【課題】 外部配線部材の接続信頼性を向上させる。
【解決手段】
液体ｉを押圧する圧力発生素子７１が設けられた第１の基板５２と、圧力発生素子７１を駆動制御する制御回路が設けられた第２の基板５３とを電気的に接続する外部配線部材５４と、液体ｉが吐出されるノズル５５ｂ及び外部配線部材５４と第１の基板５２との接続部分を外部に臨ませる窓部５５ｃとが形成されたノズルシート５５とを備え、窓部５５ｃは、樹脂材料により封止されている。この封止部５６は、リン酸イオン濃度と硫酸イオン濃度との総和が１００ｐｐｍ以下である樹脂材料を硬化させて形成させる。 （もっと読む）

【課題】テスト用電極パッドの絶縁の信頼性に優れる液体吐出ヘッドとその製造方法を提供する。
【解決手段】液体吐出エネルギー発生素子と液体吐出口と液体流路と前記素子を駆動する電気回路と外部接続用の第一電極パッドと電気回路テスト用の第二電極パッドとを有する液体吐出ヘッドを、第一電極パッドを形成する第一配線層と第二電極パッドを形成する第二配線層とが設けられた基板を用意し、基板上に第一配線層を露出させるとともに第二配線層を覆う絶縁膜を設け、第一配線層の表面に無電解めっき法により金属膜を形成し、絶縁膜を除去して製造する。第一配線層上に無電解ニッケル・リン層、無電解置換金層及び無電解還元金層をこの順に設けて形成される第一電極パッド；第二配線層で形成される第二電極パッド；及び第二配線層に対して密着層を介して形成される流路壁形成部材を含む液体吐出ヘッド。 （もっと読む）

【課題】液体の吐出特性を安定化する。
【解決手段】互いに積層された上層圧電体３４と下層圧電体３５とを有し、これらの上層圧電体３４と下層圧電体３５の間には駆動電極３３を形成し、上層圧電体３４の表面には共通上電極３６を形成し、下層圧電体３５と振動板２３の間には共通下電極３７を形成した多層構造の圧電素子２６を用い、下層圧電体３５の長手方向両端部を圧力室両端よりも外側に延出させた状態で形成すると共に、上層圧電体３４の長手方向両端部も圧力室両端よりも外側に延出させた状態で形成した。 （もっと読む）

【課題】駆動素子に均一に封止材を塗布することにより、封止材の剥がれを防止して防湿性を確保することで結露による電極のショートや絶縁破壊を防止することができる液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】液体状の封止材４５をダミー素子４４で取り囲まれた領域に流し込むことで封止材４５は、ダミー素子４４に塞き止められて駆動素子４２の周囲に均一に満たされる。これにより、駆動素子４２の周囲に均一に封止材４５が塗布され、防湿性を確保することで結露による電極のショートや絶縁破壊を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】記録ヘッドにおける接着剤に起因した電気的不具合をなくすことができるインクジェットプリンタおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】インクを噴射するためのエネルギーを発生するアクチェエータ３ｃおよび駆動信号を入力する配線部材３ｄを有する記録ヘッド３と、同記録ヘッド３を支持する底壁１ａを有するヘッドホルダ１とを備える。記録ヘッド３を配線部材３ｄ側を底壁１ａの下面と対向して配置し、その後、接着剤が配線部材３ｄに接触するのを阻止する遮蔽部材２を移動させ、記録ヘッド３の両側縁部に当接させる。その状態で、接着剤５を記録ヘッド３の両側縁部と底壁１ａの下面との間に充填して記録ヘッド３とヘッドホルダ１とを接着する。 （もっと読む）

【課題】応答速度を上昇でき、電圧印加用駆動回路を強くかつ安定して連結することの可能なインクジェットヘッドの圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッドの圧電アクチュエータは、振動板１２０の上部に形成され、複数の圧力チャンバ１３１にそれぞれインクを吐出するための駆動力を提供するものであって、振動板１２０上に形成された下部電極１４１と、下部電極１４１上の、複数の圧力チャンバ１３１にそれぞれ対応する位置に形成された圧電膜１４２と、下部電極１４１上に圧電膜１４２の一端部と接して形成された支持パッド１４４と、圧電膜１４２の上面および支持パッド１４４の上面に、圧電膜１４２の上面から支持パッド１４４の上面まで延びるように連続して形成された上部電極１４３とを備える。そして、支持パッド１４４の上部において、上部電極１４３とＦＰＣ１５０とのボンディングが行われる。 （もっと読む）

