【課題】材料損失を少なく抑えた大面積の基板への均等コーティング可能なコーター及び陰極アセンブリを提供する。
【解決手段】大面積の基板を陰極スパッタによってコーティングするためのコーターであって、コーティングチャンバを有し、その内部に、スパッタされる材料がコーティングプロセス中に回転するとともに湾曲面を有するターゲット４上に配置されている陰極アセンブリ２を備える。スパッタされる材料は、回転可能な湾曲したターゲットを持つ陰極アセンブリを少なくとも３つ以上、凝集コーティング領域のための単一のコーティングチャンバ内に並行して配置する。 （もっと読む）

【課題】機械の運転時における材料経費が低減されるコーティング機及びコーティング機の動作方法を提供すること。
【解決手段】スパッタリングによって基板をコーティングするためのコーティング機はプロセスチャンバを備えており、プロセスチャンバ内では、基板をコーティングするために、ターゲット３，３’からターゲット材料を基板の方向にスパッタ可能である。コーティング機は、ターゲットをプレスパッタするためにスパッタ方向Ｓから離れるように向く方向にスパッタ方向Ｓを合わせるとともに、ターゲットから材料をスパッタすることによって基板をコーティングするために基板に向く方向にスパッタ方向Ｓを合わせるための手段を特徴としている。アライメントの変化は、例えば、フラットカソード２，２’の長軸を中心に９０°又は１８０°の角度にわたってカソードを回転させることにより行なわれてもよい。 （もっと読む）

本発明は、２つのプラスチックフィルムそしてその間に金属または金属酸化物層および結晶質トリアジン層を含み、３０ｍｍ／分の９０度引張り試験において測定された場合に、約２Ｎ／インチ以上の積層強度を有する積層体に関する。本発明はさらに、金属または金属酸化物を含む複合層及び前記積層体に適したトリアジン化合物を含むトリアジン層にも関する。本発明はさらに、複合層を調製するための方法において、トリアジン化合物の蒸着により金属または金属酸化物層を伴う基板の上にトリアジン層を塗布するステップを含む方法であって、ａ）トリアジン化合物以外の化合物を金属または金属酸化物層に塗布するステップと、ｂ）その化合物が少なくとも部分的に液体状態にある間に、金属または金属酸化物層上にトリアジン化合物を蒸着させるステップとを含む方法にも関する。
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【課題】垂直に案内される基板を被覆するためのものであって、自動で連続してるつぼに材料を供給するコンパクトなベーパライザ装置を提供する。
【解決手段】本装置は、キャリアプレート３の一の側部に着脱自在に広げられるワイヤ供給ハウジング２と、るつぼ４０の上方に配置され、前記キャリヤプレート３の他の側部に着脱自在に広げられるリニアベーパライザ１とを有する。このベーパライザ装置の全部品は、キャリア・プレートだけに取り付けられているので、クリーンルーム内で迅速な取り付け又は取り外しが、粒子を生成することなく可能である。それに加えて、螺旋状加熱素子は、保護管に囲まれているので、蒸発される材料と接触することはない。 （もっと読む）

【課題】巻取り装置内でテープ材料を案内および延ばす遅延ロールであって、テープ材料が搬送方向に対し側方に拡張されることで、シワ無く滑らかに搬送する。
【解決手段】遅延ロール１のローラ心棒２の縦軸５に対してローラ心棒２と動作的に関連しているクランプベアリング７、８を有するばね弾性ベアリングホルダによって達成される。少なくとも１つのばね弾性ベアリングホルダは力トランスデューサ１３、１４として形成されている。 （もっと読む）

【課題】 動作時間が長く且つ速度測定により瞬時の制御が可能である有機蒸発器の提供。
【解決手段】 コーティング速度で基板に有機蒸気を適用するための有機蒸発器は、少なくとも１つのノズル出口を有する分配管と、有機蒸気の少なくとも１つの特徴的性質について測定データを得るための測定デバイスと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】より経済的であり、特に高価でない設備用途を可能にする、反りの少ない基板用キャリアを有する被覆設備を提供する。
【解決手段】基板キャリア１は、ガラス−セラミックから作られた板２から本質的に成る。ガラス−セラミック材は、これまでに使用されてきたＣＦＣ材料より高価でなく、短期間で配送される。また、ガラス−セラミック材は、耐熱性があり、低密度、低熱膨張を兼備した高い弾性係数を有し、弾性係数の温度依存性は、ＣＦＣ材料より低いので、加熱中の反りが少ない。 （もっと読む）

【課題】基板処理のサイクルタイムを減じる装置と方法を提供すること。
【解決手段】本基板処理装置１は、送り込み領域６と、コーティング処理用の第１〜４のプロセスチャンバ２、３、４、８と、取り出し領域７とを備える。これらのチャンバは中央搬送チャンバ５に接続される。第１と第４のチャンバ２、８はそれぞれロック領域６、７の一方と中央搬送チャンバ５との間に直列に配列される。第２と第３のチャンバ３、４は、互いに独立してアクセスされることが可能なように中央搬送チャンバに並列接続される。本処理方法によれば、ａ）基板を装置内に送み、ｂ）基板を第１のチャンバ内に搬送し、第１の処理ステージを実行し、ｃ）基板を中央搬送チャンバに搬送し、ｄ）基板を、代替的に第２又は第３のチャンバに搬送し、第２の処理ステージを実行し、ｅ）基板を中央搬送チャンバに搬送し、ｇ）基板を装置から取り出す。 （もっと読む）

【課題】機械の運転時における材料経費が低減されるコーティング機及びコーティング機の動作方法を提供すること。
【解決手段】スパッタリングによって基板をコーティングするためのコーティング機はプロセスチャンバを備えており、プロセスチャンバ内では、基板をコーティングするために、ターゲット３，３’からターゲット材料を基板の方向にスパッタ可能である。コーティング機は、ターゲットをプレスパッタするためにスパッタ方向Ｓから離れるように向く方向にスパッタ方向Ｓを合わせるとともに、ターゲットから材料をスパッタすることによって基板をコーティングするために基板に向く方向にスパッタ方向Ｓを合わせるための手段を特徴としている。アライメントの変化は、例えば、フラットカソード２，２’の長軸を中心に９０°又は１８０°の角度にわたってカソードを回転させることにより行なわれてもよい。 （もっと読む）

【課題】ロータリーカソードの揺動を補償する真空コーティング機械を提供する。
【解決手段】真空コーティング機械（１）において、駆動ユニット（６）は、上記駆動ユニットがロータリーカソード（１０）によって加えられる揺動に追従できるように、弾性中間プレート（１４）を用いてチャンバ筐体（３）に追従的に取り付けられるので、ロータリーカソードの自由端（１８）のサポートベアリング（１９）は剛性支持として堅牢設計が可能である。 （もっと読む）