【課題】低い純度、複雑な操作及び高いエネルギー消費量を必要とするという問題を解決することのできる超高純度過酸化水素水の生産方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る超高純度過酸化水素水の生産方法は、工業級過酸化水素水を、０．１〜０．１５ＭＰａの圧力下、キレート化吸着剤を備えたＳＢＡ−１５分子篩でろ過してから、限外ろ過膜でろ過して超高純度過酸化水素水を得る手順を含んで行い、前記キレート化吸着剤は、分子内に水酸基又はカルボキシル基を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は超高純度電子級化学試薬生産方法に係り、工業級純度の試薬を原料として、化学前処理、濾過を経て、取得する濾過液を精留する。
【解決手段】精留プロセスで、蒸気を加熱して過熱蒸気を形成し、過熱蒸気が微小孔のある膜を通して不純物固体顆粒を濾過で除去する。蒸気を冷却した後、二級膜濾過を行い、ほこり顆粒を除去する。上記の設計を通じて、本発明の超高純度電子級化学試薬生産方法はSEMI-C12標準に合う超高純度電子級イソプロパノール及びSEMI-C8標準に合う超高純度電子級塩酸の大規模の連続化生産に適する。 （もっと読む）

【課題】従来のＮ−メチル−２−ピロリドンの製造方法では、品質が不安定で、工業化の連続性生産に適応できなかった。
【解決手段】本発明は工業用Ｎ−メチル−２−ピロリドンを原料とし、事前処理、４Ａ分子篩で吸着・脱水を行い、それぞれβ−シクロデキストリン複合膜、１８−クラウン−６複合膜を通して２回の膜ろ過を行い、ろ液を減圧精留し、収集された留分を凝縮させて微多孔膜を通して３パス膜ろ過を行うことによって所望の生成物を得る。本発明の方法により得られる高純度Ｎ−メチル−２−ピロリドンの純度が９９．８％以上で、水分含有量が０．０３％より小さく、単一金属イオン含有量が１ｐｐｂより小さく、国際半導体設備及び材料組織により設定された化学材料部分８級（ＳＥＭＩ Ｃ８）標準に適合する。 （もっと読む）