【課題】 生産性が高く、歩留まりも良い中心部分にエネルギーを集中させ、高いＱ値を有する水晶振動子を提供しようとするものである。特にエッチングの工程の数が少なく、これによって生産性を高くすることのできる水晶振動子を提供する。
【解決手段】 水晶素板の母材に特定の高さの凸部を形成し、この凸部に特定の深さの溝を多数形成し、その溝の幅を水晶素板の外周部から中心に向かって次第に小さくなるようにすることによって、水晶素板の外周から中心に向かってディユーティが大きくなるようにした。 （もっと読む）

【課題】孔内傾斜及び地下水位の計測を容易且つ安価に行うことができるとともに、地下水位の上昇と地盤変動との関係について信頼性の高いデータを得ることが出来る地盤変位測定装置を提供する。
【解決手段】地盤に掘削したボーリング孔４に挿入されたケーシングパイプ１内に、ケーシングパイプ１の傾斜角度を測定可能とする傾斜センサーを配置した傾斜センサー配置部２と、ケーシングパイプ１内に浸入した地下水の水位を測定する水位計１３及び／又は地下水検層ゾンデを挿入するための地下水流通部３とを、それぞれ個別にケーシングパイプ１の軸方向に形成し、地下水流通部３には、水位計１３及び／又は地下水検層ゾンデを交換可能に挿入配置するとともに、ケーシングパイプ１の壁面には、地盤と地下水流通部３との間で地下水の流出入を可能とする複数の流通孔３３を、ケーシングパイプ１の軸方向に配置する。 （もっと読む）

【課題】濃度の低い水素が空気中に混在していても容易に検出可能であり、また環境温度が変化しても正確に水素濃度を測定することができる水素センサを提供する。
【解決手段】水晶板１の第１領域２に水素反応触媒層４を形成し、水晶板１の表面の第２領域３に水素非反応層５を形成し、水素反応触媒層２によって水素が酸化され、酸化熱による水晶板１の第１領域２の固有振動数の変化を水晶板１の第２領域５の固有振動数を基準に測定して水素濃度を測定するようにしたため、環境温度によって水晶の結晶の固有振動数が影響を受けても、測定値に与える影響を小さくした。 （もっと読む）

【課題】どのような角度にも設定が可能で、所定の角度でない場合には自動的に動作を制限する機能を有し、不用意な角度で動作しないようにすることが可能な動力工具を提供しようとするものである。
【解決手段】ツール４の軸の傾斜を検出する傾斜センサー５を有し、その傾斜センサー５の出力するデータが所定範囲外であった場合に、ツール４の動作を行わないように制御する制御装置６を設け、所定角度で立設されたボルトなどの軸と一致しないと動作しないようにした。 （もっと読む）

【課題】安定した大きなオーバーハングを形成することによって十分な厚さの金属薄膜を基板の上に形成する薄膜パターンの形成方法を提供しようとするものである。
【解決手段】基板１の上のフォトレジスト層３を露光させ、その後１次現像によってフォトレジスト層３とリフトオフレジスト層２の一部を除去し、フォトレジスト層３を現像液に対する耐性処理を行い、２次現像によってリフトオフ層２の一部を除去することによってフォトレジスト層３にオーバーハングを形成し、その後に金属薄膜５の形成を行い、その後フォトレジスト層３をリフトオフレジスト層２とともに除去するようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は製造が容易で、正確に傾斜を検出することのできる傾斜センサを提供しようとするものである。
【解決手段】本発明は以上のような課題を解決するため、単結晶水晶基板の上に固定部１に対して変位する変位部２を有し、加速度によって変位部２が変位し、これに伴う固定部１と変位部２との間の静電容量の変化で変位部２の変位量を測定するようにしたセンサ素子を一対設けるものであって、水晶の結晶のＸ軸に対して互いに４５°離れてＸ軸に対して１８０°線対称の位置に一対のセンサ素子を形成した。これによって一対のセンサ素子は互いに９０°の角度をもって正確に形成され、一対のセンサ素子の出力によって正確にあらゆる方向の傾斜を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は製造が容易で、感度の極めて高い傾斜センサを提供しようとするものである。
【解決手段】本発明は以上のような課題を解決するため、固定部１に対して変位する変位部２を有し、加速度によって変位部２が変位し、これに伴う固定部１と変位部２との間の静電容量の変化で変位部２の変位量を測定するようにしたもので、これによって感度を上げるには変移部２の質量を大きくすることで容易に対応可能である。また幅狭部４のバネ定数を小さくすることができ、これによっても感度を上げることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は精密加工装置などを設置するのに適した水準テーブルを提供するものであり、傾斜した床に設置しても自動的にテーブル面を水平或いは所定の傾斜にする水準テーブルを提供しようとするものである。
【解決手段】本発明は以上のような課題を解決するため、少なくとも４本の足４〜７を有し、各足４〜７の高さを調整するモータと、水準テーブル面１の２次元の傾斜を検出する傾斜検出器３とを備え、傾斜検出器３の出力データより傾斜の方向と大きさを演算し、これによって得られるベクトルと目標値ベクトルとの差を演算し、その差を表すベクトルと点対称のベクトルを演算し、点対称のベクトルによって足４〜７の高さを調整するモータを動作させテーブル面１の水準を自動調整するようにしたため、自動的に正確にテーブル面１の水準を調整することができる。 （もっと読む）