【課題】磁気特性ダメージの横方向への広がりによる分離部に対する磁性部の割合（デューティ）の悪化を起こすことなく、また、簡便な方法で製造でき、生産性に優れた磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】インプリントにより凹凸パターンが形成されたマスク層を介して、イオン注入または活性化ハロゲン含有反応性ガスを暴露することにより、マスク層の凹部に対応する位置の磁気記録層の磁気特性を変質させて磁気記録層のマスク層の凸部に対応する位置の磁性部を磁気的に分離する分離部を形成する分離部形成工程を備え、マスク層を構成するレジスト材料が、インプリント工程の後に凹凸パターンの形状が変化する材料であって、分離部形成工程を開始する際のマスク層の凹凸パターンの段差部のテーパ角度が、６６°以上８８°以下である。 （もっと読む）

【課題】サーボ情報を別途書き込む必要のない磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】データを記録するデータ領域と、上記データ領域に隣接し、磁気ヘッドの制御情報が記録されたサーボ情報とを備え、上記データ領域には、溝又は非磁性体により画成されたドットからなるパターンが形成されており、上記サーボ領域には、上記ドットからなるパターンは形成されておらず、平坦な領域に磁気情報が書き込まれている。 （もっと読む）

【課題】ディスクリートトラック構造の精度を良好に保ち、良好なトラック間の磁気分離性能を有しながら、かつ簡便な方法で製造でき、生産性に優れたディスクリートトラック構造の製造方法を提供することにある。
【解決手段】非磁性基板上にアルミニウム膜を形成し、陽極酸化により自己組織的にナノホールを有するアルミナ層を形成し、記録トラック領域が露出したレジストパターンを形成し、記録トラック領域のナノホールに磁性材料を成膜する工程を備えたことを特徴とする。
ナノインプリント法により、ナノホールを形成する位置に凹部を形成する工程をさらに備えることが好ましい。チタンからなる第１下地層と金からなる第２下地層をさらに備えることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】スタンパのパターン部に欠陥を生じることなく作業性を向上させる樹脂スタンパ、そのスタンパを用いて高精度な位置合わせを行うことのできるインプリント装置、およびそのインプリント装置を用いた高品質な磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】凹凸パターンからなるパターン部１０２が表面に設けられている光透過性の樹脂部材１０１と、パターン部１０２の外径より大きな光照射用の開口部１０５を有して樹脂部材１０１をパターン部１０２の外周側で支持するディスク状の樹脂部材支持体１０３とを有する樹脂スタンパ１００からなり、凹凸パターンからなるパターン部１０２のパターンエッジ部が凹凸パターンの磁気記録媒体に対する偏心を調整するためのマークとしてなり、樹脂部材支持体１０３を介して偏心が調整される。 （もっと読む）

【課題】パターン形状の変化を起こすことがなく、かつ研磨工程を必要とするバリが発生しない、磁気転写用マスターディスクの製造方法の提供。
【解決手段】（ａ）非磁性体を準備する工程と、（ｂ）非磁性体の表面にパターン状の凹部を形成する工程と、（ｃ）前記凹部を形成した非磁性体の表面上に強磁性材料を堆積させ、強磁性体層を形成する工程と、（ｄ）何らのマスクを使用することなしに強磁性体層の余剰分を除去して、前記凹部内にパターン状の強磁性体層を形成する工程とを含み、工程（ｄ）における強磁性体層のエッチングレートよりも非磁性体のエッチングレートを大きくすることを特徴とする磁気転写用マスターディスクの製造方法。 （もっと読む）

【課題】高い特性を有するグラニュラー磁性層を、高価なＰｔまたはＲｕの使用量を低減して形成する
【解決手段】非磁性基体上に、強磁性を有する結晶粒子と酸化物を含む非磁性結晶粒界とからなる磁気記録層を備えた垂直磁気記録媒体の製造方法において、前記磁気記録層を、成膜初期には酸素ガスを２体積％以上、１０体積％以下添加した希ガスを用いて反応性スパッター法で成膜し、引き続き酸素ガス濃度を低下して反応性スパッター法で成膜することを特徴とする。
磁気記録層の直下に、Ｒｕ或いはＲｕを含む合金からなる下地層を形成する工程を含むことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】反り量が小さく平坦性の高い金属スタンパを低コストで作製することがきるスタンパの製造方法を提供すること。
【解決手段】金属スタンパ１１を当該金属スタンパ１１のパターン面側からみて凸状に反らせる引張応力を付与する電着条件で電鋳する電鋳工程（ａ）と、前記金属スタンパ１１のパターン面とは反対側の裏面に研磨加工を行って研磨加工歪層２０により前記引張応力より大きい圧縮応力を発生させて当該金属スタンパ１１をパターン面側からみて凹状に反らせる研磨加工工程（ｂ）と、前記金属スタンパ１１の反り量を計測しながら裏面にエッチング加工を行って当該反り量が所要の平坦性を示すまで前記研磨加工歪層２０を除去するエッチング加工工程（ｃ）とを備える。 （もっと読む）

【課題】アルミニウムを主体とする基板の陽極酸化処理により表面硬度を高めることができる磁気記録媒体用基板の製造方法を提供する。
【解決手段】アルミニウムを主体とする基板１の表面に陽極酸化処理を施してアルマイト皮膜２を形成する磁気記録媒体用基板１０の製造方法において、前記陽極酸化処理をしゅう酸浴による直流パルス電解で行う。 （もっと読む）

【課題】転写用原盤と被転写体との密着面間の“エア溜り”の有無をモニターし、原盤の突起汚れに起因する密着不良を判断して、原盤のクリーニングを促すことのできる磁気転写方法を提供する。
【解決手段】磁気的な転写情報を有する転写用原盤と被転写体とを密着させ、加圧することによって前記転写用原盤と前記被転写体の密着体を形成する密着体形成工程と、磁界発生手段を前記密着体に近接させて、前記磁界発生手段と前記密着体とを相対的に移動させながら磁界を印加することにより、前記転写用原盤から前記被転写体へ、前記転写情報の磁気転写を行なう磁気転写工程からなる磁気転写方法において、前記転写用原盤が光透過性のものであり、前記密着体を形成する際に密着面間で発生し得る“エア溜り”の有無を、前記光透過転写用原盤を通してモニターすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レジスト層の下に導電化層を形成してレジスト層にパターンを描画する際の電子線の散乱を低減することにより、パターンの高さ不良やパターン幅のばらつきを低減し、以ってより微細なパターン形状を精度よく形成可能なスタンパの製造方法を提供する。
【解決手段】シリコンへのドーパントのドープ又はポリシリコンの成膜により基板上に導電化層を形成する導電化層形成工程と、前記導電化層上にレジスト層を形成して電子線により描画し、前記導電化層の表面が凹部に露出するレジストパターンを形成するレジストパターン形成工程と、前記導電化層を電流シード層として電鋳により前記レジストパターン上に金属めっき層を形成する電鋳工程とを備え、前記基板、導電化層及びレジストパターンを除去して前記金属めっき層をスタンパとする。 （もっと読む）