【課題】一対の電極間の絶縁性を安定的に測定することができる絶縁測定装置及び絶縁測定方法を提供する。
【解決手段】絶縁測定装置１は、絶縁溝８を介して形成された一対の電極7a,7b間に、測定電圧を印加する一対のプローブ2a,2bと、前記一対のプローブ2a,2b間を流れる電流を測定する測定回路12とを備え、前記一対の電極7a,7b間の絶縁性を測定する。前記一対の電極7a,7b及び前記ガラス基板５の表面に吸着した水分を除去する空気流発生手段４を備え、絶縁性を測定する時に前記一対の電極7a,7b及び前記絶縁溝８の表面から吸着水分を除去する。これにより、電極７の物性変化の影響を低減することができるので、一対の電極7a,7b間の絶縁抵抗値を短時間で安定して測定することができる。 （もっと読む）

【課題】整列板の振動源として超音波振動子を用いた実用的な微小部品の整列装置を提供すること。
【解決手段】微小部品を所定方向に向けて収容することのできる多数の透孔１１を整列配置して備え、かつ下面に易剥離性表面を持つ整列板１２、整列板１２の周縁部から上方に伸びるように形成された枠体１３、整列板１２の下面に接触下に配置された上面が粘着性を示す粘着シート１４、粘着シート１４の下面に接触下に配置された支持板１５、そして支持板１５の下面に配置された超音波振動子１６、１６を含む微小部品の整列装置。 （もっと読む）

【課題】超音波振動を利用した実用的な微小部品の整列装置を提供すること。
【解決手段】微小部品を所定方向に向けて収容することのできる多数の透孔（１１）を整列配置して備える整列板（１２）、整列板の周縁部に沿って上方に配置されている枠体（１３）、整列板の下方に間隔をあけて配置されている、整列板の各々の透孔と対応する位置に微小部品の圧入が可能な透孔（１４）を備える弾性シート（１５）、弾性シートの下面に配置されている支持板（１６）、そして前記の整列板の上面に固定された超音波振動子（１７）を含む微小部品の整列装置。 （もっと読む）

【課題】印刷時にフィルムシート状の被印刷物にシワや波を発生させることなく、被印刷物の横ズレや蛇行を防止することが可能な均一移動のスクリーン印刷装置を提供する。
【解決手段】被印刷物保持台５，２５とローラ手段６Ａとの間にある被印刷物２が、撓み付与手段５１によって自重で垂れ下がった状態に撓んでいるので、被印刷物２へのテンションを緩めて印刷を行なうことができる。そのため、被印刷物２が被印刷物保持台２５を通過する際に、被印刷物２と被印刷物保持台２５やローラ手段６Ａとの過度な摩擦を防いで、被印刷物２を均一な速度で正確に送り出すことができる上に、被印刷物２の横ズレや蛇行を防止できる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ上に金属ペーストを形成し、金属ペーストで形成された電極ポストの高さを均一に形成するとともに、電極先端部に発生する尖りや片寄りを平坦化した電極ポスト平坦化装置およびウエハレベルパッケージ製造方法を提供する。
【解決手段】スクリーン印刷にて製造されるウェハレベルパッケージの電極ポスト１４を平坦化する平坦化装置であって、平坦化処理部材１５を用いて、金属ペーストで形成される電極ポスト１４の高さを均一化し且つ前記電極ポスト１４の先端部を平坦化することを特徴とする電極ポスト平坦化装置である。 （もっと読む）

【課題】搬送領域を搬送手段が移動することで、成膜処理を効率的に行う成膜処理システムを提供すること。
【解決手段】基板を成膜するための成膜処理システムは、基板を搬送するための搬送領域と、搬送領域を移動可能に設置された搬送手段であって、基板の収容及び取り出しを行う基板出し入れ手段を備える搬送手段と、前記基板の成膜を行う複数の成膜ユニットと、を有する。前記成膜ユニットのうち少なくとも二つの成膜ユニットは、これらが前記搬送領域を挟んで互いに間隔を開けて対成膜ユニットを形成するように配列される。 （もっと読む）

【課題】圧力検出器が破壊されることなく、被押圧面からスキージに対して直接加わる押圧力を、正しく検出できるようにする。
【解決手段】本発明におけるスキージの圧力検出付き印刷装置は、スクリーン版３および被印刷物１の上面に押圧可能なスキージ５を有するスキージヘッド６と、スキージヘッド６を昇降させるサーボモータ14と、スキージヘッド６の昇降範囲を制限する限度ストッパ28とを具備する。スキージヘッド６は、スキージ５の他に、このスキージ５の押圧力を検出するロードセル22と、スキージ５からロードセル22への押圧力を緩和する弾性体23とを備え、スクリーン版３および被印刷物１の上面に加わる押圧方向に沿って、スキージ５とロードセル22と弾性体23とを直列的に配置している。 （もっと読む）

【課題】被保持体が所望の位置から脱落しない復元力を、非接触且つ容易に作用させることが可能な非接触保持装置および非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】浮揚手段３による流体の圧力によって、搬送品Ｓが非接触で反重力方向に浮揚される。また、励振アクチュエータ１３が弾性振動体１２に撓み定在波を励起するような振動を与えると、この弾性振動体１２と搬送品Ｓとの間に生じる流体の音響粘性流によって、搬送品Ｓを中立位置に戻そうとする復元力が発生し、搬送品Ｓは中立位置の周辺で非接触に保持される。さらに、非接触搬送装置として搬送ユニット２１を組み込むと、保持ユニット１１により搬送路１から脱落しないように非接触に案内しながら、搬送品Ｓを所定方向に搬送できる。 （もっと読む）

【課題】電流制限器が定電流動作を行っている状態において、印加電圧が変化しても、負荷を流れる電流が正確であり、しかも高効率を維持でき、急激な電流変化に対しても追従性に優れた電流制限回路を提供する。
【解決手段】電流制限器４は、充放電ラインにＩＧＢＴ素子６，７と電流検出抵抗９，１０との直列回路を挿入接続し、電流検出抵抗９，１０の一端と他端にトランジスタ１２，１３のベースとエミッタをそれぞれ接続し、このトランジスタ１２，１３のコレクタをＩＧＢＴ素子６，７のゲートに接続して構成される。ＩＧＢＴ素子６，７のゲートに駆動信号が与えられている状態で、電流検出抵抗９，１０の両端間電圧が増加すると、ＩＧＢＴ素子６，７のゲート電圧レベルを下げ、ＩＧＢＴ素子６，７のコレクタからエミッタを流れる電流を制限する。 （もっと読む）

【課題】電極材料を複数面に亘って均一な厚み及び幅で印刷でき且つ初期費用を低減できる電極形成用装置等を提供すること。
【解決手段】電極形成用装置１は、電極材料が充填される溝１３が被当接面１１に設けられた弾性部材１０が載置される載置台２０と、電子部品３０の当接面３１が被当接面１１に略平行で且つ溝１３を横断する姿勢で保持される保持部と、被当接面１１と略直交する方向に載置台２０及び保持部を互いに接近離隔する移動部と、この移動部を駆動制御する制御部と、を備える。この制御部は、当接面３１が被当接面１１に押し込まれる最大速度、最大深さ、この最大深さの状態を保持する時間、並びに載置台２０及び保持部４０が離隔され始めてから電極材料が被当接面１１から離間するまでの時間等の１種以上を可変制御するパラメータ変動部と、離隔速度が低速度の状態を１回以上挟んで、当接面３１を被当接面１１から離間させる離隔制御部とを有する。 （もっと読む）