ファラデー箱を半透明な共振器（１）に設ける方法であって、前記共振器がマイクロ波で励起可能な材料を含む内部空間（２）を有し、前記内部空間内の発光プラズマを駆動するために前記共振器及び前記ファラデー箱内部のマイクロ波共振に適合するように構成されており、・前記半透明な共振器に導電性材料を蒸着する工程と、・不要な箇所の前記導電性材料が露出したままになるように、前記導電性材料上にフォトレジスト材料を適用し、パターン形成し、現像する工程と、・必要な箇所の前記導電性材料から、不要な箇所の前記導電性材料及び前記フォトレジスト材料を除去し、ファラデー箱となる導電性材料の細線網（１１）を残す工程と、・前記導電性材料のファラデー箱上に保護材料層を蒸着する工程と、からなるファラデー箱を半透明な共振器（１）に設ける方法が提供される。 （もっと読む）

厚い壁を有するランプ（１１）は、両端に取り付けられたモリブデン製のカップ封着（１０）を有する。この封着は、厚い壁のチューブのボアによって形成された空隙（１５）内に突き出したタングステン電極（１４）を有する。さらに、この封着は、厚い壁を有する石英製チューブ（１２）の端部に溶融された短くて薄い壁を有する石英製チューブ（１８）の端部に設置された羽根状の角部（１７）を有するモリブデン製カップ（１６）を備えている。これらの電極は、接合部（１９）でろう付けされる。このランプは、カップ封着部の前方に取り付けられた付属の排気管（２０）を介して、希ガスと金属ハロゲン化物その他の励起可能な材料の充填材によって満たすことができる。 （もっと読む）

ランプは、透明な石英材料からなるマイクロ波共振器本体（11）を有している。前記本体(11)は、ボア内に挿入された密封されたプラズマの筐体バルブ（17）を有する中央ボア（16）を有している。バルブ（17）も石英材料からなり、前記ボア（16）に密着して嵌合するような外径を有している。このバルブ（17）自身は引き抜かれた石英製チューブ（18）からなり、内面が滑らかなボア（19）を有している。端部の蓋体（20）は、チューブ（18）に溶融され、本体（11）のボア（21）内のアンテナ（７）を介して本体（11）にマイクロ波が供給されたとき、バルブ（17）内において発光プラズマを形成するように励起可能な材料を内包している。この本体（11）は、ファラデー箱（12）の内部で共振を確立できるように、本体（11）とバルブ（17）ならびに当該バルブ（17）の内部の充填材を包含した内部空間とのサイズを決められる。バルブ（17）と本体（11）の間の間隔は、共振目的上、一つと見なすことができるように無視できるほど小さくされている。バルブ（17）は、溶融（23）によって本体（11）に固定されている。 （もっと読む）

照明器具は石英ルツボ（２）の形で光源（１）を有し、当該石英ルツボはプラズマの空洞（３）を有する。パワーサプライは前記空洞の内部にプラズマを発生させるためのマイクロ波を供給するためのマグネトロン（５）を有する。エア導波路（６）は前記マグネトロンの下方に接続され、コネクタ（７）は前記導波路の下方に接続される。前記プラズマのルツボは、前記コネクタの底面に適合し、ファラデーケージ８によって囲まれる。前記ルツボがその焦点に位置するように、反射器（１１）は配置される。前記反射器は中央（開口部（１２））を有し、当該中央（開口部（１２））を通って、前記コネクタ（７）が突き出る。前記パワーサプライ用のケーシング（１６）の下側の半球形のシェル（１５）は、１つ以上の焦点調整スペーサ（１８）を介在させて、前記反射器を同様の開口部（１７）において支える。前記反射器は前記シェルにネジ（１９）で固定される。前記下側のシェルは上へそして半球形の前記反射器から離れるように曲がり、前記パワーサプライをそのボウルの中に囲み込む。冷却ファン（４３）は、前記ケーシングの上部に取り付けられ、（ダクト（４６）によって）支えられ、前記マグネトロンから上へ伸びる。前記ダクトはエアフローを前記マグネトロンの放熱フィンへ導く。それ故に、前記エアフローは前記反射器の開口部（１２，１７）と前記コネクタ７を有する前記下側のシェルとで形成される環状間隙（４７）へ下りそして通り抜けて流れる。したがって、前記コネクタは冷却され、そして、前記ルツボおよびその前記ファラデーケージ、当該ルツボおよび当該ファラデーケージは熱を持つ、も共にまた冷却される。前記冷却用空気は前記反射器と透明カバー（４８）の間の、前記反射器の底部に位置する間隙を通って前記照明器具から抜け出る。 （もっと読む）

