【課題】ＶＯＣの除去効率を極大化することが出来るＶＯＣ除害装置を提供する。
【解決手段】ＶＯＣ除害装置１０を、処理対象ガス通流路２８を有するＶＯＣ除害炉１２と、一対の蓄熱材３２と、一対の蓄熱材３２の間に配設されたヒータ３４と、一対の処理対象ガス導入管１４と、一対の処理対象ガス排出管１６と、一対のＶＯＣ吸着材１８と、一対の空気導入管２０と、いずれか一方の処理対象ガス導入管１４が閉じられた状態を交互に繰り返す一対の処理対象ガス導入管用バルブ２２と、処理対象ガス導入管用バルブ２２とは逆の開閉状態を繰り返す一対の処理対象ガス排出管用バルブ２４と、処理対象ガス排出管用バルブ２４とは逆の開閉状態を繰り返す一対の空気導入管用バルブ２６とで構成することにより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】ＶＯＣの除去効率を極大化して、ＶＯＣの濃縮度を高め、かつ自燃させることのできるＶＯＣ除害装置を提供する。
【解決手段】ＶＯＣ除害装置１０を、処理対象ガスＦからＶＯＣを吸着除去する複数のＶＯＣ吸着体１２と、ハウジング１１と、加熱された再生ガスＨをＶＯＣ吸着体１２に供給する再生ガス供給装置１４と、処理対象ガスＦと加熱された再生ガスＨとの通流を交互に切り換えるガス切換装置１６と、ＶＯＣ除去済みの処理対象ガスＦ’を大気放出する処理対象ガス排出ダクト４６とで構成し、再生ガス供給装置１４を、再生ガスＨを循環させる再生ガス循環ダクト２０と、ＶＯＣを含有する再生ガスＨを受け入れ、導入した酸素によってＶＯＣを燃焼させる燃焼炉２２と、再生ガスＨの一部を処理対象ガス排出ダクト４６に流す再生ガス排出ダクト２８とで構成することにより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】第１処理対象物質Ｘの熱分解で生成される中間生成物質が、第２処理対象物質Ｙと爆発的に反応し、かつ、第２処理対象物質は、第１処理対象物質の熱分解によって生成される物質と反応して熱分解されるといった２種類の処理対象物質を安全かつ安定的に継続して効率的に熱分解する熱分解装置を提供する。
【解決手段】熱分解装置１０を、３つの熱分解空間４０、４２、４４と、第１熱分解空間４０および第２熱分解空間４２の上端部を連通する第１連絡路４８と、第２熱分解空間４２の上端部および第３熱分解空間４４の上端部を連通する第２連絡路５０と、第１熱分解空間４０および第３熱分解空間４４に設けられたヒータ２４と、第１処理対象物質導入路５２と、第２処理対象物質Ｙを第２熱分解空間４２の下端部に導入する第２処理対象物質導入路５４とで構成することにより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】太陽電池製造装置から排出されるセレン化水素を熱分解することによって生成される二酸化セレンを確実かつ安全に回収することのできる二酸化セレン回収装置を提供する。
【解決手段】二酸化セレン回収装置１４を、バッファー空間４４の温度を二酸化セレンＧの気化温度以上に維持する温度維持手段４６を備えるバッファー室３４と、二酸化セレンＧを固化温度以下に冷却して処理対象ガスＦから固体状の二酸化セレンＧを分離する二酸化セレン分離室３６と、処理対象ガスＦ中に残留する固体状の二酸化セレンＧを乾式集塵する乾式集塵室３８とで構成し、バッファー室３４と二酸化セレン分離室３６との間、および二酸化セレン分離室３６と乾式集塵室３８との間に通流路５０、６６の断面積を部分的に小さくするバッフル５４、７０を設けることにより上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】十分な伝熱面積を確保しながらも、内部の清掃やメンテナンスを容易に行うことのできる熱交換器を提供する。
【解決手段】筒状の本体ケーシング１４と、本体ケーシング１４の内部空間１４ｅを高温側流体通流路３４および低温側流体通流路３２に分割するとともに、高温側流体通流路３４および低温側流体通流路３２内にそれぞれ突き出しており、内部にその突き出し方向とは反対面に開口する内側空間３７を有する中空突出部３６を備える伝熱板１６と、本体ケーシング１４の側壁１４ｃ、１４ｄにおける、中空突出部３６の内側空間３７に対応する位置に設けられた点検開口２８ａ、２８ｂ、および点検開口２８ａ、２８ｂをそれぞれ開閉する点検ハッチ１８ａ、１８ｂと、点検ハッチ１８ａ、１８ｂから中空突出部３６の内側空間３７に至り、点検開口２８ａ、２８ｂからそれぞれ挿脱可能に設けられた複数の整流板４２とを備えることにより、上記課題を解決した熱交換器１０を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】処理すべき処理対象ガス量に応じて省スペース化することのできる排ガス除害装置を提供する。
