【課題】除振装置において、外来振動などを絶縁するための除振性能を極力低下させることなく、振動の減衰性能を向上させる。
【解決手段】本発明の除振装置１は、精密機器のＸＹステージ９などが搭載される架台１２と、架台１２を底部側から弾性的に支持する架台支持ユニット４１と、架台支持ユニット４１に支持された架台１２の変位にほぼ連動して変位し粘弾性体３０を押圧する押圧部材２３を備えた連動機構３６、及び押圧部材２３の変位量を増幅して粘弾性体３０への押圧力を増大させる押圧力増大機構３５を有するダンパユニット２１とを備える。 （もっと読む）

【課題】例えばＦＰＤ用ガラス基板などにおいて、非接触、非破壊で、高精度に高速で表面形状を測定し、ソリなどの不具合を検出することが可能な表面形状測定装置を提供する。
【解決手段】被測定部材１を載置するためのステージ２と、被測定部材１の表面変位を非接触で測定するための複数のエアースキャナ３と、複数のエアースキャナ３を、所定の測定位置に移動させるための駆動制御部５と、各複数のエアースキャナ３に対応して、測定位置での測定データをそれぞれ演算処理するための第1のデータ処理部７と、各第1のデータ処理部で演算処理された測定データを合成処理するための第２のデータ処理部８を備える。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成で外来振動に対する定盤の動作制御の応答性を改善し良好な除振性能を得ることができる除振装置を提供する。
【解決手段】本発明の除振装置１が備える制御装置３６は、定盤２上でのステージ４５の水平方向の位置を検出するための位置センサ４６が出力する位置信号の比例値とこの位置信号の擬似微分値に所定のゲインを掛けた値とを加算して得られるフィードフォワード制御信号と、定盤２の振動及び位置を各々検出する加速度センサ４９及び位置センサ２５〜２８の出力を基に生成したフィードバック制御信号と、を加算してサーボ弁４８に出力し、定盤２の傾きをなくすように空気ばね式アクチュエータ１１〜１４の吸排気動作を個別にフィードフォワード制御する。 （もっと読む）

【課題】ハンチング現象の発生を抑制しつつ良好な除振効果が得られる除振装置の提供。
【解決手段】本発明の除振装置１は、振動絶縁すべき除振の対象物を載せる架台１２と、架台１２を支持する空気ばね２ａ〜２ｄを有する架台支持機構２０と、架台支持機構２０の空気ばねを通じて支持された架台１２の高さ方向の変位を検出する変位センサ５ａ〜５ｄと、空気ばね２ａ〜２ｄの給排気を行う給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄと、架台１２の高さが非制御高さ範囲Ｆから外れたことを変位センサ５ａ〜５ｄが検出した場合、架台１２の高さを非制御高さ範囲Ｆ内に戻すように給気用電磁弁６ａ〜６ｄ及び排気用電磁弁７ａ〜７ｄの開閉を制御するコントローラ２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単な構成で良好な除振特性を得ることができる除振装置を提供する。
【解決手段】本発明の除振装置１は、設置用の脚部３ａを有するフレーム３と、フレーム３側と振動絶縁すべき除振の対象物を載せる架台１２と、架台１２をフレーム３上に支持する架台支持機構２０と、架台支持機構２０に設けられ、架台１２の被支持部１２ａとフレーム３上の支持部１４ｄとの間に介在された粘弾性体３１、３２を有する粘弾性ダンパ機構５とを備える。 （もっと読む）

【課題】除振を開始するためのセットアップ動作を迅速に完了させることができるアクティブ除振装置を提供する。
【解決手段】除振装置１は、除振台２を水平方向に移動可能に支持する一組の始動用のアクチュエータＫ、Ｒを含む４つのアクチュエータと、除振台２の水平方向の変位を検出するセンサ２１、２２、２３と、制御装置３６とを備える。制御装置３６は、除振装置１のセットアップ時に、まずアクチュエータＫ、Ｒを制御し、互いの絶対量が等しく且つ相対する方向に対の駆動力を発生させ、除振台２に＋θ方向に働くモーメントを付与する。さらに、制御装置３６は、センサ２１、２２、２３を通じての除振台２の変位の検出結果に基づいて、全てのアクチュエータＫ、Ｑ、Ｒ、Ｓを個別に制御して、＋θ方向と相対する−θ方向に働くモーメントを除振台２に付与し除振台２を平衡状態でバランスさせる。 （もっと読む）