【課題】液体吐出基板に設けられる貫通電極を外部環境から保護しつつ、これに伴う弊害を解消する。
【解決手段】基板本体２と、液体を吐出させるエネルギーを発生するエネルギー発生手段と、液体が吐出される液体吐出口４を備えたノズル構造体３と、裏面電極９と、基板本体２を貫通し、裏面電極９とエネルギー発生手段と導通させる貫通電極１１とを有する。そして、貫通電極９のうち、基板本体２の表面側に露出している部分が、ノズル構造体３の一部である接着層７によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】装置のコンパクト化を担保しつつ、駆動回路および接続部を適切に保護することが可能な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド１は、ヘッドチップ１１、ドライバ基板４、フレキシブル基板２６、ヘッドベース１３、マニホールド１４Ａ，１４Ｂ、およびフィルタユニット３を備える。ヘッドチップ１１は、複数のノズルを介して液体を吐出する。ドライバ基板４は、ヘッドチップ１１を駆動する。フレキシブル基板２６は、ヘッドチップ１１とドライバ基板４とを接続する。ヘッドベース１３は、ヘッドチップ１１およびドライバ基板４を保持する。マニホールド１４Ａ，１４Ｂおよびフィルタユニット３は、フレキシブル基板２６およびドライバ基板４を覆うように配置される。 （もっと読む）

【課題】 インク流路内へのインクの充填時に気泡が発生することを未然に防止して、インクの斜め射出やドット抜けを防止する。
【解決手段】 両側壁１０に長手方向に沿って電極１２が設けられた複数の溝１１を有する圧電プレート７と、該圧電プレート７の溝１１を閉塞するカバープレート８とを備え、圧電プレート７の溝１１とカバープレート８とで囲まれる複数のインク流路１４内面の少なくとも電極１２を被覆する領域に、親水基を有する樹脂からなる保護膜１５が設けられているインクジェットヘッドを提供する。 （もっと読む）

【課題】製造工程において液体噴射ヘッドを外部からの衝撃による破壊や、静電気による破壊から保護し、使用に当たっては、液体噴射ヘッド内に液体ミスト等が入り込んで電子部品を破損することを防止することが可能な液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】圧電振動子３１を駆動することにより圧力室内のインクをノズル開口３０からインク滴として吐出可能なヘッドユニットと、前記圧電振動子３１に駆動信号を供給する配線基板８と、を備えたケース部材６と、カートリッジ内のインクを前記圧力室内に通じる液体流路内に導入するインク導入針２を有する導入針ホルダ７と、を備え、ケース部材６と導入針ホルダ７とを積層してヘッド本体１０を構成し、前記ケース部材６と導入針ホルダ７との継目を覆い隠す状態で環状の弾性保護部材１５を、ヘッド本体１０の外側面全周に密着状態で巻装し、該弾性保護部材１５をヘッド本体１０の外側面よりも突出させた。 （もっと読む）

【課題】インクジェット記録ヘッドの電気配線部材の電気信号入力端子部の腐食を防ぐ。
【解決手段】インク供給部材１１０に固定された流路プレート１２０に図示しないインク吐出部材を固定する。インク吐出部材に電気信号を送信するための電気配線部材１４０は、インク吐出部材の実装面を形成するベースフィルムを有し、ベースフィルム上に配線パターンを形成し、金メッキ等のメッキ処理を施してカバーフィルムで保護した積層構造を有する。電気信号入力端子部１４１は、カバーフィルムに形成した開口部から露出する配線パターンによって形成される。電気配線部材１４０を第１の屈曲部Ｆ₁ で折り曲げた後、第２の屈曲部Ｆ₂ で２重に折り重ねて、カバーフィルム側の電気信号入力端子部１４１を表側にしてインク供給部材１１０に固定する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、駆動電極の表面に保護膜が形成されたインクジェットヘッドにおける保護膜のピンホールの検出を非破壊で精度良く、しかも短時間で、容易に行えて、かつ、温度変化に対して安定なインクジェットヘット及びその検査方法の提供。
【解決手段】 少なくとも一部が圧電材料からなる駆動壁を少なくとも１つの壁とするインクチャネルを、駆動壁と他の壁から構成し、該駆動壁の壁面に駆動電極を設け、該駆動電極の表面に保護膜が形成され、該駆動電極を介して上記駆動壁に電界を印加することにより該駆動壁を変形させてインクチャネル内のインクを吐出させるようにしたインクジェットヘッドであって、前記他の壁の少なくとも一部がＰＬＺＴであることを特徴とするインクジェットヘッド。 （もっと読む）

【課題】電極間で高い接続信頼性を確保することができ、２次元マトリクス構造で配列される多数の電極群の接続への適用も可能な電気接続構造を提供し、併せてその電気接続構造を用いた液体吐出ヘッド及びその製造方法並びに画像形成装置を提供する。
【解決手段】本発明による電気接続構造は、第１の電極部(42)が設けられた第１の基板(26)と、第１の電極部(42)に対向する第２の電極部(46-1)及び第２の電極部(46-1)に繋がる配線パターンが設けられた第２の基板(30-1)と、第１の基板(26)と第２の基板(30-1)の間に配置され、第１の電極部(42)に対応する位置に、第１の電極部(42)及び第２の電極部(46-1)の高さの合計(h1＋h2)よりも深く、且つ第１の電極部(42)の領域(SL)以上の開口面積(Sc)を有する貫通穴(28Ａ)が形成された絶縁性のキャビティ基板(28)と、貫通穴(28Ａ)に充填された導電性材料(44)と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ボンディングワイヤの剥れを防止できる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室１２に対応して設けられた圧力発生素子３００から引き出された引き出し配線と、ヘッドケースに厚さ方向に貫通して設けられたＩＣ保持部内に載置された前記圧力発生素子を駆動するための駆動ＩＣ１２０とをボンディングワイヤ１３０により電気的に接続して構造体を形成し、前記ＩＣ保持部内に１液型ポッティング剤２５０を充填して前記駆動ＩＣと前記ボンディングワイヤとを覆った後、この構造体を温度２５〜２７℃、相対湿度７０％以上の環境下で一定時間保持して前記１液型ポッティング剤を硬化する。 （もっと読む）

