【課題】プロセス材料を混合し且つ供給する方法の提供。
【解決手段】複数のプロセス材料を複数の材料供給管１８を通じて供給すること、複数の材料供給管の下流のスタティックミキサー２２内でプロセス材料を混合すること、コントローラと、プロセス材料混合体を表わす入力信号を提供すべくコントローラに接続された入力装置と、複数の材料供給管及びコントローラに接続された第一の弁２０と、を備えるプロセス制御システムにより、複数のプロセス材料の供給を調節すること、入口及び出口を有する保持容器内で複数のプロセス材料を保持すること、保持容器の入口及び出口に接続された再循環管１４内で複数のプロセス材料を再循環させること、再循環管及び複数の材料供給管に接続された第二の弁により複数のプロセス材料の一部分を複数の材料供給管の１つに向けること、とを備えた混合したプロセス材料を供給する方法。 （もっと読む）

【課題】質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および／動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成する方法を提供する。
【解決手段】さまざまな異なるタイプの流体および動作条件の下で一定の制御ループ利得を有するように質量流量コントローラを制御し、質量流量コントローラの製造中に使用されたものと異なる流体および／動作条件で動作するように質量流量コントローラを構成するシステムおよび方法。さらに、このシステムおよび方法には、非動作信号をソレノイド作動装置に供給することによってソレノイド作動装置のヒステリシスの影響を減らすことによって制御を提供することが含まれる。 （もっと読む）

【課題】プロセス流体の流れを受け取る流体入口および複数の流体出口を含む流体流れ制御システム。
【解決手段】複数の流体出口に、第１流体出口と少なくとも１つの第２流体出口が含まれる。第１流体出口は、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給し、少なくとも１つの第２流体出口は、プロセス流体の流れの残りの部分を供給する。１実施形態では、制御システムに、圧力変換器、第１乗算器、第２乗算器、第１フローコントローラ、および第２フローコントローラが含まれる。第１乗算器は、圧力変換器から受け取る圧力信号に、第１セットポイントをかけて、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給する第１フローコントローラを制御する。第２乗算器は、圧力信号に第２セットポイントをかけて、残りの部分を供給する第２フローコントローラを制御する。 （もっと読む）

【課題】正確な量の１つまたは複数の流体を提供する。
【解決手段】複数の流体出口に、第１流体出口と少なくとも１つの第２流体出口が含まれる。第１流体出口は、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給し、少なくとも１つの第２流体出口は、プロセス流体の流れの残りの部分を供給する。１実施形態では、制御システムに、圧力変換器、第１乗算器、第２乗算器、第１フローコントローラ、および第２フローコントローラが含まれる。第１乗算器は、圧力変換器から受け取る圧力信号に、第１セットポイントをかけて、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給する第１フローコントローラを制御する。第２乗算器は、圧力信号に第２セットポイントをかけて、残りの部分を供給する第２フローコントローラを制御する。 （もっと読む）