【課題】簡素な構造を有することで、コストダウンの可能なウエハのノッチ部の研磨装置の提供を目的とする。
【解決手段】研磨装置１は、テープ搬送手段３により搬送される研磨テープＴを、ウエハＷの所定位置に押し当ててウエハＷのノッチ部を形成する研磨装置１において、テープ搬送手段３は、研磨テープＴを正逆搬送可能に駆動制御する正逆搬送手段２２を備えている構成にしてある。また、テープ搬送手段３が、正逆回転可能に駆動制御させるステッピングモータまたはサーボモータ１０を備えているものである記干渉部分８以外の残り部分９から分離する分離手段を具備してなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】効率良くしかも連続してパネルのクリーニング作業が行なえるパネル用クリーニング装置を提供する。
【解決手段】搬送経路中には、回転駆動によりパネルの表面をクリーニングするためのクリーニングローラ機構３と、クリーニングローラ機構にパネルを搬入するためのパネル搬入部４と、パネル搬出部５とが備えられ、パネル搬入部及びパネル搬出部には、パネルを挟持して搬送するためのニップローラ対４１，４２が備えられており、クリーニングローラ機構が、パネルの両面を同時にクリーニングするための一対のクリーニングローラ３ａ，３ｂから構成されるとともに、帯状のクリーニングテープ３１をローラ本体のローラ面に螺旋状に巻き付けて構成し、またクリーニングローラ機構の近傍には、洗浄液をパネルに吹きつけるための洗浄液噴射部６が設けられた。 （もっと読む）

【課題】研磨テープから砥粒や研磨層の一部をパネルの表面に脱落させず、より短時間でパネルの表面にある突起を研磨できる装置を提供することである。
【解決手段】基板１１に取り付けた一個又は二個以上のセンサープローブ１６、１７がパネルの表面にある突起の高さを測定する。研磨テープ３０をパネルの表面に押し付けるためのヘッド部材２２を有する研磨ヘッド２０が、Ｚ方向に移動可能に基板１１に取り付けられる。センサープローブ１６、１７は、ヘッド部材２２からみて、ヘッド部材２２上にある研磨テープ３０の幅方向の側に位置する。好適に、研磨装置１０は二個のセンサープローブ１６、１７を有し、これら二個のセンサープローブ１６、１７は、ヘッド部材２２からみて、ヘッド部材２２上にある研磨テープ３０の幅方向の両方の側に、それぞれ一個ずつヘッド部材２２を挟むように位置する。 （もっと読む）

【課題】吸着痕を形成せずに、パネルの両面を同時にクリーニングできるパネルクリーニング装置及び方法を提供する。
【解決手段】入力側のニップローラ２１、２２と出力側のニップローラ２３、２４との間の間隔が、パネルの長さと実質的に同じ距離にある。パネル表面６１をクリーニングする第一のクリーニングヘッド３０、矢印Ｚの方向に第一のクリーニングヘッド３０を往復移動させる垂直移動手段４０、パネルの表面６１と平行且つパネルの幅方向な矢印Ｙの方向に第一のクリーニングヘッド３０を移動させる平行移動手段５０、パネルの裏面６２をクリーニングする第二のクリーニングヘッド３０´、矢印Ｚの方向に第二のクリーニングヘッド３０´を往復移動させる垂直移動手段４０´及びパネル裏面６２と平行且つパネルの幅方向な矢印に第二のクリーニングヘッド３０´を移動させる平行移動手段５０´を有する。 （もっと読む）