【課題】簡易な構成によって、ＬＥＤチップを含む紫外線照射ユニットを連続して効率的に冷却することが可能な紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】ハウジング１２０は、冷却水導入部１２８および冷却水排出部１２６を少なくとも有する。複数のＬＥＤチップ４０のそれぞれは、発光素子４２、アノード電極４６、およびカソード電極４４を少なくとも有する。冷却ブロック５０は、導電性部材から構成されており、カソード電極４４を含むＬＥＤチップ４０におけるアノード電極４６以外の箇所に当接するように構成される。また、冷却ブロック５０は、少なくとも一部が接地されるように構成される。冷却部材５０は、冷却水導入部１２８および冷却水排出部１２６に水密的に接続され、冷却水導入部１２８および冷却水排出部１２６を連通するように構成された冷却水通過孔５２を備える。 （もっと読む）

【課題】プロセスガスの供給しつつワークに対して紫外線を照射する際に、ワークを回転させる回転機構等の複雑な構成を備える必要をなくし、かつ、ワークの全面に対して均質な処理を行うことが可能な紫外線照射装置用フランジ部材および紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】フランジ部材２０は、窓部材支持部５２４およびプロセスガス案内部を備える。プロセスガス案内部は、下側フランジ板５２における各窓部材支持部５２４の周囲に形成された溝５２０と、溝５２０と処理チャンバ１４内部とを連通するように鉛直方向に形成された複数のプロセスガス噴出孔５２２と、上側フランジ板５４に設けられガス供給装置２２から導入されたプロセスガスを溝５２０に導入するための導入孔５４２によって構成される。 （もっと読む）

【課題】平面状の被照射体に対して効率よく均一に、かつ安定してエキシマ光を照射することができるとともに、使用する放電用ガスの交換によって複数種類の波長のエキシマ光の何れかを選択的に照射することができるようにする。
【解決手段】放電容器２を、側面に流入口２１１及び流出口２１２を備えるとともに厚さ方向に直交する２面の一方が開放面にされた筐体形状の本体２１と、開放面に接合される平板状の蓋体２２で構成した。蓋体２２は、加工容易な平板状であるため、広い波長域のエキシマ光に対する透過性の高いフッ化物で構成できる。本体２１の流入口２１１を経由して放電容器２内に放電用ガス供給装置９から処理内容に応じた波長のエキシマ光を発生する放電用ガスを選択的に供給できる。放電容器２内で発生したエキシマ光は、平板状の蓋体２２の全面から均一に照射される。 （もっと読む）

【課題】照射すべき平面にエキシマ光を効率よく均一に、かつ継続的に安定して照射できるようにする。
【解決手段】エキシマ照射装置１に、放電容器２、窓側電極層３、背面側電極層４、電源装置５、電極側窓部材６、被照射体側窓部材７及びガス供給装置９を設けた。放電容器２は、紫外線を透過させる材料で構成され、放電用ガスを封入した薄箱形状を呈し、厚さ方向に直交する互いに平行な２平面の一方を被照射体に対向する窓面２Ａとしている。窓側電極層３は、窓面２Ａの外側面に貼付され、紫外線を透過させる。電極側窓部材６は、窓側電極層３の外側面に密着して配置され、紫外線を透過させる。被照射体側窓部材７は、電極側窓部材６の外側に電極側窓部材６との間に間隙１２を設けて配置され、紫外線を透過させる。ガス供給装置９は、間隙１２に不活性ガスを流通させる。 （もっと読む）