【課題】微小部品を把持するのに適した把持装置を提供する。
【解決手段】把持装置１００は、把持部１１０と、本体部１２０と、モータ部１３０とを備え、取り付けプレート１２１によってＸＹＺステージ等に取り付けられる。把持部１１０は、把持対象物を把持（狭持）するための一対のフィンガー部を備え、本体部１２０の内部に収容された機構及びモータ部１３０の内部に収容されたモータによって駆動されて、その先端が開閉することで、把持対象物を把持（狭持）する。また、把持装置１００では、ＸＹＺステージ等を制御して、作業用ベース上に載置された把持対象物に対して、把持装置１００全体を下降させている際に、なんらかの理由で、把持部１１０の先端等が、把持対象物等に接触してしまった場合、把持部１１０が、本体部１２０に対して上方に移動することができるように構成されており、それによって、把持対象物等が破損等するのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】従来より小型化が可能な回転ステージ装置を提供する。
【解決手段】回転ステージ装置１００は、回転ベース部２５０を回転させるためのウォームホイール２６２、及び、当該ウォームホイール２６２とかみ合うウォーム２６１を備える。ウォーム２６１の両端部には、ウォーム２６１を回転可能に支持するための回転ベアリングがそれぞれ装着されており、従動プーリ２３２が装着される一方の軸部に装着された固定回転ベアリングについては補助ベース部２２１に固定され、他方の軸部に装着された可動回転ベアリング２６３については、保持部材２６４によって、保持される。保持部材２６４は、可動回転ベアリング２６３を、本体ベース部２２０に対して押し付けると共に、ウォームホイール２６２の方向に付勢する。 （もっと読む）

【課題】従来より小型化が可能なゴニオステージ装置を提供する。
【解決手段】一部に球面部分１１２を有するテーブル部１１０と、前記球面部分１１２に当接して、前記テーブル部１１０を３点支持する支持部材２１１ａ〜２１１ｃと、前記テーブル部１１０に連結されて、前記テーブル部１００のテーブル面１１１の向きを操作する面方向操作部２２０と、前記面方向操作部２２０の位置を変化させる面方向操作駆動部２４０と、前記テーブル部１１０と一体をなし、前記テーブル部１１０を、テーブル面１１１に垂直な軸を中心に回転させる回転操作部２３０と、前記回転操作部２３０の位置を変化させる回転操作駆動部２５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】設置スペースを小さくすることができる移載装置を提供する。
【解決手段】移載動作の開始を指示されると、移載装置１００は、ベーステーブル１１２をＸ軸方向に適宜移動させるとともに、下テーブル１１３をＹ軸方向に適宜移動させることにより、下テーブル１１３に載置されたウェーハリング８０１に保持された移載対象チップの位置決めを行う。次に、チップ保持部１２０を下降させて、フィンガー部１２１で移載対象チップを把持することによって、移載対象チップをピックアップする。次に、ベーステーブル１１２をＸ軸方向に適宜移動させるとともに、上テーブル１１４をＹ軸方向に適宜移動させることにより、上テーブル１１４において移載対象チップを載置する位置の位置決めを行う。次に、チップ保持部１２０を下降させて、ピックアップした移載対象チップを所定の位置に載置する。 （もっと読む）