【課題】この発明は、プラズマ周縁での漏れマイクロ波を防止することのできるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】この発明は、ワークが移動する処理空間を画成する真空容器と、該真空容器の外部に取り付けられるマイクロ波の導波管と、前記真空容器の一部を構成すると共に前記導波管と接して設けられるマイクロ波導入窓と、該マイクロ波導入窓と前記処理空間との間の画成されるプラズマ発生空間とを少なくとも有するプラズマ処理装置において、前記プラズマ発生空間の側縁を規制する側縁規制部を設けたことにある。また、前記側縁規制部の中央側縁部から前記処理空間へ突出するプラズマガイド部を設けることが望ましい。前記プラズマガイド部の先端には、前記ワークに対して幅が拡大する拡大ガイド部が設けられることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】大面積化および均一化を図るとともに、マイクロ波パワー増加に伴う密度ジャンプを抑制し、プラズマ放電の熱的安定性を図る。
【解決手段】マイクロ波プラズマ発生装置を励起マイクロ波を発生するマイクロ波源と、プラズマガス源と、前記プラズマガス源からガスが供給されるプラズマ発生用の真空容器と、前記容器内に励起用のマイクロ波を導入する同軸導波管と、前記同軸導波管の外導体３３に固着された第１導体２１、同軸導波管中心導体３２に接続されるとともに第１導体２１に装着された石英板２３、石英板２３に固着され、マイクロ波を前記真空容器内に放出する第２導体２２とからなる共振空洞を形成する平行平板ランチャー２０と、により構成する。 （もっと読む）

【課題】 装置の構造を簡易にすることができる平面型ディスプレイパネルの点灯安定化処理装置およびその方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 データ電極への電圧の印加が必須である検査処理ではデータ用電極把持部材３４、データ電極用のショートバー３５、データ電源用の電源基板３６をトレイに取り付けてデータ電極に電気的に接続して行い、データ電極への電圧の印加が必須でないエージング処理ではデータ用電極把持部材３４、ショートバー３５、電源基板３６をトレイから外して行うように構成している。したがって、全てのトレイにこれらを備える必要がなく、検査処理のときのみこれらを取り付ければよい。その結果、これらを省略することができて、その省略分だけ装置の構造を簡易にすることができる。 （もっと読む）

【課題】 高周波及び超高周波伝送回路における自動整合器およびモード変換器に関し、廉価で整合速度の速い整合器を提供する。
【解決手段】 マイクロ波の伝送手段である立体回路の構成において、同軸−方形導波管変換器に、それぞれ内部に可動短絡板８，１０を内装した方形導波管および同軸導波管９を一体的に形成することによってマイクロ波ソースシステムの小型化、低廉化を実現し、かつ、それらの可動短絡板８，１０の導波管内での所在位置を変えることによって所望の出力値を容易に得るものとした。 （もっと読む）