【解決手段】本発明の排ガス除害装置１０は、ハロゲン化合物を含む処理対象ガスＦを囲繞し、その内部における高温の熱分解領域にて処理対象ガスＦの熱分解を行い、熱分解した熱分解排ガスＧを熱分解排ガス排出孔３４から排出する反応炉１２と、反応炉１２が挿設されているとともに反応炉１２から排出された熱分解排ガスＧを外部へ排出する排気孔４４が設けられており、熱分解排ガスＧを排気孔４４まで導くガス流路４６が内部に形成された装置本体１４とを備えており、ガス流路４６には、熱分解排ガスＧに含まれるハロゲン物質と反応してハロゲンを熱分解排ガスＧから除去する反応材Ｘが充填されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シラン系ガスを含む処理対象ガスの加熱分解によって生じたシリカが融解することによる閉塞を回避できる熱処理炉およびこれを用いた排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】熱処理炉１２を、内部に高温の排ガス処理空間２０ｅを有する炉本体２０と、排ガス処理空間２０ｅに少なくともシラン系ガスを含む処理対象ガスＦを供給する処理対象ガス供給手段２２と、排ガス処理空間２０ｅに、処理対象ガスＦの熱分解に必要な空気に加えて、排ガス処理空間２０ｅの温度をシリカの融点以下にする温度調節用の空気を供給する空気供給手段２４とで構成することにより、上記課題を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】フッ素化合物の熱分解時における反応器の内部の減肉を極小化して長期間連続して使用することのできるガス処理装置を提供する。
【解決手段】フッ素化合物を含んだ処理対象ガスＦを囲繞し、その内部における高温の熱分解領域Ｒにて処理対象ガスＦの熱分解を行う反応器２４を備えるガス処理装置１０において、熱分解領域Ｒに面する反応器２４の内面に、酸化マグネシウム、酸化バリウムおよび酸化セリウムから選択された１種類以上の物質からなる耐火材を用いることにより、上記課題を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】熱処理炉の連続稼働時間を飛躍的に長くするとともに、漏電の危険性を低下させることのできる熱処理炉用のヒータ回路を提供する。
【解決手段】ヒータ回路10を、n個のリレー12と（nは、2あるいは2よりも大きい整数）、各リレー12のそれぞれに電気的に接続されたn個のヒータ14と、熱処理炉30の内部温度に応じて、ヒータ稼働基準サイクルタイムAをn等分した時間をヒータ個別稼働サイクルタイムBとしたときにおける「ヒータ個別稼働サイクルタイムB×(n−１)」の時間内で、各ヒータ14が稼働するヒータ個別稼働時間Cを決定してヒータ個別稼働時間信号S3を出力する温度調節回路16と、ヒータ個別稼働時間信号S3を受け、各リレー12に対してヒータ個別稼働サイクルタイムBを空けて順にヒータ個別稼働時間Cだけヒータオン信号HSを出力するオン信号出力回路18とで構成することにより上記課題を解決することができる。 （もっと読む）

【課題】可燃性ガスを大量に含んだ排ガスを除害処理したときでも逆火のおそれがなく、かつ、従来の入口スクラバに比べて排ガスの洗浄効果を高めることができる排ガス除害装置を提供する。
【解決手段】半導体製造装置から排出される、可燃性ガスを含む排ガスＦを洗浄する洗浄水Ｗを貯留する洗浄水タンク２０と、下流端２２ｂが洗浄水タンク２０に貯留された洗浄水Ｗ中に開口され、排ガスＦを洗浄水タンク２０の導入する排ガス導入ダクト２２とを有する排ガス洗浄器１２、および排ガス洗浄器１２で洗浄された排ガスＦを受け入れ、排ガスＦ中の熱分解性ガスを熱分解する熱分解炉１４で排ガス除害装置１０を構成することにより、上記課題を解決することができる。 （もっと読む）