光源は、マグネトロン（１）によって電力を供給され、励起可能な充填物を有するプラズマ空洞（８）を備える石英ルツボ（２）を備え、使用時には当該石英ルツボ（２）から光が放射される。二つのアルミニウム連結ブロック（３，４）が共に連結され、前記ブロック（３）は前記マグネトロン（１）のケーシング（５）にネジ（図示せず）で連結される。前記石英ルツボはファラデーケージ（６）によって前記ブロックに連結され、当該ファラデーケージ（６）はその縁部（７）で前記ブロック（４）に固定される穴のあいた金属包囲体の形状をなす。前記マグネトロンの出力構造（１１）は、当該出力構造（１１）に電気的に接触して適合する導電性の銅キャップ（１２）を有する。前記キャップは銅ロッド（１４）によって延長される。前記ロッドは、前記ブロック（３，４）を通って、前記ルツボ（２）内の内径（１５）の中まで伸びており、前記マグネトロンから前記ルツボの中にマイクロ波を連結する。空隙（１６）が前記ブロック３内において前記キャップ（１２）の周りに備えられる。前記キャップから、前記ロッドは、アルミナセラミックスチューブ（１７）内をごくわずかな空隙を有しつつ、この空隙と、前記ブロック（３）の終端壁の開口部に配置される前記ブロック（４）のボス（１８）と、を通過して伸びる。 （もっと読む）

２４５０ＭＨｚのＴＭ０１０モードで動作するため、石英製の半透明のルツボは直径４．９ｃｍで長さ２．１ｃｍである。中心軸と距離があるものの中央のボイド空間に近い端部にあるアンテナ凹部と共に、密閉されたプラズマのボイド空間は、中心軸上の中央に配置されている。様々なＴＥモードでも実施可能である。 （もっと読む）

無電極のマイクロ波のランプ１は、マイクロ波源としてのマグネトロン２と、内部でプラズマを発生させる励起可能な材料を有する半透明のルツボ５とを有している。前記マグネトロンからのマイクロ波を前記ルツボに結合させるために、中空の導波路の結合回路４が設けられており、入力部である前記マグネトロンの出力は一端から１／４λ離れた位置に設けられ、前記ルツボ対する入力である出力部が他端から１／４λ離れた位置に設けられている。 （もっと読む）

プラズマのルツボ（92）は、貫通孔（93）と、ルツボの端面（901,902）に貼着させた２つのチューブ（981,982）と、を有している。前記チューブの一方（981）は、ルツボを充填する前に閉じられる。チューブは加熱封止（チップオフ）され、ガラス旋盤において平らな端面（983）を有するように作用する。中身を排気し、ガスを充填した後、他方のチューブ（902）は、同様な方法で加熱封止（チップオフ）される。 （もっと読む）

通常、２．４５あるいは５．８ＧＨｚあるいはＩＳＭバンドの範囲内の別の周波数で駆動されるマイクロ波エネルギーの発振器及び増幅器の源（２）を備えたランプ（１）。当該源は、整合回路３を介して半透明の導波路（６）の凹部（５）に延びているアンテナ（４）へマイクロ波を伝播させる。この導波路は、石英からなり、バルブ（８）を収容する中央の空洞共振器（７）を有している。バルブは、石英からなる密封された円筒（９）であり、希ガスの充填物とマイクロ波で励起可能な材料を含んでおり、マイクロ波によって励起されると可視光を放射する。バルブは、中央の空洞共振器から伸びている脚用ボア（11）に受け入れられる脚（10）を有する。導波路は透明であり、バルブからの光は、反射面の影響を受けて、あらゆる方向に出て行くことができる。マイクロ波は、ファラデー箱によってその表面で制限を受け、導波路から出て行くことはできない。通常、これは、導波路の前面にＩＴＯコーティング（12）を備え、通常、背面で酸化ケイ素コーティング（13）と共に銀からなる光反射性コーティング（10）とワイヤ網（14）を備えており、ＩＴＯにも光反射性コーティングにも接して接地されており、ワイヤ網は、前面と後面の間の導波路の外縁に延びている。光は、集光して利用するためのワイヤ網を通過することができる。 （もっと読む）

ランプは発光共振器としての光源（１）、マグネトロン（２）、スタブ整合器（３）を備えている。反射器（４）は、光を略平行光とするように前記光源と前記スタブ整合器の接合部に設けられる。前記発光共振器は石英製の内側円筒と外側円筒からなる筺体（11）を備えている。これらはそれぞれ終端板（16、17）のある円筒状の管（14、15）である。前記共振器内部でマイクロ波に対する接地平面となるような大きさの網目を有するタングステン製ワイヤ網（18）は前記管と前記終端板の間にそれぞれ挟まれている。管と終端板からなる内外の各円筒は密封されている。アース接続部（18’）は前記網から前記円筒の外側へ伸びている。前記終端板に挟まれた前記ワイヤ網の間の前記筺体の軸方向の長さはそのマイクロ波の周波数に対してλ／２である。前記筺体の一端においてモリブデン製の駆動接続部19はタングステン製のディスク部（20）まで伸びている。このディスク部は前記筺体の端部の前記網からλ／１６離れた位置において前記筺体の軸Ａに対して横向きに配置される。前記筺体は励起可能なプラズマ材料、例えば希土類ハロゲン化合物の気体が充填されている。前記ディスク部はアンテナとして作用し、前記整合回路（３）を介して前記マグネトロン（２）によって駆動される。 （もっと読む）