補償することができる。これにより、コーティングされる基板のコーティングがより均一になる。 （もっと読む）

【課題】真空中での溶解、溶接、加工、および蒸着等に用いられる電子源において、電子銃のビームパワーを急速に変化させる。
【解決手段】フィラメントカソード１とブロックカソード２との間に第1の電圧を印加し、ブロックカソード２とアノード３との間に第２の電圧を印加する。第1の閉ループ調整システム８，７を使用してフィラメントカソード１を定電流値に調整することによって、ブロックカソード２の最大ビームパワーに十分なフィラメント温度にする。瞬時ブロック電力値と公称ブロック電力値との間の差に反応するブロック電力調整器１３等を含む第2の閉ループ調整システム１７、１３、１２が、フィラメントカソード１とブロックカソード２との間の電圧を調整する。 （もっと読む）

【課題】第１の磁極が第２の磁極を囲んでいる平面マグネトロン用のマグネット装置を提供すること。
【解決手段】このマグネット装置は、特定の値だけターゲットに対して長さ方向に直線的に移動し、同じ値だけ反対方向に戻る。ある態様の場合には、その他に垂直方向にも移動する。このマグネット装置は、Ｎ極とＳ極がインターロックし、波形のレーストラックが形成されるように設計されている。これにより全ターゲット面から均一なスパッタを行うことができる。 （もっと読む）

【課題】蒸気発生源から基板への物質の流れを中断する問題、および同時に気化物質を節約する問題を解決することにある。
【解決手段】本発明は、蒸気発生源および該蒸気発生源と基板との間の蒸気バリヤを備えた基板のコーティング装置に関する。蒸気バリヤは、少なくとも気化すべき物質の気化温度以上の温度に維持される。蒸気バリヤは、可動ロッドに連結された球状閉鎖部分を備えた石英弁として実施される。この球状閉鎖部分は、第１の位置において、蒸気発生源に連結された蒸気導入チューブを閉じ、かつ第２の位置において、石英チューブをシールしている球状キャップに当接する。 （もっと読む）

【課題】 気化する材料が配置されている気化器るつぼにより材料を気化するための装置を提供する。
【解決手段】 気化器るつぼの周囲には、気化器チューブを縦方向に見た場合、空間内に前後に配置されていて、電気的に別々に制御することができる少なくとも２つの加熱回路を備える気化器チューブが設置されている。これらの各加熱回路は、少なくとも２つの加熱サブ回路を備えていて、その一方は、気化器チューブの１つの側面上に配置されていて、もう一方は、気化器チューブの他方の側面上に配置されている。気化器チューブは、それ自身の加熱回路を有する頂部を備える。 （もっと読む）

【課題】 熱放射線を反射する層を厚くしないで、可視光線をよく透過する基板コーティングの断熱性を改善すること。
【解決手段】 本発明は、ガラス・コーティングおよびガラス・コーティングを形成するための方法に関する。ガラス・コーティングは、ＺｎＯの第１の層と、その上に堆積されたＡｇの第２の層からなる。ＺｎＯ層上にＡｇ層を塗布する前に、ＺｎＯがイオンにより照射される。 （もっと読む）

【課題】 実際に必要とするだけの電力量を利用可能にするという問題に対処することにある。
【解決手段】 本発明は、同じ消費電力または異なる消費電力を有する幾つかの電気エネルギ消費体の構成に関する。一般に、必ずしも全ての消費体に同時に電気エネルギを供給する必要がないため（例えばメンテナンス作業のためある消費体は作動していないことがある）、相互接続可能な幾つかのモジュールからなるモジュラエネルギ供給システムが設けられ、これにより各消費体には、必要とする電力を小型ユニットから供給することが可能になる。
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