【課題】本発明は、特に、流体を真空室に噴射するための、ノズル装置（１）に関する。
【解決手段】ノズル流路の内輪郭は、少なくとも部分的に凹面状に形成されている。
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液体（２）から真空チャンバ（７０）の中で固体フィラメント（１）を製造するための、以下の行程を有する方法が開示されている。気体が熱交換器装置（２０）で液化され、液体（２）を製造され、この液体（２）は、供給ライン（２７）とノズル（３０）とを介して、真空チャンバ（７０）の中へと供給される。熱交換器装置（２０）でのガスの液化は、液体（２）のｐ−Ｔ作動点を調整することを有し、この作動点では、液体（２）は、固体凝縮状態へと転換され、ノズル（３０）から真空チャンバ（７０）の中へと排出された後に、コリメートされた安定したジェットを形成する。真空中で固体フィラメント（１）を製造するためのノズル装置も開示されている。
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