【課題】センサーの状況変化により生じた計測誤差の校正方法を求める。特に冷陰極形電離真空計は生産現場においても校正が容易な方法を求める。
【解決方法】表示が正確な計測器と誤差をもつ計測器の表示がＥ２ＰＲＯＭのデータ参照方式で表示され，両者のセンサーが同一雰囲気中にあれば誤差の校正は容易に行えた。また冷陰極形電離真空計の校正もスポット式で簡単に行えた。 （もっと読む）

【課題】センサーの状況変化により生じた計測誤差の校正方法を提供する。特に冷陰極形電離真空計の生産現場における容易な校正方法を提供する。
【解決手段】表示が正確な計測器１２と誤差をもつ計測器１の表示がＥ２ＰＲＯＭのデータ参照方式で表示され、両者のセンサーが同一雰囲気中に配置された状態で校正を行なう。また冷陰極形電離真空計１の校正をスポット式行う。 （もっと読む）

【課題】安価、高精度、二系統の計測可能、を目的とした真空計を開発する。
【解決方法】熱陰極計電離真空計に電源と中央演算素子、および、これの付属回路を共有する冷陰極形電離真空形を組込んだ。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気またはガス雰囲気にある容器内において、真空度と温度の計測に、最も効果的な方法を具体化する。
【解決手段】温度計と真空計を単一ケース内に収納した。図３はその一例を示す。最上部の表示器は大型のものを用い、その時点の真空度と温度を交互に表示する。その下部に小型の表示器があり一段目と二段目は特定の温度設定値に達した時、また三段目と四段目は特定の真空度に達した時、外部に信号を送出する機能を持つ。これらに小型表示器の設定により温度と真空度の組み合わせ等、各種の使用方法が可能になった。 （もっと読む）

【課題】ガス放出が少ない冷陰極を使用し、丈夫で安価な電離真空計を提供することを目的とした。
【解決手段】熱陰極電離真空計（例．熱陰極Ｂ−Ａ型電離真空計）における熱陰極を，カ−ボンナノチューブによる冷陰極に置き換え、最小限の電極数で真空計を構成した。図中の１は容器で、４は金属円筒の内面にカーボンナノチュウブを固定した陰極、３は集電子電極、２は集イオン電極、および５は導入電極である。 （もっと読む）

【課題】ガス放出が少なく、丈夫な陰極をもつ電離真空計を提供することを目的とした。
【解決手段】熱陰極電離真空計（例．熱陰極Ｂ−Ａ型電離真空計）における熱陰極を，カ−ボンナノチューブによる冷陰極に置き換えた。図中の１は容器で、５は金属円筒の内面にカーボンナノチュウブが固定されている陰極、４は電子放出を促す引出し電極である。また３は集電子電極、２は集イオン電極、および６は導入電極である。 （もっと読む）

【課題】 三極管型熱陰極電離真空計において、測定管の内部電極と測定管内壁の脱ガス効果を向上させる。
【解決手段】 三極管型熱陰極電離真空計において、集イオン電極７を螺旋形状にし、電極の両端を導入端子１２、１３に接続する。この導入電極に電力を供給し、集イオン電極を加熱する。 （もっと読む）

【目的】 Ｂ−Ａ型熱陰極電離真空計において、機器の安定化を計り、併せて吸着ガスの放出を短時間で放出させる。
【構成】 一組の熱陰極をもつＢ−Ａ型熱陰極電離真空計において熱陰極と管壁の間に、遮蔽効果と通電時に発熱効果をもたらす螺旋状電極７を置く。 （もっと読む）