説明

ヘレーウス クヴァルツグラース ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフトにより出願された特許

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石英ガラスプリフォーム又は石英ガラス構成部材の同軸の集合体の引き伸ばしによる光ファイバの製造方法は公知であり、この方法により、コア区域、コア区域を取り囲む内側クラッド区域、内側クラッド区域を取り囲む環状区域を有するファイバが得られる。上記方法から出発して、コアとクラッドとの間の境界面の高い品質及び低い曲げ感応性により傑出する光ファイバの低コストの製造方法のための方法、管状半製品並びに同軸の部材の集合体を提供するために、本発明により、環状区域の石英ガラスを、環状区域管の形で、少なくとも6000質量ppmの平均フッ素含有量を有する石英ガラスから準備し、前記環状区域管は、管の内部表面と管の外部表面とにより規定される壁部を有し、前記環状区域管の壁部にわたって半径方向のフッ素濃度プロフィールを調節し、前記フッ素濃度プロフィールは少なくとも1μmで最大10μmの層厚を有するフッ素貧有層を有し、前記フッ素貧有層内で前記フッ素含有量は管の内部表面に向かって低下し、かつ1μmの厚さを有する表面付近の領域では最大で3000質量ppmであることが提案される。
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本発明は、溶融鋳型内に粒子層を形成させ、該粒子層を石英ガラスるつぼの形成下に焼結又は溶融させることによる、単結晶引上げ用石英ガラスるつぼの公知の製造法をベースとしている。高純度である点で傑出しており、かつ、気泡不含となるように再現性よく調節することを可能にするばかりでなく、所定の均一な細孔性をも可能にする、石英ガラスるつぼのための石英ガラスの廉価な製造を提供するために、本発明によれば、該粒子層の少なくとも一部をシリカガラス顆粒から作製し、その製造が以下の方法工程を含むことが提案される:実質的に均一な回転楕円状のモルホロジーを有する圧縮成形体の形成下に、シリカ粉末をロールブリケッティング法を用いて機械的に圧密化する工程、及び該圧縮成形体又は該圧縮成形体の破片を熱的に圧密化し、シリカガラス顆粒にする工程。
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互いに接続された孔を有する無機のマトリックス材料製のモノリス状テンプレートを製造すること、テンプレートの孔に炭素または炭素前駆体を浸透させて、マトリックス材料で取り囲まれた炭素含有グリーン体骨格を形成すること、および該グリーン体骨格をか焼して、多孔質炭素製品を形成することを含む、多孔質炭素製品の製造のための公知の方法。ここから出発して、多孔質炭素製の製品の安価な製造を可能にする方法を提供するために、本発明によれば、テンプレートの製造がスート堆積プロセスを含み、その際、加水分解性または酸化性の、マトリックス材料の出発化合物を反応ゾーンに供給し、該反応ゾーン内で、加水分解または熱分解によってマトリックス材料粒子へと変換し、該マトリックス材料粒子をアグロメレート化またはアグリゲート化し、且つ、テンプレートへと成形することが提案される。
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石英ガラスシリンダを製造するための公知の製造方法では、長軸を中心に回転する担体(炭化ケイ素から成る層(SiC層)を有するもの)のシリンダジャケット面にSiO2粒子を堆積させることによって、多孔質のスートチューブを製造し、これを焼結して石英ガラスシリンダにする。ここから出発して、容易に取り外すことができる一方で、またスート体にとって汚染の危険性が僅かな、破断強度の高い担体を得るため、本発明によれば、SiC層をSiO2粒子堆積の前に酸素含有雰囲気で、高温下で処理することによって、酸化により厚さが少なくとも0.1μmのSiO2保護層を生成させることが提案される。
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第1の光学表面(7)および第1の光学表面と同じ湾曲方向を有する第2の光学表面(8)を有するマイクロリソグラフィー機器において使用するための合成石英ガラスからなるメニスカスレンズを製造するために、SiO2粒子は、珪素含有出発化合物の酸化または火炎加水分解によって形成され、および層毎に担体上に、成長方向に延びる面法線を有する複数の層を含む円柱体状のSiO2半加工品の形成下に堆積される。光学的性質または機械的性質のできるだけ僅かな損傷を生じさせる層を可能にするために、本発明によれば、未完成品を熱成形法で変形力の作用下でプレフォーム(6)に可塑的に変形し、このプレフォームは、少なくとも第1の湾曲した表面(7)を有し、この湾曲した表面内で層は、湾曲方向で湾曲して延在し、このプレフォームからメニスカスレンズを得ることが提案される。
