説明

ユニベルシテ、ド、フランシュ‐コントにより出願された特許

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本発明は、電気化学デバイスから受け取った少なくとも1つの変数(S)によって決まる少なくとも1つの特性値(Val)を取得するステップ(103)と、取得した特性値から前記デバイスの少なくとも1つの欠陥(D)を決定するステップ(105)とを含む、電気化学デバイスの欠陥を検出する方法に関する。この方法はウェーブレット変換を含む数学的操作を含み、その操作は受け取った変数(S)から特性値(Val)を取得するように行われる。本発明は、さらに、1つのそのような方法を行うデバイス、ならびに対応するコンピュータプログラムに関する。
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本発明は、半導体材料のブロック内に彫り込みを行うことによって形成されるセルフ・アセンブリング・デバイスに関し、前記彫り込みは、10μmより大きい厚さで行われる。本発明のデバイスは、歯の付いた駆動要素(10)と順次に噛み合う駆動要素(250)と、前記駆動要素(250)が駆動要素(10)の連続する歯(11、12、13)と噛み合うようにヒステリシス運動によって駆動要素を移動させるアクチュエータ(20)とを備える。このアクチュエータ(20)は、少なくとも1つの固定コーム(225、226)と可動コーム(235、236)とから構成される作動モジュール(201、202)を備え、各コームは一連のフィンガを備えている。前記可動コーム(235、236)は、固定コームのフィンガおよび可動コームのフィンガが互いの間で組み合うように固定コーム(225、226)に対して配置されている。前記発明は、固定コームと可動コームの間に電位差が与えられたとき可動コーム(235、236)が固定コーム(225、226)に対してそのフィンガに平行な方向に移動可能で、それによって駆動要素(250)を対応する方向に移動させることを特徴とする。
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