【課題】反射性表面を有する対象物をほぼ自動的に迅速に検査する方法および装置を提案する。
【解決手段】一方向（４６）に分配した多数の表面点（５４，５８，６２）を備える対象物（２６）の表面（２８）を光学的に検査するための装置は、明暗パターン（１６ａ，１６ｂ）を生成するパターン生成器（１２）と、それぞれ１つの表面部分（５２，５６，６０）のみを示す画像（ａ〜ｆ）を撮影するカメラ（３２）と、カメラに対して所定方向（４６）に対象物を移動させ、表面点を連続的に検出する加工物収容部（２０）と、パターン生成器、加工物収容部およびカメラを制御し、明暗パターンと共に表面点を撮影する制御・評価ユニット（３４）とを備える。関連した時系列で、パターン生成器は異なる明暗パターンを準備し、カメラは常に同じ表面点に向けられ、明暗パターンは同じ周期（２４）の強度分布（２２）を備え、配列の３つの明暗パターンは、異なる位相位置で配置された同じ強度分布を有する。 （もっと読む）

【課題】対象物の光学的検査のための装置及び方法を提供する。
【解決手段】支持要素に、光源のアレイ（３２）を形成する複数の光源（３０）が配列される。撮像ユニット（３４）が、対象物の複数の画像を撮影するために使用される。さらに、評価及び制御ユニット（３６）が、画像に基づいて対象物の特性を決定する。支持要素は、回転方向の回転の際に、対象物を収容するための検査空間（４４）を画定する。さらに、アレイは、回転の際に、回転方向で第１の横方向の広がり（４６）を有する外被面（４２）を画定する。アレイは、回転方向で第２の横方向の広がり（１０４）を有する。第２の横方向の広がりは、外被面の第１の横方向の広がりよりも小さい。評価及び制御ユニット（３６）は、光源を用いて可変の明暗パターン（４９）を外被面全体の上に生成するために、支持要素の現在の回転位置に基づき光源を制御するように形成される。 （もっと読む）

【課題】自動的に、素早く、信頼性良く、高い精度で物体の表面を光学検査するための装置および方法を提案する。
【解決手段】物体（５６）の表面（５８）を光学検査するための装置（１０）は、空間的な第１周期を有する空間的な第１強度分布（３１）を形成する、多数の明るい領域および暗い領域（２９，３０）を有するパターン（２８）と、第１強度分布が表面にあたるように、表面を有する物体をパターンに対して位置決めする収容部（５４）と、表面（５８）に対して所定の変位距離だけ第１強度分布を変位し、表面が、変位距離に沿って第１強度分布に対して異なる多数の位置をとるようにする制御ユニット（２０）と、表面を第１強度分布と共に異なる位置で示す多数の画像を撮影する撮像ユニット（５０）と、画像に関係して表面特性を決定する評価ユニット（４６）とを有する。測定装置（４８）は、物体に対して第１強度分布の現在位置を決定する。 （もっと読む）

【課題】物体の少なくとも部分的に反射する表面を光学的に検査するための方法および装置において、検査時のパターンの精度を安価な方法で改善する。
【解決手段】物体（５０）の部分的反射表面（５２）を光学検査する方法では、空間的な第１周期（７０，７１）で空間的な第１強度分布（３４，３６，６８，９２，９４）を形成する多数の明るい領域および暗い領域（３０，３２）を有するパターン（２８）を準備し、第１強度分布が表面にあたるように物体をパターンに対して位置決めし、所定の変位距離（６９）だけ第１強度分布を表面に対して変位し、表面が、変位距離に沿って第１強度分布に対して異なる多数の位置をとるようにし、光強度を検出する画像センサ（４０）により多数の画像を撮影し、表面を第１強度分布と共に異なる位置で画像により示し、画像に関係して表面特性を決定する。画像の撮影時に第１強度分布の光強度を所定の特性曲線（８２，９０）によって変化させる。 （もっと読む）

【課題】 対象物の表面を光学的に検査するための方法および装置を提供する。
【解決手段】 対象物（２６）の表面（３２）を光学的に検査するために、第１の周期を有する第１の強度推移を形成する多数のより明るい領域およびより暗い領域を有する第１のパターンが提供される。対象物（２６）は、表面（３２）と共にパターンに対し位置決めされる。このことは、第１の強度推移が表面（３２）に入射するように行われる。次に、第１の強度推移は、規定の移動距離（１２６）だけ表面（３２）に対し移動される。この移動距離（１２６）に沿って、表面（３２）は、第１の強度推移に対し多くの異なる位置を占めることができる。さらに、第１の強度推移を有する表面（３２）をそれぞれ異なる位置で示す多数の画像が記録される。これらの画像を用いて、表面（３２）の性質が決定される。本発明の一形態によれば、第１のパターンは、規定された原点に対し回転対称を有する。 （もっと読む）

少なくとも一部が反射性を呈する物体表面の光学的検査装置は，それぞれ円弧セグメント状セクション（32）を形成する第１及び少なくとも１つの第２クロスビーム（12, 14）を具える。クロスビーム（12, 14）は互いに，長手方向（17）に間隔（D）をおいて配置されている。クロスビーム（12, 14）は複数の長手方向ビーム（16）により長手方向間隔（D）で保持されている。長手方向ビーム（16）は円弧セグメント状セクション（32）に対して所定の半径方向間隔（38）をおいて配置されている。クロスビーム（12, 14）はトンネル状検査スペース（36）を形成する透光性の拡散スクリーン（34）を支持する。複数の光源（48）がトンネル状検査スペース（36）の外側で拡散スクリーン（34）の背後に配置され，これらの光源は拡散スクリーン上に可変明暗パターンを（90）を生成すべく，個別的に又は少数の群単位で制御可能とされている。トンネル状検査スペース（36）内に向けて，少なくとも１台のカメラ（74, 78）が配置されている。
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