本発明は半導体製造工程で必要な薬液を供給する薬液移送装置に関するものであって、薬液が脈動なしで一定に供給されるように、互いに異なる吸入行程時点と排出行程時点を有する3つ以上のポンプを一列に配置したことを特徴とする。 （もっと読む）

導管１０を通過する流体の流れを制御する流量制御装置は、流体の流れに対して抵抗を発生させるウェッジ１２と、前記導管１０の上流側と下流側にそれぞれ配置され、前記導管の上流側における流入圧力と前記導管の下流側における流出圧力とをそれぞれ検出する圧力センサー２０−１，２０−２と、前記流入圧力と前記流出圧力との間の差圧に対応する流量を検出し、検出流量を設定流量と比較して、前記検出流量と前記設定流量との間の偏差によって計算された開度率で前記導管１０の流出側開度率を調節する流量制御部２２と、前記流量制御部によって調節された開度率を正確に一致させるために前記差圧の不正確な増加を感知する誤謬感知部２８とを含む。 （もっと読む）

【課題】サイクロン、これを有するスラリー分離装置、その装置を利用したスラリー供給システム、及び方法を提供する。
【解決手段】サイクロンは本体と旋回流出口部材を含む。本体は、流体が投入される取入通路、取入通路に連通し流体内の第１群粒子が排出される上端を有する円筒型通路、及び円筒型通路の下端に連結された上端と第１群粒子より大きい比重を有する第２群粒子が排出される開放された下端を有する円錐型通路を有する。旋回流出口部材は円筒型通路の上端に挿入される。円筒型通路から旋回上昇する第１群粒子が排出される第１排出通路が旋回流出口部材内に鉛直方向に形成される。円筒型通路の鉛直方向の長さは、円筒型通路の直径の０．５〜２倍で、円錐型通路の鉛直方向の長さは円筒型通路の直径の５〜９倍である。 （もっと読む）