【課題】超純水流量が変化したとき、従来よりも迅速かつ簡便に超純水の比抵抗値を所望の値に安定させることができる超純水の比抵抗調整方法、及び超純水処理装置を提供する。
【解決手段】炭酸ガスを超純水中に溶解させるとき超純水流量を測定し、超純水流量の変化が一定値以上の場合には、超純水流量と炭酸ガス量と比抵抗値の相関について予めインプットされたデ−タに基づいた量の炭酸ガスを超純水へ供給し、その後一定時間経過後には前記比抵抗計による測定値をもとに当該比抵抗値が０．２〜１．０ＭΩ・ｃｍの範囲で一定となるように、フィードバック制御する超純水の比抵抗調整方法及び当該方法に好適な超純水処理装置である。 （もっと読む）

【課題】流量が大きく変動する超純水の比抵抗値を、所望の値に簡便に調整し安定させることができる超純水の比抵抗調整方法、及び超純水処理装置を提供する。
【解決手段】超純水に炭酸ガスを溶解して比抵抗値を調整する際に、供給する炭酸ガス圧力を調整してモータ駆動ロータリーバルブへ供給し、該モータ駆動ロータリーバルブの回転数に応じた炭酸ガスを気液接触室へ供給し、気液接触室から放出する超純水の比抵抗値を測定し、測定した比抵抗値をフィ−ドバックして前記モータ駆動ロータリーバルブの回転数を調整し、炭酸ガス溶解後の超純水比抵抗値を０．２〜１．０ＭΩ・ｃｍの範囲で一定にすることを特徴とする超純水の比抵抗調整方法、及び当該比抵抗調整方法に好適な超純水処理装置である。 （もっと読む）

【課題】濾過装置の稼働中でも膜の欠陥を迅速に感度良く、かつ高精度で効率的に検出することができる膜欠陥検出方法及び膜欠陥検出装置を提供する。また、これらに好適に使用できる膜モジュールを提供する。
【解決手段】膜モジュール内に設けられた膜の欠陥を検出する膜欠陥検出方法であって、液体を膜モジュール内に流した際に、前記膜モジュールの液供給口側に設けられた基準電極と、前記基準電極よりも液流出口側に設けられた参照電極との間の電位を連続的に測定し、当該電位の変動を測定することにより前記膜の欠陥を検出する膜欠陥検出工程を含み、前記電位を増幅させる増幅手段を、前記参照電極よりも前記基準電極側であって当該基準電極の近傍に設けた状態で前記電位の変動を測定する膜欠陥検出方法である。また、膜欠陥検出方法に適用可能な膜欠陥検出装置及び膜モジュールである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、夾雑物を含む溶液から目的成分を効率良く分離することができる濾過装置及び濾過方法を提供することを目的としている。
【解決手段】前処理手段と、流路入口から出口方向に向かって膜透過抵抗が徐々に小さくなるようにされたセラミック膜を含むクロスフロー濾過手段とを含むことを特徴とする夾雑物を含む溶液の濾過装置、及び前記溶液の濾過方法。 （もっと読む）

【課題】分離膜に生じた欠陥を迅速、かつ、高精度で効率よく検出できる膜欠陥検出方法および膜欠陥検出装置並びに、濾過装置を提供する。
【解決手段】基準電極と、前記膜の透過液側に設置される検知電極との間の電位差を連続的に測定し、当該電位差の変動により前記膜の欠陥を検出することを特徴とする膜欠陥検出方法である。また、基準電極１６と、少なくとも膜の透過液側に設置される検知電極１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄと、前記基準電極と前記検知電極との間の電位差を連続的に測定する測定手段１８と、を有することを特徴とする膜欠陥検出装置である。さらに、膜と前記膜を備えた濾過手段と、前記濾過手段の液供給口に設けられた基準電極と、前記濾過手段の前記液供給口以外に設けられた検知電極と、前記基準電極と検知電極との間の電位差を連続的に測定する測定手段と、を有することを特徴とする濾過装置である。 （もっと読む）