【課題】基板が破損する可能性を低減するとともに、単位時間当たりの搬送量を高めた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】外部から受け渡された基板１１の両側の下面をそれぞれ非接触で支持し、第１の位置から第２の位置まで延びる一対の第１及び第２の支持部２１、２２と、基板１１の下面を吸着し、第１及び第２の支持部２１、２２の長手方向に沿ってそれぞれ独立に移動する第１及び第２の吸着部３１、３２と、負圧を発生させることにより第２の位置に搬送された基板１１を非接触で保持し、第３の位置まで搬送するベルヌーイチャック４０とを備え、基板１１を第１の位置から第３の位置まで搬送する基板搬送装置１０であって、第１及び第２の支持部２１、２２は、それぞれ、基板１１に面する上端部にエアを噴出する多孔質体６６を有する。 （もっと読む）

【課題】ワークの外側上面に旋回流を発生させてワークの中央部を負圧にして、ワークを非接触状態で吸引保持する際のワークの回転を防止する非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】ワーク１１の外側上面に旋回流を発生させて、ワーク１１の中央部を負圧にして、ワーク１１を非接触状態で吸引保持する保持手段１３と、保持手段１３の上部に固定された移動手段１６と、保持手段１３に取付けられ、保持手段１３の上側及び周囲を覆って下方に開口したカバー手段１７とを備えた非接触搬送装置１０において、ワーク１１は矩形であって、カバー手段１７は、保持手段１３の上側に配置され、複数本のガイド部材６２によって保持手段１３に対して上下動可能に設けられ、平面視して矩形の上遮蔽板５５と、各ガイド部材６２に装着されて上遮蔽板５５を下方に付勢するバネ５４と、上遮蔽板５５の周囲に設けられ内側にワーク１１が嵌入可能な側壁材５６とを有する。 （もっと読む）

【課題】薄板状のワークの保持を非接触状態から接触状態又は接触状態から非接触状態に切替える際にワークの傾斜を防止できるワーク搬送装置及びワーク搬送方法を提供する。
【解決手段】ワーク搬送装置１０は、薄板状のワーク１１に向けて下降接近し、ワーク１１を吸引し非接触状態で保持して移動する非接触式搬送機構１５と、非接触式搬送機構１５から受け取ったワーク１１を真空吸引により吸着保持して移動する吸着テーブル１６を備えた接触式搬送機構２１と、非接触式搬送機構１５から接触式搬送機構２１にワーク１１を受け渡す際に、吸着テーブル１６の真空吸引開始及び非接触式搬送機構１５の吸引停止のタイミングを制御する制御手段２７とを有し、制御手段２７は、非接触式搬送機構１５を下降させた後に真空吸引を開始させ、ワーク１１の下面と吸着テーブル１６の上面との距離が受渡し距離に到達した時点で非接触式搬送機構１５の吸引を停止する。 （もっと読む）

【課題】スクリーン版上に供給されたペーストの粘度を調整することが可能なスキージ及びスクリーン印刷装置を提供する。
【解決手段】非ニュートン流体のペーストを掻き取るスキージ１１であって、平面視して移動方向に内側を向いて湾曲する湾曲部４０と、平面視して湾曲部の両端から直線状に外側に延びる直線部４１と、を有する。このスキージ１１は、上部がホルダ４５に保持された状態で、直線部４１と湾曲部４０とが成す角度θが可変となっている。 （もっと読む）

【課題】印刷の前半側で生じるかすれ、印刷の後半側で生じるにじみを防止して印刷の均一性を高めることが可能なスクリーン印刷方法を提供する。
【解決手段】パターン部１３とその両側に第1、第2の非パターン部１４、１５を備えたスクリーン１６を用いたスクリーン印刷方法において、スキージ１８を第１の非パターン部１４内からパターン部１３との境界のパターン境界位置まで移動させてスキージ１８でローリングするペーストを目標ペースト量まで増加させる助走工程と、スキージ１８を印刷開始位置まで下降させ、スキージ１８を印刷開始位置からパターン部１３と第２の非パターン部１５との境界の印刷終了位置まで移動する際のスキージ１８の移動速度を徐々に低下させてスキージ１８でローリングするペーストを目標ペースト量に維持する印刷工程と、スキージ１８を上昇させてから第２の非パターン部１５内の終点まで移動するオーバーラン工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】成膜領域に供給するペーストの粘性を成膜されるペーストの粘度に近づけて高品質の成膜を安定して行うことが可能な塗布装置及び塗布装置のペーストの供給方法。
【解決手段】非ニュートン流体であるペーストを貯留するペーストタンク１５と、ペーストをペーストタンク１５から成膜領域１１に供給するチューブ４２又はパイプとを有する塗布装置１０において、成膜領域１１の上流側に、第１の撹拌羽根１６を備えた粘度調整機構１８を備え、ペーストタンク１５から供給されたペーストを、成膜領域１１での成膜されるペーストの粘度に近づける。ここで、第１の撹拌羽根１６は、第１のサーボモータ２５で回転駆動され、ペーストの粘度は、第１のサーボモータ２５の回転トルク値に対応する負荷電流値を測定して制御されていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 単一の駆動モータと安価なエアシリンダの組み合わせによって、確実に型締め作業を行なうことができると共に安価に製作できる樹脂封止用金型装置を提供する。
【解決手段】 仮固定したナット部材２３に螺合するボールねじ軸２１を駆動モータ４１によって回転し、ボールねじ軸２１の一端部に可動フレーム３６を介して連結されている上金型２２を対となる下金型１８に向けて移動して当接させた後、ボールねじ軸２１を固定した状態で、ナット部材２３に設けられた回動レバー３５をエアシリンダ４６によって駆動することによって、ナット部材２３を回動駆動して上、下金型２２、１８の強力な型締めを行い、次に、上金型２２と下金型１８によって形成される成形空間内に樹脂を充填して、成形空間内に予め配置された対象物２７を樹脂封止する。 （もっと読む）