【課題】補助試料の形状誤差や取り付け誤差による影響を低減可能で、芯出し誤差を定量的に算出しつつ、高精度かつ短時間で芯出しを行うことができるプローブの芯出し方法を提供する。
【解決手段】球体から成る補助試料３０の中心が回転手段１０の回転軸１０ａ上に位置するよう、補助試料３０を回転手段１０に設置し、補助試料３０の表面の座標をプローブ２０で測定する。測定後、補助試料３０をその半径以内の距離だけ、回転軸１０ａに対して垂直な方向に移動させる。回転手段１０を回転させて９０度間隔の４つの回転角度の位置で、移動させた補助試料３０の表面の座標をプローブ２０により測定する。その測定した座標と補助試料３０の移動前に測定した座標とに基づいて、回転手段１０の回転軸１０ａとプローブ２０の先端の位置とのずれをベクトルとして求める。求めたベクトルに応じて、プローブ２０の位置を調整する。 （もっと読む）