【課題】 電圧をかけたときの発生圧力が高く、絶縁耐性に優れた絶縁膜を備えた液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 シリコン基板２ａにボロン拡散層１２ａを形成し、ボロン拡散層１２ａを振動板１２として形成する液滴吐出ヘッドの製造方法において、ボロン拡散層１２ａを形成した後、シリコン基板１２ａを酸化して酸化膜（Ｂ₂Ｏ₃層４１）を形成する工程と、酸化膜をエッチングにより剥離する工程と、酸化膜を剥離した後、ボロン拡散層１２ａを平滑化する工程と、ボロン拡散層１２ａに絶縁膜１６を形成する工程とを有することを特徴とする。また、ボロン拡散層１２ａを形成した後、ボロン拡散層１２ａを平滑化する工程と、ボロン拡散層１２ａに絶縁膜１６を形成する工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ウエハプロセスによって提供される液滴吐出ヘッドをそれぞれ小型化することで、各ウエハからの取り出し個数を増加してコストの低減を図った、液滴吐出ヘッド、液滴吐出ヘッドの製造方法、及び液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】 複数の圧力発生室１２と圧力発生室１２間をそれぞれ連通させる連通部１３とが形成された流路形成基板１０と、流路形成基板１０の上面側に配設され圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる駆動素子３００と、駆動素子３００を覆って設けられ連通部１３に連通するインクリザーバ２１を備えた封止基板２０と、を備えた液滴吐出ヘッド１である。封止基板２０は段差構造を備えてなり、インクリザーバ２１は、段差構造の上段部を貫通した状態に設けられ、半導体素子２００は、段差構造の下段部の上面に設けられている。 （もっと読む）

【課題】圧電体層の圧電特性を良好に保持でき且つ上電極の剥離を防止することができるアクチュエータ装置の製造方法及びアクチュエータ装置並びに液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】基板に振動板を形成する工程と、振動板上に下電極６０、圧電体層７０及び上電極８０を積層及びパターニングすることで下電極、圧電体層及び上電極からなる圧電素子３００を形成する工程とを有し、且つ圧電素子を形成する工程が、上電極をその膜応力が１〜２（ＧＰａ）の範囲となるように圧電体層上に成膜する成膜工程と、少なくともこの上電極を５００〜７００℃の温度で加熱処理するポストアニール工程とからなる上電極形成工程を含むようにする。 （もっと読む）

【課題】サイズの小型化が可能で、ギャップ内に水分等が入り込むのを効果的に防止することのできる静電アクチュエータ等を得る。
【解決手段】固定電極である個別電極１２を有する電極基板１０と、個別電極１２と距離をおいて対向し、個別電極１２との間で発生した静電気力により動作する可動電極である振動板２２を有するキャビティ基板２０とを備え、電極基板１０又はキャビティ基板２０の一方に、個別電極１２と振動板２２との間で形成される空間を外気と遮断する封止材２５からなる封止層（ＴＥＯＳ層２５ａ、水分透過防止層２５ｂ）を複数積層し、封止部２６ａを形成するものである。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成の装置で実施でき、耐薬品性及び絶縁性に優れたポリパラキシリレン膜の形成方法を提供すること。
【解決手段】本発明のポリパラキシリレン膜の形成方法は、基体の温度が２０℃以下又は材料ガスの圧力が１００ｍｍＴｏｒｒ以上の条件で材料ガスを基体に接触させることによってポリパラキシリレンからなる下部を形成し、下部形成時よりも基体温度が高いか、材料ガスの圧力が低い条件で材料ガスを基体に接触させることによって下部を覆うポリパラキシリレンからなる上部を形成する。 （もっと読む）

【課題】 インクを吐出させるためのエネルギを発生する素子が設けられた記録素子基板と、前記素子の駆動信号を伝送するための電気配線部材とを具え、加熱を伴う工程を含んで製造されるインクジェット記録ヘッドにおいて、記録素子基板の電極端子と、電気配線部材のリード端子との電気接合部分が、電気配線部材等の熱膨張に起因してリード端子に作用する力によって破壊されるのを防ぐ。
【解決手段】 電気配線部材Ｈ１３０１の熱膨張がリード端子Ｈ１３０４に及ぼす力の方向Ｈ１３１１に合わせて、電気接合部Ｈ１３０５ないし圧痕面の形状を定め、電気接合部の一部に応力集中が生じないようにする。 （もっと読む）