【課題】導電材料または非導電材料でできているプリントトラックを堆積させるための設備（１１）のための、印刷基板（１２）を支持および搬送するユニットであって、印刷基板（１２）が、印刷基板（１２）の第１の面（５５）と第２の面（５６）の間に延在する孔（５７）を備えるユニットを提供すること。
【解決手段】支持ユニットは、基板（１２）を支持ユニットの支持面（１１３）に付着させたままとするための第１の吸引状態を生成するのに適した第１の流体力学的回路（３２）、および第１の流体力学的回路（３２）と別個であり少なくとも部分的に独立であって、孔（５７）を導電材料または非導電材料で制御して充填することを可能にできる、第２の制御された吸引状態を生成するのに適した第２の流体力学的回路（３３）を備える。 （もっと読む）

【課題】複数種類の基板面のランダムな混合生産を、確実に最適な印刷条件で行うことを可能にし、複数種類の基板面の切り替え時間を大幅に短縮することを可能にするスクリーン印刷用マスク、並びに、それを用いたスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法を提供する。
【解決手段】スクリーン印刷用マスク１は、金属製で厚みが１００〜１５０μｍ程度の薄板状のメタルマスクであり、プリント基板の基板面にクリーム半田等の印刷ペーストをスクリーン印刷するために用いられる。１つのスクリーン印刷用マスク１には、２種類の基板面に対応する２種類の開口パターン２、３が形成されている。ここで、開口の形状は、プリント基板の基板面上のランドに対応した形状である。また、スクリーン印刷用マスク１には、各開口パターン２、３についての情報をそれぞれ記録した２種類の情報認識マーク２ａ、３ａが付与されている。ここで、情報認識マーク２ａ、３ａとしては、バーコードやＱＲコード等を用いることができる。 （もっと読む）

【課題】迅速で精度の高い検査を行なうことにより印刷不良を抑制可能な印刷装置を提供する。
【解決手段】印刷装置１は、ワークに対してスクリーン印刷を行なう。印刷装置１は、ワークを載置するステージ１３と、ステージ１３上にワークを搬入し、かつスクリーン印刷が行われたワークをステージ１３上から搬出する搬送機構１２と、ステージ１３上に載置されたスクリーン印刷が行われたワークを撮像する撮像装置１６と、ワークの撮像により得られたワークの画像と第１の基準画像とに基づき、スクリーン印刷による印刷パターンの良否を判断する判断部５７とを備える。撮像装置１６は、ワークが載置されていない状態のステージ１３をさらに撮像する。判断部５７は、ステージ１３の撮像により得られたステージ１３の画像と第２の基準画像とに基づき、ステージ１３の状態の良否をさらに判断する。 （もっと読む）

【課題】ワークと印刷パターンとのずれを容易に修正することができ、印刷物の生産効率の良い印刷装置及び印刷物の製造方法を提供する。
【解決手段】回転テーブル(22)の回転軸回りに定められた第１乃至第３位置にワーク(W)を順次移動する回転テーブル部(20)と、第1位置にて回転テーブルにワークを載置するワーク載置部(10)と、第２位置にて回転テーブル上のワークの位置を調整可能なワーク位置調整部(30)と、第３位置にてワークにスクリーン印刷を行うスクリーン印刷部(40)と、ワークに印刷されたパターンを観察する観察手段(70)と、観察された印刷パターンと予め記憶された基準パターンとを比較し、両パターンのずれが減少するようにワーク位置調整部(30)を動作させる制御部(60)と
を備える。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、一般に、基板上にパターンをスクリーン印刷する装置及び方法を提供する。一実施形態では、複数個の位置合わせマークに沿って、パターン付きの層を基板の表面上に印刷する。基板のフィーチャに対する位置合わせマークの場所を測定して、パターン付きの層の実際の場所を決定する。実際の場所を予測される場所と比較して、基板上のパターン付き層の配置の位置誤差を決定する。この情報を使用して、続いて処理される基板上へのパターン付きの層の配置を調整する。
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【課題】プリント基板を２枚搬送するように構成して、1回のスキージの移動により２枚ずつ印刷処理することができるようにし、しかも簡単な構成にすること。
【解決手段】一方のプリント基板Ｐとスクリーン３のズレ量に基づいて、制御手段は一方のプリント基板ＰのＹ軸方向のズレ量については第１Ｙテーブル９のＹ軸駆動源により、また同じくＸ軸方向のズレ量については第１Ｘテーブル１０ＡのＸ軸駆動源により、更に同じく回転方向のズレ量については第１θテーブル１１Ａのθ軸駆動源により補正移動させる。また、他方のプリント基板Ｐとスクリーン３のズレ量に基づいて、制御手段は他方のプリント基板ＰのＹ軸方向のズレ量についてはスクリーン支持手段のＹ軸駆動源により、また同じくＸ軸方向のズレ量については第２Ｘテーブル１０ＢのＸ軸駆動源により、同じく回転方向のズレ量については第２θテーブル１１Ｂのθ軸駆動源により補正移動させる。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、より高いシステムスループット、改善されたシステム動作可能時間及び改善されたデバイス歩留まり性能を有する多重スクリーン印刷チャンバ処理システムを使用して、処理済みの基板での再現性があり且つ正確なスクリーン印刷処理を維持しながら基板を処理するための装置及び方法を提供する。一実施形態において、多重スクリーン印刷チャンバ処理システムは、結晶シリコン太陽電池製造ラインの一部においてスクリーン印刷処理を実行するように構成されており、この製造ラインにおいて、基板は所望の材料でパターン化され、次に続く１つ以上の処理チャンバにおいて処理される。
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