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溶融坩堝が坩堝内室を有していて、該坩堝内室が坩堝中心軸線の方向で延びていて、側壁と底部とによって画定されている、溶融坩堝から石英ガラスシリンダを引き抜く公知の方法では、溶融坩堝にSiO造粒物を供給し、溶融坩堝内において軟化させて粘稠性の石英ガラス材料を形成し、該石英ガラス材料を第1の引抜き装置を用いて、溶融坩堝の底部に設けられた第1の引抜きノズルを通して、シリンダ形の石英ガラスストランドとして、鉛直方向下方に向かって引き抜き、石英ガラスシリンダを裁断によって生ぜしめる。この公知の方法を出発点として、均一な石英ガラスシリンダの製造及び同時に高い生産性を可能にするために、本発明では、少なくとも1つの第2の石英ガラスストランドを、溶融坩堝の底部に設けられた少なくとも1つの、別の第2の引抜きノズルを通して引き抜き、第1の引抜きノズルと第2の引抜きノズルとは互いに間隔をおいて、かつ坩堝中心軸線に対して偏心的に配置されている。
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坩堝引き上げ法において使用するための公知の溶融坩堝の場合には、坩堝内部空間に対向した、坩堝壁の内側は、少なくとも部分的に貴金属からなる保護層で被覆されている。公知の溶融坩堝は、実際に石英ガラス溶融液と比較して良好な耐蝕性を有するが、しかし、材料費は、高価な被覆材料のために高い。僅かな材料費で良好な耐蝕性を示す、石英ガラスのための坩堝引き上げ法において使用する溶融坩堝を提供するために、本発明によれば、保護層(2)が20℃〜1800℃の温度範囲内で相数変換を全く受けない、気密な酸化物材料からなり、坩堝内部空間(17)が収容すべき石英ガラス材料(27)の上方でガス空間(17)を有し、および保護層(2)が専らガス空間(17)との境に接する、溶融坩堝の内側の表面上に設けられていることが提案されている。
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石英ガラスから成る円筒形の光学素子が公知であり、光学素子は、内側域ガラスから成る、長手軸線方向に延在する内側域を備え、内側域は、外側域ガラスから成る外側域により包囲され、外側域の平均厚みは、光学素子の長手軸線方向にみて外側域の長さの少なくとも一部にわたって変化する。石英ガラスから成るこのような構成素子の簡単で安価な製造を実現する方法を提供するために、本発明によれば、(a)内側域ガラスから成る第1のプリフォームを準備し、第1のプリフォームは、外側円錐形の接触面を備え、(b)外側域ガラスから成る第2のプリフォームを準備し、(c)外側域ガラスに外側円錐形の接触面を埋め込み、接触面を外側域ガラスと溶接して、複合プリフォームを形成し、複合プリフォームは、接触部に、内側域ガラスから成る円錐形の内側域を備え、内側域は、内側円錐形の外側域により包囲され、(d)複合プリフォームを延伸して、光学素子または光学素子の中間製品を形成する、ステップを有する方法が提案される。
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合成石英ガラスからのファイバ製造の際に使用するための寸法的に正確な半製品を製造する公知方法の場合、石英ガラスの内側シリンダの外壁上に煤状SiO2層が施こされ、この煤状SiO2層は、燒結処理に掛けられ、この場合燒結帯域は、外側から内向きに煤状SiO2層を通じて移動する。これから出発して、一面で寸法的に正確で変形の少ない製造を達成させ、他面、高い費用有効性を達成させるために、本発明によれば、燒結処理を中断することが提案され、その後に燒結帯域は、内側シリンダの外壁に到達し、したがって、内側シリンダの外壁上に、細孔を含む合成石英ガラスからなる中間層が残存する。こうして得られた半製品は、光学的構成要素に引き伸ばされ、その際、中間層は、完全に透明な石英ガラスに燒結する。
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本発明の課題は、フッ素でドープされた石英ガラスを製造するための一般的に知られた方法を改良することであり、その際、SiO粒子は、フッ素の存在下で、プラズマ堆積法により形成され、その長手軸につき回転しているシリンダ状石英ガラス支持体の外被上で層状に堆積させ、かつガラス化することで、少なくとも1.5質量%のフッ素含量を有する石英ガラスの層を形成し、このような方法で、UV波長領域での極めて高い基礎透過率により特徴付けられる、高いフッ素含量を有する石英ガラス半製品が得られる。この目的のために、支持体は、少なくともその外被領域で石英ガラスの少なくとも一つの受け層を有し、この場合、この受け層は、200質量ppmの最小ヒドロキシル基含量及び/又は1×1017分子/cmの最小水素含量を有し、かつ支持体は、フッ素ドープされた石英ガラス層の堆積に引き続いて十分又は部分的に取り除く。
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