【課題】ミラーと駆動装置との接合部に生じる、応力を解放し、ミラーあるいは駆動装置の破損を防止する形状可変ミラーを提供する。
【解決手段】本発明による形状可変ミラーは、入射する光の波面を補正するように駆動される。本発明による形状可変ミラーは、ミラー部分（１０１）と当該ミラー部分の駆動装置（１０２）との間に棒状部材（１０３）を設け、棒状部材の長手方向の中心を含む位置に、長手方向の長さが棒状部材の長さの０．２倍から０．６倍であり、棒状部材の長手方向に垂直な面において、断面積が棒状部材の断面積の９倍から６４倍であるブロック部分（１０７）を備えている。 （もっと読む）