【解決手段】絶縁体層とこの絶縁体層内に設けられた電極とを有する静電チャックの被吸着体と接触する表面に、
(A)オルガノポリシロキサン、
(B)Ｒ₃ＳｉＯ_1/2単位（Ｒは一価炭化水素基）とＳｉＯ₂単位を主成分とし、Ｒ₃ＳｉＯ_1/2単位とＳｉＯ₂単位とのモル比［Ｒ₃ＳｉＯ_1/2／ＳｉＯ₂］が０．５〜１．５で、かつ１×１０^-4〜５×１０^-3ｍｏｌ／ｇのビニル基を含有するシリコーン樹脂質共重合体、
(C)オルガノハイドロジェンポリシロキサン、
(D)有機過酸化物
を含有してなるシリコーンゴム組成物の硬化物からなるシリコーンゴム層を形成してなる静電チャック。
【効果】本発明はウエハとの密着性がよく、冷却性能に優れるため、半導体集積回路の製造においてウエハの保持が必要となる工程、特に、プラズマエッチング工程やイオン注入工程、スパッタリング工程において、ウエハの温度を精度よく均一かつ一定に保つことができるため、高精度の加工を行うのに有用である。 （もっと読む）

【課題】種々の環境下で長期間放置しても被着体に固着しないあるいは固着しにくいシリコーンゴム成形品、特に高温高湿下でガラスに固着しないシリコーンゴム成形品を提供する。
【解決手段】（Ａ）平均組成式（１）：Ｒ¹_aＳｉＯ_(4-a)/2（Ｒ¹は置換もしくは非置換の炭素数１〜８の一価炭化水素基、ａは１．９５〜２．０５の正数）で表されるオルガノポリシロキサン：１００質量部、
（Ｂ）一般式（２）：Ｒ²_bＲ³_cＳｉ（ＯＲ⁴）_4-b-c（Ｒ²は炭素数６〜１５のアルキル基、Ｒ³は置換もしくは非置換の炭素数１〜８の一価炭化水素基、Ｒ⁴は炭素数１〜６のアルキル基、ｂは１〜３、ｃは０〜２、ｂ＋ｃは１〜３の整数）
で表されるアルコキシシラン：０．１〜５質量部、
（Ｃ）硬化剤：硬化に必要な量
を含有する組成物を硬化してなる固着防止シリコーンゴム。 （もっと読む）

【解決手段】高級脂肪酸亜鉛を含み、周期律表第Ｉ族アルカリ金属及び周期律表第ＩＩ族アルカリ土類金属が総量で０．０１質量％以上０．１２質量％以下である原料の加熱溶融物を冷却固化させることによって得られた高級脂肪酸亜鉛ブロック成形体。
【効果】本発明の高級脂肪酸亜鉛ブロック成形体は、従来の高級脂肪酸亜鉛ブロック成形体より高い耐久性と高度な平滑性を有する高級脂肪酸亜鉛ブロック成形体であり、静電複写機などの事務機の滑剤、研磨剤、クリーニング助剤、現像助剤などとして好適に用いることができる。 （もっと読む）

【解決手段】高級脂肪酸亜鉛を含み、周期律表第Ｉ族アルカリ金属及び周期律表第ＩＩ族アルカリ土類金属が総量で０質量％を超えて０．１２質量％以下である原料の加熱溶融物を冷却固化させることによって得られた高級脂肪酸亜鉛ブロック成形体。
【効果】本発明の高級脂肪酸亜鉛ブロック成形体は、従来の高級脂肪酸亜鉛ブロック成形体より高い耐久性と高度な平滑性を有する高級脂肪酸亜鉛ブロック成形体であり、静電複写機などの事務機の滑剤、研磨剤、クリーニング助剤、現像助剤などとして好適に用いることができる。 （もっと読む）

【解決手段】（Ａ）純度９９．８％以上の高純度高級脂肪酸亜鉛：１００質量部、
（Ｂ）周期律表第Ｉ族アルカリ金属又は周期律表第ＩＩ族アルカリ土類金属を含有する低級脂肪酸塩、高級脂肪酸塩、無機炭酸塩から選ばれる化合物の少なくとも１種：金属換算で０．１〜１．０質量部
を含有してなる組成物の加熱溶融物を冷却固化させることによって得られたことを特徴とする高級脂肪酸亜鉛ブロック成形体。
【効果】本発明の高級脂肪酸亜鉛ブロック成形体は、クラック発生のトラブルを生ずることなく、硬さのバラツキが小さく、かつブラシ等による削れ量のバラツキの小さいものであり、静電複写機等の事務機やその他の精密機器等における、滑剤、クリーニング助剤等として極めて有効に用いられる。 （もっと読む）